專利名稱：硅粉加料機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)工藝中三氯氫硅合成設(shè)備，尤其是可以加強(qiáng)硅粉加料 機(jī)密封效果。
背景技術(shù)：
三氯氫硅合成是改良西門子工藝生產(chǎn)多晶硅的重要一環(huán)，生產(chǎn)三氯氫硅硅粉進(jìn)料 一般是采用硅粉加料機(jī)連續(xù)給料。此種進(jìn)料方式對加料機(jī)要求較高(耐磨、耐腐蝕)，加料 機(jī)機(jī)械密封易泄漏，這嚴(yán)重制約了三氯氫硅合成工序運(yùn)行。目前多晶硅生產(chǎn)已進(jìn)入薄利時 代，保持三氯氫硅合成工序長時間連續(xù)生產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)多晶硅閉路循環(huán)顯得由為重要。硅粉加料機(jī)的工作原理是硅粉加料機(jī)主體是一個齒輪轉(zhuǎn)動裝置，把主體內(nèi)腔分 成了八部分。齒輪轉(zhuǎn)動裝置靠電動機(jī)驅(qū)動，在電動機(jī)驅(qū)動下把硅粉一斗一斗加入三氯氫硅 合成爐，然后通過調(diào)節(jié)電動機(jī)的轉(zhuǎn)速來調(diào)節(jié)硅粉進(jìn)料速度。硅粉加料機(jī)密封分為機(jī)械密封(簡稱機(jī)封)和氮?dú)饷芊?簡稱氮封)。機(jī)封采 用普通石墨盤根密封，而氮封的主要是防止機(jī)械密封松動。硅粉加料機(jī)運(yùn)行時工作壓力在 0. 2-0. 4Mpa，在輸送硅粉的時會伴有氯化氫氣體，原石墨盤根機(jī)械密封易損壞。另三氯氫硅 合成工序使用氮?dú)廨^頻繁，氮?dú)鈮毫Σ▌虞^大，氮封效果不好，機(jī)械密封易松動。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題，提供了新型的硅粉加料機(jī)，特別是密封裝置，可 以大大加強(qiáng)加料機(jī)密封效果，有利于硅粉加料機(jī)連續(xù)運(yùn)行。本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下硅粉加料機(jī)，上端連接有硅粉料斗，硅粉加料機(jī)包括齒輪傳動裝置和通過螺栓固 定于齒輪傳動裝置外部的防護(hù)罩，其特征在于齒輪傳動裝置與防護(hù)罩之間設(shè)置0型密封 圈，所述0型密封圈為在-100°c 100°c之間能夠具有良好的機(jī)械強(qiáng)度的四氟材料。所述防護(hù)罩上連接設(shè)置有氮?dú)饩彌_罐。氮?dú)饩彌_罐通過防護(hù)罩通入氮?dú)庵练雷o(hù)罩 和齒輪傳動裝置之間，可以調(diào)節(jié)通入的氮?dú)鈮毫Ω哂诩恿蠙C(jī)內(nèi)部運(yùn)行壓力，從而防止密封 圈被加料機(jī)內(nèi)部運(yùn)行壓力振松。加料機(jī)和氮?dú)饩彌_罐之間還設(shè)置有減壓閥。防護(hù)罩下端的螺栓與齒輪傳動裝置之間還設(shè)置有配接環(huán)。本實(shí)用新型的有益效果如下本實(shí)用新型對密封圈材料的改進(jìn)可以使加料機(jī)密封 效果大大提高了，密封圈的更換次數(shù)由原1次/3天到現(xiàn)在1次/數(shù)月，這樣大大減少了維 修人員的工作量，同時也有利于連續(xù)生產(chǎn)；本實(shí)用新型更加適用于摩擦大、有酸性氣體的環(huán) 境；同時，在進(jìn)加料機(jī)氮?dú)夤苈飞显鲈O(shè)氮?dú)饩彌_罐，以保證氮?dú)鈮毫Σ▌訒r氮封壓力穩(wěn)定。

圖1為本實(shí)用新型的機(jī)械密封結(jié)構(gòu)示意圖[0013]圖2為本實(shí)用新型連接氮?dú)饩彌_罐的結(jié)構(gòu)示意圖具體實(shí)施方式
如圖1-2所示；硅粉加料機(jī)9，上端連接有硅粉料斗8，硅粉加料機(jī)9包括齒輪傳動 裝置5和通過螺栓1固定于齒輪傳動裝置5外部的防護(hù)罩2，齒輪傳動裝置5與防護(hù)罩2之 間設(shè)置0型密封圈3，所述0型密封圈3為在-100°C 100°C之間能夠具有良好的機(jī)械強(qiáng)度 的四氟材料。所述防護(hù)罩2上連接設(shè)置有氮?dú)饩彌_罐6。氮?dú)饩彌_罐6通過防護(hù)罩2通入氮?dú)?至防護(hù)罩2和齒輪傳動裝置5之間，可以調(diào)節(jié)通入的氮?dú)鈮毫Ω哂诠璺奂恿蠙C(jī)9內(nèi)部運(yùn)行 壓力，從而防止0型密封圈3被硅粉加料機(jī)9內(nèi)部運(yùn)行壓力振松。硅粉加料機(jī)9和氮?dú)饩彌_罐6之間還設(shè)置有減壓閥7。防護(hù)罩2下端的螺栓1與齒輪傳動裝置5之間還設(shè)置有配接環(huán)4。在進(jìn)加料機(jī)氮?dú)夤苈飞显鲈O(shè)氮?dú)饩彌_罐，以保證氮?dú)鈮毫Σ▌訒r氮封壓力穩(wěn)定， 氮?dú)饩彌_罐基本數(shù)據(jù)見表1。
權(quán)利要求硅粉加料機(jī)，上端連接有硅粉料斗(8)，硅粉加料機(jī)包括齒輪傳動裝置(5)和通過螺栓(1)固定于齒輪傳動裝置(5)外部的防護(hù)罩(2)，其特征在于齒輪傳動裝置(5)與防護(hù)罩(2)之間設(shè)置O型密封圈(3)，所述O型密封圈(3)采用四氟材料。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅粉加料機(jī)，其特征在于所述防護(hù)罩上連接設(shè)置有氮?dú)饩?沖罐(6)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅粉加料機(jī)，其特征在于加料機(jī)和氮?dú)饩彌_罐之間還設(shè)置 有減壓閥(7)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅粉加料機(jī)，其特征在于防護(hù)罩(2)下端的螺栓(1)與齒 輪傳動裝置(5)之間還設(shè)置有配接環(huán)(4)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅粉加料機(jī)，上端連接有硅粉料斗，硅粉加料機(jī)包括齒輪傳動裝置和通過螺栓固定于齒輪傳動裝置外部的防護(hù)罩，所述齒輪傳動裝置與防護(hù)罩之間設(shè)置O型密封圈，所述O型密封圈采用四氟材料；本實(shí)用新型對密封圈材料的改進(jìn)可以使加料機(jī)密封效果大大提高了，密封圈的更換次數(shù)由原1次/3天到現(xiàn)在1次/數(shù)月，這樣大大減少了維修人員的工作量，同時也有利于連續(xù)生產(chǎn)；本實(shí)用新型更加適用于摩擦大、有酸性氣體的環(huán)境；同時，在進(jìn)加料機(jī)氮?dú)夤苈飞显鲈O(shè)氮?dú)饩彌_罐，以保證氮?dú)鈮毫Σ▌訒r氮封壓力穩(wěn)定。
文檔編號C01B33/107GK201770490SQ20102029784
公開日2011年3月23日 申請日期2010年8月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月19日
發(fā)明者劉科, 諶亮, 陳少華, 馬鵬 申請人:天威四川硅業(yè)有限責(zé)任公司