專利名稱：氯硅烷冷凝儲存器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將多晶硅還原爐排出的尾氣中氯硅烷回收的設(shè)備，特別是一種可以將氯硅烷氣體冷凝并貯存的氯硅烷冷凝儲存器。
背景技術(shù)：
在多晶硅還原爐尾氣的處理裝置中，冷凝器的功能僅僅只是在冷媒的作用下在冷凝器內(nèi)部對熱媒，即含有氯硅烷成份的尾氣進行降溫換熱。由于使用這種處理裝置要求冷凝器連續(xù)運行，在冷凝器內(nèi)的凝結(jié)液無法外排轉(zhuǎn)運。如果有凝結(jié)液，即氯硅烷液體產(chǎn)生，并且要求把氯硅烷液體儲存，通常還需配備另外的冷凝器、專門的貯罐和相應的儀表及管道。 這樣不僅設(shè)備制造成本較高，而且配備相應的儀表和管道將增加設(shè)備的安全隱患。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是為了克服現(xiàn)有氯硅烷回收設(shè)備的不足，本發(fā)明提供一種將冷凝器與貯存罐一體化的氯硅烷冷凝儲存器。本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種氯硅烷冷凝儲存器，包括冷凝器和氯硅烷貯存罐，冷凝器具有熱媒入口、冷媒入口、冷媒出口、不凝氣出口和凝結(jié)液自流口，所述的冷凝器下部與氯硅烷貯存罐密封連接，氯硅烷貯存罐具有液位計接口，所述的液位計接口固定連接有液位計，氯硅烷貯存罐底部還具有凝結(jié)液出口，所述的凝結(jié)液出口固定連接有氯硅烷液體到達高位時自動打開并且氯硅烷液體下降至低位時自動關(guān)閉的閘閥。作為優(yōu)選，所述的氯硅烷貯存罐的內(nèi)徑略大于冷凝器的外徑，冷凝器的下部固定內(nèi)嵌于氯硅烷貯存罐上部，所述的氯硅烷貯存罐上部具有用于與冷凝器連接的第一法蘭， 冷凝器下部具有用于與氯硅烷貯存罐連接的第二法蘭，第一法蘭與第二法蘭通過螺栓固定連接。作為優(yōu)選，所述的液位計和閘閥均通過螺栓與氯硅烷貯存罐固定連接。為了便于轉(zhuǎn)運氯硅烷液體，還具有將氯硅烷貯存罐內(nèi)的氯硅烷液體抽出的輸送泵。本發(fā)明氯硅烷冷凝儲存器，氯硅烷氣體在冷凝器的作用下從氣態(tài)轉(zhuǎn)變成液態(tài)，液態(tài)的氯硅烷在重力的作用下自流到冷凝器底部的氯硅烷貯存罐中。冷凝器下部的氯硅烷貯存罐在安裝液位計后發(fā)出干結(jié)點信號，可以隨時得到液態(tài)的氯硅烷產(chǎn)量。通過電氣控制系統(tǒng)控制，在氯硅烷貯存罐內(nèi)的氯硅烷液體到達高位時，氯硅烷貯存罐底部的間閥自動打開， 并且在輸送泵的作用下轉(zhuǎn)運氯硅烷液體到氯硅烷運輸儲罐。在轉(zhuǎn)運的過程中，當氯硅烷貯存罐的氯硅烷液體下降至液位低位時，輸送泵與閘閥全部自動關(guān)閉，同時提供運輸儲罐的更換時間。在氯硅烷液體轉(zhuǎn)運的過程中，氯硅烷貯存罐內(nèi)始終保持一定體積的氯硅烷液體， 含有氯硅烷的尾氣無法外泄，空氣也不能進入氯硅烷冷凝器。本發(fā)明的有益效果是，本發(fā)明氯硅烷冷凝儲存器，將冷凝器與氯硅烷貯存罐結(jié)合， 保證了氯硅烷冷凝儲存器的連續(xù)工作，與此同時，氯硅烷貯存罐內(nèi)始終保持一定體積的氯硅烷液體，含有氯硅烷的尾氣不會進入運輸儲罐。與傳統(tǒng)的冷凝貯存設(shè)備相比，既減少了冷凝器的數(shù)量又省略了冷凝器與貯存罐二者之間連接的管道與儀表，減少了設(shè)備的安全隱患。采用電氣控制系統(tǒng)進行自動控制，控制更加精確，效率得到有效提高。


下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。圖1是現(xiàn)有冷凝器的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本發(fā)明氯硅烷冷凝儲存器最優(yōu)實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、冷凝器，1-1、熱媒入口，1-2、冷媒入口，1-3、冷媒出口，1-4、不凝氣出口， 1-5、凝結(jié)液自流口，2、氯硅烷貯存罐，2-1、凝結(jié)液出口，3、液位計，4、閘閥，5、冷凝器列管， 6、第一法蘭，7、第二法蘭。
具體實施例方式現(xiàn)在結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本發(fā)明有關(guān)的構(gòu)成。如圖1所示為現(xiàn)有冷凝器的結(jié)構(gòu)示意圖，具有熱媒入口 1-1、冷媒入口 1-2、冷媒出口 1-3、不凝氣出口 1-4和凝結(jié)液自流口 1-5。本發(fā)明是將冷凝器與貯存罐一體化，如圖2 所示，本發(fā)明氯硅烷冷凝儲存器最優(yōu)實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。一種氯硅烷冷凝儲存器，包括冷凝器1和氯硅烷貯存罐2，冷凝器1具有熱媒入口 1-1、冷媒入口 1-2、冷媒出口 1-3、不凝氣出口 1-4和凝結(jié)液自流口 1-5，冷凝器1下部與氯硅烷貯存罐2密封連接，氯硅烷貯存罐2 的內(nèi)徑略小于冷凝器1的外徑，冷凝器1的下部固定內(nèi)嵌于氯硅烷貯存罐2上部，氯硅烷貯存罐2具有液位計接口，液位計接口固定連接有液位計3，氯硅烷貯存罐2底部還具有凝結(jié)液出口 2-1，凝結(jié)液出口 2-1固定連接有氯硅烷液體到達高位時自動打開并且氯硅烷液體下降至低位時自動關(guān)閉的氣動閥門4。氯硅烷貯存罐2上部具有用于與冷凝器1連接的第一法蘭6，冷凝器1下部具有用于與氯硅烷貯存罐2連接的第二法蘭7，第一法蘭6與第二法蘭7通過螺栓固定連接，液位計3和氣動閥門4均通過螺栓與氯硅烷貯存罐2固定連接。還具有將氯硅烷貯存罐2內(nèi)的氯硅烷液體抽出的輸送泵。還具有PLC可編程邏輯控制器，氣動閥門4的開閉通過PLC可編程邏輯控制器自動控制，輸送泵的起停通過PLC可編程邏輯控制器自動控制。多晶硅還原爐尾氣通過冷凝器1的熱媒入口 1-1進入冷凝器1，低溫冷媒通過冷媒入口 1-2進入冷凝器1，兩種物質(zhì)通過冷凝器列管5進行熱交換，降溫后的不凝氣體通過不凝氣出口 1-4排出冷凝器1，冷媒在壓力的作用下由冷媒出口 1-3流出冷凝器1，發(fā)生相變后的氯硅烷氣體凝結(jié)成液體，液態(tài)的氯硅烷在重力的作用下自流到冷凝器1底部的氯硅烷貯存罐2中。冷凝器1下部的氯硅烷貯存罐2安裝的液位計3發(fā)出干結(jié)點信號，可以隨時得到液態(tài)的氯硅烷產(chǎn)量。在氯硅烷貯存罐2內(nèi)的氯硅烷液體到達高位時，氯硅烷貯存罐 2底部的氣動閥門4自動打開，并且在輸送泵的作用下轉(zhuǎn)運氯硅烷液體到氯硅烷運輸儲罐。 在轉(zhuǎn)運的過程中，當氯硅烷貯存罐2的氯硅烷液體下降至液位低位時，輸送泵與氣動閥門4 全部自動關(guān)閉，同時提供運輸儲罐的更換時間。通過PLC可編程邏輯控制器設(shè)置液位低位，使氯硅烷貯存罐2在氯硅烷液體轉(zhuǎn)運的過程中始終保持一定體積的氯硅烷液體，從而使含有氯硅烷的尾氣無法外泄，空氣也不能進入氯硅烷冷凝器。 以上述依據(jù)本發(fā)明的理想實施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進行多樣的變更以及修改。本項發(fā)明的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
權(quán)利要求
1.一種氯硅烷冷凝儲存器，包括冷凝器(1)和氯硅烷貯存罐0)，冷凝器(1)具有熱媒入口(1-1)、冷媒入口(1-2)、冷媒出口(1-3)、不凝氣出口 (1-4)和凝結(jié)液自流口(1-5)，其特征在于所述的冷凝器(1)下部與氯硅烷貯存罐( 密封連接，氯硅烷貯存罐( 具有液位計接口，所述的液位計接口固定連接有液位計(3)，氯硅烷貯存罐( 底部還具有凝結(jié)液出口 0-1)，所述的凝結(jié)液出口固定連接有氯硅烷液體到達高位時自動打開并且氯硅烷液體下降至低位時自動關(guān)閉的閘閥G)。
2.如權(quán)利要求1所述的氯硅烷冷凝儲存器，其特征在于所述的氯硅烷貯存罐的內(nèi)徑略大于冷凝器(1)的外徑，冷凝器(1)的下部固定內(nèi)嵌于氯硅烷貯存罐( 上部，所述的氯硅烷貯存罐( 上部具有用于與冷凝器(1)連接的第一法蘭(6)，冷凝器(1)下部具有用于與氯硅烷貯存罐( 連接的第二法蘭(7)，第一法蘭(6)與第二法蘭(7)通過螺栓固定連接。
3.如權(quán)利要求1所述的氯硅烷冷凝儲存器，其特征在于所述的液位計C3)和閘閥(4) 均通過螺栓與氯硅烷貯存罐固定連接。
4.如權(quán)利要求1所述的氯硅烷冷凝儲存器，其特征在于還具有將氯硅烷貯存罐(2) 內(nèi)的氯硅烷液體抽出的輸送泵。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種氯硅烷冷凝儲存器，包括冷凝器和氯硅烷貯存罐，冷凝器具有熱媒入口、冷媒入口、冷媒出口、不凝氣出口和凝結(jié)液自流口，冷凝器下部與氯硅烷貯存罐密封連接，氯硅烷貯存罐具有液位計接口，液位計接口固定連接有液位計，氯硅烷貯存罐底部還具有凝結(jié)液出口，凝結(jié)液出口固定連接有氯硅烷液體到達高位時自動打開并且氯硅烷液體下降至低位時自動關(guān)閉的閘閥。本發(fā)明氯硅烷冷凝儲存器，將冷凝器與氯硅烷貯存罐結(jié)合，保證了氯硅烷冷凝儲存器的連續(xù)工作，與此同時，含有氯硅烷的尾氣不會進入運輸儲罐。與傳統(tǒng)的冷凝貯存設(shè)備相比，既減少了冷凝器的數(shù)量又省略了冷凝器與貯存罐二者之間連接的管道與儀表，減少了設(shè)備的安全隱患。
文檔編號C01B33/107GK102229432SQ20111013405
公開日2011年11月2日 申請日期2011年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月19日
發(fā)明者蔣超 申請人:蔣超