專利名稱：一種電子級化學(xué)品結(jié)晶器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及結(jié)晶設(shè)備，具體來說涉及一種電子級化學(xué)品結(jié)晶器。
背景技術(shù)：
電子級磷酸化學(xué)品晶體廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路、薄膜液晶顯示器(TFT-IXD) 等電子工業(yè)，主要用于芯片的清洗和蝕刻，電子級磷酸晶體對生產(chǎn)設(shè)備有較高的要求，晶體難以控制、結(jié)晶條件要求苛刻，結(jié)晶器是影響產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵；目前國內(nèi)應(yīng)用的結(jié)晶器存在攪拌不充分，攪拌器的速率不好調(diào)節(jié)，下料過程中有堵塞的現(xiàn)象，清理困難，而且結(jié)晶過程不易觀察，磷酸晶體的形狀難以控制、產(chǎn)品易被污染，從而影響產(chǎn)品的質(zhì)量及生產(chǎn)周期。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供結(jié)構(gòu)簡單、實用、有效的一種電子級化學(xué)品結(jié)晶器，以滿足電子級磷酸化學(xué)品結(jié)晶生產(chǎn)的需要。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下
一種電子級化學(xué)品結(jié)晶器，包括結(jié)晶罐，攪拌器，所述結(jié)晶罐采用高純塑料作為內(nèi)襯；所述結(jié)晶罐外有鋼圍管和/或夾套；所述結(jié)晶罐設(shè)置3 5個物料加入口 ；所述結(jié)晶罐罐壁開有2 4個目視孔；所述結(jié)晶罐罐壁還開有2 4個溫度計插入孔；所述攪拌器采用變頻調(diào)節(jié)模式，所述攪拌器攪拌軸直達(dá)結(jié)晶罐底部，并在攪拌軸底端連接有刮板。作為本發(fā)明改進(jìn)，所述刮板上置有小孔。本發(fā)明提供的結(jié)晶器，具有以下特點
(1)結(jié)晶罐采用高純塑料作為內(nèi)襯，達(dá)到防腐、潔凈的效果；
(2)結(jié)晶罐外置做鋼圍管和/或夾套，通入介質(zhì)，達(dá)到降溫或升溫的效果；
(3)結(jié)晶罐設(shè)置多個物料加入口，便于原料加入、凈化劑加入、晶種加入和結(jié)晶罐清洗， 達(dá)到更好形成晶體的效果；
(4)結(jié)晶罐罐壁開有目視孔，便于隨時觀察結(jié)晶效果；
(5)攪拌器采用變頻調(diào)節(jié)模式，可根據(jù)晶體成形過程的特點來改變攪拌器頻率，以便控制結(jié)晶的晶形，并達(dá)到提純的效果。(6)結(jié)晶器的攪拌軸直達(dá)結(jié)晶罐底部，并在攪拌軸底端連接攪拌刮板，有利于晶體的下料和清理；避免了晶體在下料過程中的堵塞管道的現(xiàn)象。本發(fā)明提供的一種電子級化學(xué)品結(jié)晶器，通過實際使用證明，達(dá)到了預(yù)定目的，適用于電子級化學(xué)品晶體生產(chǎn)的需要，尤其是適用于電子級磷酸化學(xué)品晶體生產(chǎn)。


附圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖中ι為物料加入口，2為結(jié)晶罐，3為溫度計插入孔，4為刮板，5為夾套，6為目視孔，7為鋼圍管，8為攪拌器，9為介質(zhì)進(jìn)口，10為介質(zhì)出口。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖與實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步描述 實施例
附圖1示意了本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，某廠所使用的電子級化學(xué)品結(jié)晶器，如圖1所示，其結(jié)晶罐2內(nèi)部采用高純塑料(如高純密度聚乙烯一HDPE或聚四氟乙烯一PTFE或聚四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚一PFA)作為內(nèi)襯，防止材質(zhì)對電子化學(xué)品產(chǎn)生二次污染；結(jié)晶罐2上設(shè)置 3個物料加入口 1 ；結(jié)晶罐2壁上開有3個目視孔6和3個溫度計插入孔3 ；結(jié)晶罐2外上部置有鋼圍管7，下部置有夾套5，鋼圍管7和夾套5是連通的，其上設(shè)有介質(zhì)進(jìn)口 9和介質(zhì)出口 10 ；結(jié)晶罐2中央裝有攪拌器8，攪拌器8采用變頻調(diào)節(jié)模式，所述攪拌器8攪拌軸直達(dá)結(jié)晶罐2底部，并在攪拌軸底端連接有刮板4。本實施例刮板4上置有小孔。本發(fā)明已在某廠電子級磷酸化學(xué)品晶體生產(chǎn)上運用，取代了原有的結(jié)晶器，使產(chǎn)品晶體具有特定的晶形、光澤，達(dá)到提純作用，產(chǎn)品質(zhì)量有保證，具有很好的經(jīng)濟效益。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，任何未脫離本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種電子級化學(xué)品結(jié)晶器，包括結(jié)晶罐，攪拌器，其特征在于所述結(jié)晶罐(2)采用高純塑料作為內(nèi)襯；所述結(jié)晶罐(2)外有鋼圍管(7)和/或夾套(5)；所述結(jié)晶罐(2)設(shè)置3 5個物料加入口⑴；所述結(jié)晶罐(2)罐壁開有2 4個目視孔(6);所述結(jié)晶罐 2罐壁還開有2 4個溫度計插入孔(3)；所述攪拌器(8)采用變頻調(diào)節(jié)模式，所述攪拌器 (8)攪拌軸直達(dá)結(jié)晶罐(2)底部，并在攪拌軸底端連接有刮板G)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1一種電子級化學(xué)品結(jié)晶器，其特征在于所述刮板(4)上置有小孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1一種電子級化學(xué)品結(jié)晶器，其特征在于所述高純塑料為高純密度聚乙烯一HDPE或聚四氟乙烯一PTFE或聚四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚一PFA。
全文摘要
一種電子級化學(xué)品結(jié)晶器，包括結(jié)晶罐,攪拌器,所述結(jié)晶罐采用高純塑料作為內(nèi)襯；所述結(jié)晶罐外有鋼圍管和/或夾套；所述結(jié)晶罐設(shè)置3～5個物料加入口；所述結(jié)晶罐罐壁開有2～4個目視孔;所述結(jié)晶罐罐壁還開有2～4個溫度計插入孔；所述攪拌器采用變頻調(diào)節(jié)模式，所述攪拌器攪拌軸直達(dá)結(jié)晶罐底部，并在攪拌軸底端連接有刮板。本發(fā)明使產(chǎn)品晶體具有特定的晶形、光澤，達(dá)到提純作用,產(chǎn)品質(zhì)量有保證，具有很好的經(jīng)濟效益,適用于電子級化學(xué)品晶體生產(chǎn)的需要,尤其是適用于電子級磷酸化學(xué)品晶體生產(chǎn)。
文檔編號C01B25/234GK102500127SQ20111031334
公開日2012年6月20日 申請日期2011年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月17日
發(fā)明者劉海, 劉飛, 孟文祥, 蔣月明 申請人:甕福(集團)有限責(zé)任公司