專利名稱：一種多臺(tái)多晶爐并聯(lián)運(yùn)行真空系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于多晶硅太陽(yáng)能電池技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種多臺(tái)多晶爐并聯(lián)運(yùn) 行時(shí)的真空系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前不管國(guó)產(chǎn)或者進(jìn)口多晶鑄錠爐(簡(jiǎn)稱多晶爐)，多采用傳統(tǒng)的一爐一組真空 機(jī)組的運(yùn)行方式，多晶爐運(yùn)行前期，爐內(nèi)要求為真空模式時(shí)，真空機(jī)組中的機(jī)械泵、羅茨泵 共同運(yùn)行，并且主管道全開(kāi)，以達(dá)到在加熱階段爐內(nèi)處于高真空的目的；而從加熱階段進(jìn)入 熔化階段后，爐內(nèi)逐步開(kāi)始充入保護(hù)氣體(Ar)，即保護(hù)氣體模式時(shí)，真空機(jī)組中只開(kāi)啟機(jī)械 泵，抽氣管道也采用旁路，主管道關(guān)閉，由氣動(dòng)閥門根據(jù)工藝設(shè)定壓力對(duì)旁路自動(dòng)開(kāi)閉，使 爐內(nèi)氣壓符合生產(chǎn)要求，直至整個(gè)工藝流程結(jié)束，完成一個(gè)生產(chǎn)周期。一個(gè)完整的生產(chǎn)周期 大約在65小時(shí)左右，真空機(jī)組中的機(jī)械泵在整個(gè)周期中全程運(yùn)行，而其中有四分之三以上 的時(shí)間，抽氣管道采用旁路，機(jī)械泵能耗大量地是在作無(wú)用功而白白浪費(fèi)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提出了一種多臺(tái)多晶爐并聯(lián)運(yùn)行真空 系統(tǒng)，采用本系統(tǒng)可以減少機(jī)械泵的運(yùn)行數(shù)量，實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗的目的。本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題所采取的技術(shù)方案是，一種多臺(tái)多晶爐并聯(lián)運(yùn)行真空系 統(tǒng)，其中多晶鑄錠爐和真空機(jī)組一一對(duì)應(yīng)，所述真空機(jī)組包括機(jī)械泵和羅茨泵，其特征在 于，它至少包括二臺(tái)多晶鑄錠爐和二組真空機(jī)組，所述的各組真空機(jī)組的機(jī)械泵分別通過(guò) 主管道與對(duì)應(yīng)的一臺(tái)多晶鑄錠爐連通，并且每組真空機(jī)組的機(jī)械泵均通過(guò)管道經(jīng)閥門連接 至并聯(lián)總管道而與各臺(tái)多晶鑄錠爐連通。在本實(shí)用新型中，多臺(tái)多晶鑄錠爐的真空系統(tǒng)既實(shí)行并聯(lián)，又又一一對(duì)應(yīng)，在并聯(lián) 連接時(shí)，在機(jī)械泵通往并聯(lián)總管道的連接管道上設(shè)置了閥門，該閥門可以是手動(dòng)旋鈕閥門， 也可以是氣動(dòng)閥門或者電動(dòng)閥門等。當(dāng)并聯(lián)的多臺(tái)多晶爐中要求真空模式時(shí)，各臺(tái)機(jī)械泵 全部開(kāi)啟，并關(guān)閉機(jī)械泵通往并聯(lián)總管道的連接管道上所設(shè)置的閥門，使一臺(tái)多晶爐通過(guò) 主管道對(duì)應(yīng)一臺(tái)機(jī)械泵；當(dāng)多臺(tái)多晶爐同時(shí)處于保護(hù)氣體模式時(shí)，可以減少機(jī)械泵的運(yùn)行 數(shù)量，直至僅保留一臺(tái)機(jī)械泵運(yùn)行，此時(shí)，多晶爐主管道閥門關(guān)閉，應(yīng)當(dāng)開(kāi)啟運(yùn)行的機(jī)械泵 通往并聯(lián)總管道的連接管道上所設(shè)置的閥門。本實(shí)用新型的實(shí)施，多臺(tái)多晶爐采用并聯(lián)運(yùn)行的真空系統(tǒng)，與原有的單臺(tái)多晶爐 單獨(dú)使用一組真空機(jī)組的情況相比較，在節(jié)省電能方面取得了顯著的成效。這就實(shí)現(xiàn)了在 保護(hù)氣體模式下多臺(tái)多晶爐共用一臺(tái)機(jī)械泵的目標(biāo)，從而實(shí)現(xiàn)了節(jié)能降耗的目的。

圖1為本實(shí)用新型一種實(shí)施方式示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，它包括4臺(tái)多晶鑄錠爐1和4組真空機(jī)組，一組真空機(jī)組中包括1 臺(tái)機(jī)械泵5，故有4臺(tái)機(jī)械泵5。各機(jī)械泵5分別通過(guò)主管道6與對(duì)應(yīng)的一臺(tái)多晶鑄錠爐 1連通，每臺(tái)機(jī)械泵5均分別通過(guò)管道經(jīng)手動(dòng)旋鈕閥門4連接至并聯(lián)總管道3而與各臺(tái)多 晶鑄錠爐1連通。在通往每臺(tái)多晶鑄錠爐1的管道上靠近多晶鑄錠爐1處均設(shè)有氣動(dòng)閥 門2。本實(shí)施例在實(shí)際運(yùn)行中，產(chǎn)生了良好的節(jié)能效果，以一個(gè)完整的生產(chǎn)周期計(jì)，4臺(tái)多晶 爐并聯(lián)運(yùn)行真空系統(tǒng)后，用電量由真空系統(tǒng)獨(dú)立運(yùn)行的1950度下降到825度，僅為原來(lái)的 42.31%,即可能節(jié)省電能57. 69%，如下表所示。
權(quán)利要求1. 一種多臺(tái)多晶爐并聯(lián)運(yùn)行真空系統(tǒng)，其中多晶鑄錠爐和真空機(jī)組一一對(duì)應(yīng)，所述真 空機(jī)組包括機(jī)械泵和羅茨泵，其特征在于，它至少包括二臺(tái)多晶鑄錠爐和二組真空機(jī)組，所 述的各組真空機(jī)組的機(jī)械泵分別通過(guò)主管道與對(duì)應(yīng)的一臺(tái)多晶鑄錠爐連通，并且每組真空 機(jī)組的機(jī)械泵均分別通過(guò)管道經(jīng)閥門連接至并聯(lián)總管道而與各臺(tái)多晶鑄錠爐連通。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種多臺(tái)多晶爐并聯(lián)運(yùn)行時(shí)的真空系統(tǒng)。它至少包括二臺(tái)多晶鑄錠爐和二組真空機(jī)組，多晶鑄錠爐和真空機(jī)組一一對(duì)應(yīng)，各組真空機(jī)組的機(jī)械泵分別通過(guò)主管道與對(duì)應(yīng)的一臺(tái)多晶鑄錠爐連通，并且每組真空機(jī)組的機(jī)械泵均通過(guò)管道經(jīng)閥門連接至并聯(lián)總管道而與各臺(tái)多晶鑄錠爐連通。采用本實(shí)用新型，在保護(hù)氣體模式下多臺(tái)多晶爐可共用一臺(tái)機(jī)械泵，實(shí)現(xiàn)了節(jié)能降耗的目的。
文檔編號(hào)C01B33/021GK201882916SQ20102059171
公開(kāi)日2011年6月29日 申請(qǐng)日期2010年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月4日
發(fā)明者錢其峰 申請(qǐng)人:浙江芯能光伏科技有限公司