專利名稱：一種生產(chǎn)高純乙硅烷的系統(tǒng)及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種生產(chǎn)高純乙硅烷的系統(tǒng)及其方法。
背景技術(shù)：
乙硅烷是硅、氫化合物。和硅烷一樣都是最重要的硅烷氣體之一。尤其是乙硅烷明顯優(yōu)于硅烷的情況有以下幾種a、在輝光放電沉積非晶硅薄膜時(shí)，乙硅烷的沉積速率比硅烷至少高20倍以上，而且所形成的薄膜比硅烷的膜厚得多，達(dá)到20 μ m，這種乙硅烷所沉積薄膜具有更高的光電導(dǎo)性能。b、用硅烷制備半導(dǎo)體硅時(shí)，乙硅烷的分解溫度可以降低200 300°C，每單位重量半導(dǎo)體硅的能耗將會(huì)大幅度下降。C、在離子注入工藝過程，用乙硅烷做離子源容易起輝，束源強(qiáng)，效果明顯優(yōu)于其他氣體。d、乙硅烷可以作為III-V族元素化合物半導(dǎo)體材料的摻雜劑，也可以制作摻磷多晶硅材料，以用于集成器件的柵極和發(fā)射極，這些優(yōu)點(diǎn)都是硅烷所無法替代的。乙硅烷的制備方法一、以硅烷為初始原料制備乙硅烷以硅烷為初始原料通過光解、輝光放電、原子激發(fā)、靜電場(chǎng)、熱分解等方法都有可能使SiH4R化為乙硅烷。反應(yīng)式:2SiH4光解……或熱分解> Si2H6 +H2這些方法都是在硅烷壓力很低的條件下(幾乇 20乇之間)進(jìn)行的。硅烷通過熱分解來制備乙硅烷面臨的主要問題是乙硅烷轉(zhuǎn)化率低，只有8%左右，并且很容易產(chǎn)生棕黃色無定形的(SiH2)固態(tài)物質(zhì)。以上這些方法它們都沒有真正的實(shí)用價(jià)值。二、鹵代乙硅烷還原法用氫化鋁鋰(LiAlH4)還原六氯乙硅烷(Si2Cl6)制備乙硅烷。反應(yīng)式:3LiAlH4+ ISi2Cl6 ~醚為溶劑 > ISi2H6 +3UCI+3AICI,把氫化鋁鋰的乙醚溶液慢慢地加入處于真空和0°C下的六氯乙硅烷的乙醚溶烷。 這種方法六氯乙硅烷的轉(zhuǎn)化率為87%，產(chǎn)物中大部分是乙硅烷，只有少量的是甲硅烷。應(yīng)該注意如果不是把氫化鋁鋰溶液加入六氯乙硅烷溶液，相反而是把六氯乙硅烷溶液加入過量的氫化鋁鋰溶液中，則主要產(chǎn)物是甲硅烷，只有少量的是乙硅烷。目前這種方法僅僅停留在實(shí)驗(yàn)室中，還沒有形成工業(yè)化的生產(chǎn)過程。三、硅化鎂與氯化銨反應(yīng)制備乙硅烷反應(yīng)式:2Mg+ Si^Mg2Si2Mg2Si+8NH4Cl — Si2H6+4MgCl2+H2+8NH32008年以后國(guó)內(nèi)已有多家利用硅化鎂和氯化銨反應(yīng)生產(chǎn)高純硅烷的生產(chǎn)企業(yè)，年產(chǎn)量都在10噸左右。目前狀態(tài)是1、這些廠家可能還不知道反應(yīng)釜中產(chǎn)生硅烷的過程中必然會(huì)產(chǎn)生乙硅烷；2、即使知道反應(yīng)釜中有乙硅烷產(chǎn)生但根本就沒有辦法把乙硅烷單獨(dú)分離出來成為投放市場(chǎng)的一種產(chǎn)品。而白白地讓乙硅烷這種優(yōu)良的資源浪費(fèi)在自己的生產(chǎn)線上。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種生產(chǎn)高純乙硅烷的系統(tǒng)及其方法。生產(chǎn)高純乙硅烷的系統(tǒng)包括硅化鎂和氯化銨加料裝置、液氨儲(chǔ)槽、反應(yīng)釜、冷凝器、粗硅烷提純裝置、硅烷深提純裝置、乙硅烷液化裝置、乙硅烷提純裝置、第一閥門、第二閥門、第三閥門和第四閥門；硅化鎂和氯化銨加料裝置與反應(yīng)釜第1進(jìn)料口相連，液氨儲(chǔ)槽與反應(yīng)釜第2進(jìn)料口相連，冷凝器氨回流口與反應(yīng)釜第2進(jìn)料口相連，反應(yīng)釜硅烷和乙硅烷出口與冷凝器進(jìn)氣口相連，冷凝器出氣口與粗硅烷提純裝置進(jìn)口相連，粗硅烷提純裝置出口分別與第一閥門的一端和第二閥門的一端相連，第二閥門的另一端與乙硅烷液化裝置進(jìn)氣口相連，乙硅烷液化裝置出氣口分別與第三閥門的一端和第四閥門的一端相連，第四閥門的另一端與乙硅烷提純裝置進(jìn)氣口相連，第一閥門另一端和第三閥門的另一端與硅烷深提純裝置的進(jìn)氣口相連。所述的粗硅烷提純裝置為串聯(lián)的二個(gè)或多個(gè)直徑為30cm 40cm，高2. 5m 3π!的不銹鋼容器，并裝有1000重量份 1200重量份的4Α分子篩。所述的乙硅烷液化裝置為不銹鋼容器，直徑為12 15cm，高為50 80cm。所述的乙硅烷提純裝置為串聯(lián)的二個(gè)或多個(gè)不銹鋼容器，直徑為10 15cm，高為 1. 5 2. 0m。并裝有100重量份 120重量份的5A和13X兩種分子篩。5A分子篩約占總裝量的90% 92%，13X約占總裝量的8% 10%。生產(chǎn)高純乙硅烷的方法是將25 30重量份的硅化鎂和75 85重量份氯化銨的混合料加入反應(yīng)釜中，再加入300 350重量份液態(tài)氨，并充分?jǐn)嚢瑁磻?yīng)溫度為-20 -25 °C，反應(yīng)壓力為0. 2 0. 25Mpa，得到三種氣態(tài)物質(zhì)，即9 9. 5重量份硅烷和0. 1 0. 3重量份的乙硅烷以及10-11重量份的氨；硅烷、乙硅烷和氨從反應(yīng)釜的出氣口通過冷凝器的進(jìn)口進(jìn)入冷凝器，冷凝器的溫度為_75°C -80°C，壓力為0. 2 0. 25MPa，經(jīng)過冷凝后99% 99. 5%的氣態(tài)氨變成液態(tài)氨，液態(tài)氨通過反應(yīng)釜的第二進(jìn)料口回流到反應(yīng)釜；硅烷、乙硅烷和少量氣態(tài)氨進(jìn)入粗硅烷提純置，少量氣態(tài)氨完全被4A分子篩吸附；硅烷、乙硅烷從粗硅烷提純裝置出口進(jìn)入乙硅烷液化裝置，乙硅烷由氣態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)，乙硅烷的液化溫度為-14. 5°C，乙硅烷液化裝置中致冷劑的工作溫度為-90 -110°C，硅烷從乙硅烷液化裝置的出口進(jìn)入硅烷深提純裝置提純?yōu)楦呒児柰?；乙硅烷成為液態(tài)物質(zhì)留在乙硅烷液化裝置中，從而達(dá)到硅烷與乙硅烷充分分離的目的；當(dāng)乙硅烷液化瓶收集到1重量份的乙硅烷時(shí)，關(guān)閉第二閥門和第三閥門，開啟第一閥門，并讓乙硅烷液化裝置與致冷劑分離，乙硅烷液化裝置逐漸升溫，當(dāng)乙硅烷液化裝置的壓力達(dá)到0. 1 0. 2MPa時(shí)打開第四閥門，乙硅烷氣體從乙硅烷液化裝置進(jìn)入乙硅烷提純裝置提純，從乙硅烷提純裝置出口得到0. 1 0. 2重量份的高純乙硅烷，高純乙硅烷雜質(zhì)含量氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、水等各項(xiàng)提標(biāo)均低于1X10_5，III-V族元素的氫化物各項(xiàng)提標(biāo)均低于1X10_9。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的有益效果
1)乙硅烷只是生產(chǎn)硅烷過程中的一種付產(chǎn)品，投入少，能耗低，乙硅烷的生產(chǎn)成本很低。2)乙硅烷純度高02，H2O, N2, CO2, CO, CH4等雜質(zhì)均在1 XliT5以下，III、V族元素的氫化物可以降到IX 10_9以下。3)以年產(chǎn)50噸硅烷的生產(chǎn)規(guī)模計(jì)算，乙硅烷年產(chǎn)量可以達(dá)到500 600千克。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，一旦乙硅烷的需求量迅速上升，若要提高乙硅烷的年生產(chǎn)水平，只要改變生產(chǎn)硅烷的工藝條件如硅化鎂的合成溫度，硅烷反應(yīng)釜的反應(yīng)溫度……等就可以較大幅度提高乙硅烷的生產(chǎn)能力。


附圖是生產(chǎn)高純乙硅烷系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明反應(yīng)釜的反應(yīng)式為a、Mg2Si + ANH4 -2οτ > SiH4 個(gè) +IMgCl2 + 4ΝΗ3b、2Mg2Si+8NH4Cl — 4MgCl2+Si2H6+H2+8NH3如附圖所示，生產(chǎn)高純乙硅烷的系統(tǒng)包括硅化鎂和氯化銨加料裝置1、液氨儲(chǔ)槽 2、反應(yīng)釜3、冷凝器4、粗硅烷提純裝置5、硅烷深提純裝置6、乙硅烷液化裝置7、乙硅烷提純裝置8、第一閥門9、第二閥門10、第三閥門11和第四閥門12 ；硅化鎂和氯化銨加料裝置1 與反應(yīng)釜3第1進(jìn)料口相連，液氨儲(chǔ)槽2與反應(yīng)釜3第2進(jìn)料口相連，冷凝器、氨回流口與與反應(yīng)釜3第2進(jìn)料口相連，反應(yīng)釜3硅烷和乙硅烷出口與冷凝器4進(jìn)氣口相連，冷凝器4 出氣口與粗硅烷提純裝置5進(jìn)口相連，粗硅烷提純裝置5出口分別與第一閥門9的一端和第二閥門10的一端相連，第二閥門10的另一端與乙硅烷液化裝置7進(jìn)氣口相連，乙硅烷液化裝置7出氣口分別與第三閥門11的一端和第四閥門12的一端相連，第四閥門12的另一端與乙硅烷提純裝置8進(jìn)氣口相連，第一閥門9另一端和第三閥門11的另一端與硅烷深提純裝置6的進(jìn)氣口相連。所述的粗硅烷提純裝置5為串聯(lián)的二個(gè)或多個(gè)直徑為30cm 40cm，高2. 5m 3m 的不銹鋼容器，并裝有1000重量份 1200重量份的4A分子篩。所述的乙硅烷液化裝置7為不銹鋼容器，直徑為12 15cm，高為50 80cm。所述的乙硅烷提純裝置8為串聯(lián)的二個(gè)或多個(gè)不銹鋼容器，直徑為10 15cm， 高為1.5 2.0m。并裝有100重量份的5A和13X兩種分子篩。5A分子篩約占總裝量的 90% 92%，13X約占總裝量的8% 10%。生產(chǎn)高純乙硅烷的方法是將25 30重量份的硅化鎂和75 85重量份氯化銨的混合料加入反應(yīng)釜3中，再加入300 350重量份液態(tài)氨，并充分?jǐn)嚢?，反?yīng)溫度為-20 -25°C，反應(yīng)壓力為0. 2 0. 25Mpa，得到三種氣態(tài)物質(zhì)，即9 9. 5重量份硅烷和 0. 1 0. 3重量份的乙硅烷以及10-11重量份的氨；硅烷、乙硅烷和氨從反應(yīng)釜3的出氣口通過冷凝器4的進(jìn)口進(jìn)入冷凝器，冷凝器的溫度為_75°C -80°C，壓力為0. 2 0. 25MPa, 經(jīng)過冷凝后99 % 99. 5 %的氣態(tài)氨變成液態(tài)氨，通過液態(tài)氨反應(yīng)釜3的第二進(jìn)料口回流到反應(yīng)釜；硅烷、乙硅烷和少量氣態(tài)氨進(jìn)入粗硅烷提純置5，少量氣態(tài)氨完全被4A分子篩吸附；硅烷、乙硅烷從粗硅烷提純置5出口進(jìn)入乙硅烷液化裝置7，乙硅烷由氣態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)，乙硅烷的液化溫度為-14. 5°C，乙硅烷液化裝置7中致冷劑的工作溫度為-90 -110°C，硅烷從乙硅烷液化裝置7的出口進(jìn)入硅烷深提純裝置6提純?yōu)楦呒児柰?；乙硅烷成為液態(tài)物質(zhì)留在乙硅烷液化裝置7中，從而達(dá)到硅烷與乙硅烷充分分離的目的；當(dāng)乙硅烷液化瓶收集到1重量份的乙硅烷時(shí)，關(guān)閉第二閥門10和第三閥門11，開啟第一閥門9，并讓乙硅烷液化裝置7與致冷劑分離，乙硅烷液化裝置7逐漸升溫，當(dāng)乙硅烷液化裝置7的壓力達(dá)到0. 1 0. 2MPa時(shí)打開第四閥門12，乙硅烷氣體從乙硅烷液化裝置7進(jìn)入乙硅烷提純裝置8提純， 從乙硅烷提純裝置8出口得到0. 1 0. 2重量份的高純乙硅烷，高純乙硅烷雜質(zhì)含量氧、 氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、水等各項(xiàng)提標(biāo)均低于IX 10_5，III-V族元素的氫化物各項(xiàng)提標(biāo)均低于1Χ10Λ實(shí)施例1關(guān)閉9號(hào)和12號(hào)閥門，開啟10號(hào)和11號(hào)閥門。將25千克硅化鎂和75千克氯化銨的混合料慢慢加入硅烷反應(yīng)釜，并在反應(yīng)釜中逐漸加入350千克的液氨，啟動(dòng)攪拌器進(jìn)行充分?jǐn)嚢?。反?yīng)溫度為-20°C，反應(yīng)釜的工作壓力為0.2MPa。反應(yīng)釜產(chǎn)生的氣態(tài)物質(zhì)硅烷、乙硅烷和氨，從反應(yīng)釜的出口進(jìn)行冷凝器。冷凝器的溫度為_78°C。氣態(tài)氨變?yōu)橐簯B(tài)氨返回反應(yīng)釜。硅烷、乙硅烷經(jīng)硅烷粗硅烷提純裝置提純后進(jìn)入乙硅烷液化裝置，乙硅烷在-90 -110°C低溫下，變成液態(tài)留在液化瓶中。硅烷仍是氣態(tài)，氣態(tài)硅烷由乙硅烷液化瓶的出口進(jìn)入硅烷深提純裝置。整個(gè)系統(tǒng)運(yùn)行2小時(shí)后，關(guān)閉10號(hào)、11號(hào)閥門，開啟9號(hào)閥門，使乙硅烷液化瓶與致冷器分離，讓乙硅烷液化瓶溫度逐漸回升，壓力達(dá)到0. IMPa 0. 2MPa后開啟12號(hào)閥，乙硅烷經(jīng)深提純裝置后在其出口處我們收集得到高純乙硅烷為0. 1千克。實(shí)施例2關(guān)閉9號(hào)和12號(hào)閥門，開啟10號(hào)和11號(hào)閥門。將50千克硅化鎂和150千克氯化銨的混合料慢慢加入硅烷反應(yīng)釜，并在反應(yīng)釜中逐漸加入700千克的液氨，啟動(dòng)攪拌器進(jìn)行充分?jǐn)嚢?。反?yīng)溫度為-20°C，反應(yīng)釜的工作壓力為0.2MPa。反應(yīng)釜產(chǎn)生的氣態(tài)物質(zhì)硅烷、乙硅烷和氨，從反應(yīng)釜的出口進(jìn)行冷凝器。冷凝器的溫度為_78°C。氣態(tài)氨變?yōu)橐簯B(tài)氨返回反應(yīng)釜。硅烷、乙硅烷經(jīng)硅烷粗硅烷提純裝置提純后進(jìn)入乙硅烷液化裝置，乙硅烷在-90 -110°C低溫下，變成液態(tài)留在液化瓶中。硅烷仍是氣態(tài)，氣態(tài)硅烷由乙硅烷液化瓶的出口進(jìn)入硅烷深提純裝置。整個(gè)系統(tǒng)運(yùn)行4小時(shí)后，關(guān)閉10號(hào)、11號(hào)閥門，開啟9號(hào)閥門，使乙硅烷液化瓶與致冷器分離，讓乙硅烷液化瓶溫度逐漸回升，壓力達(dá)到0. IMPa 0. 2MPa后開啟12號(hào)閥，乙硅烷經(jīng)深提純裝置后在其出口處我們收集得到高純乙硅烷為0. 2千克。實(shí)施例3關(guān)閉9號(hào)和12號(hào)閥門，開啟10號(hào)和11號(hào)閥門。將250千克硅化鎂和750千克氯化銨的混合料慢慢加入硅烷反應(yīng)釜，并在反應(yīng)釜中逐漸加入3500千克的液氨，啟動(dòng)攪拌器進(jìn)行充分?jǐn)嚢琛７磻?yīng)溫度為-20°C，反應(yīng)釜的工作壓力為0.2MPa。反應(yīng)釜產(chǎn)生的氣態(tài)物質(zhì)硅烷、乙硅烷和氨，從反應(yīng)釜的出口進(jìn)行冷凝器。冷凝器的溫度為_78°C。氣態(tài)氨變?yōu)橐簯B(tài)氨返回反應(yīng)釜。硅烷、乙硅烷經(jīng)硅烷粗硅烷提純裝置提純后進(jìn)入乙硅烷液化裝置，乙硅烷在-90 -110°C低溫下，變成液態(tài)留在液化瓶中。硅烷仍是氣態(tài)，氣態(tài)硅烷由乙硅烷液化瓶的出口進(jìn)入硅烷深提純裝置。 整個(gè)系統(tǒng)運(yùn)行20小時(shí)后，關(guān)閉10號(hào)、11號(hào)閥門，開啟9號(hào)閥門，使乙硅烷液化瓶與致冷器分離，讓乙硅烷液化瓶溫度逐漸回升，壓力達(dá)到0. IMPa 0. 2MPa后開啟12號(hào)閥，乙硅烷經(jīng)深提純裝置后在其出口處我們收集得到高純乙硅烷為1千克。
權(quán)利要求
1.一種生產(chǎn)高純乙硅烷的系統(tǒng)，其特征在于包括硅化鎂和氯化銨加料裝置(1)、液氨儲(chǔ)槽(2)、反應(yīng)釜(3)、冷凝器(4)、粗硅烷提純裝置(5)、硅烷深提純裝置(6)、乙硅烷液化裝置(7)、乙硅烷提純裝置(8)、第一閥門(9)、第二閥門(10)、第三閥門(11)和第四閥門 (12)；硅化鎂和氯化銨加料裝置(1)與反應(yīng)釜(3)第1進(jìn)料口相連，液氨儲(chǔ)槽(2)與反應(yīng)釜 (3)第2進(jìn)料口相連，冷凝器(4)氨回流口與與反應(yīng)釜(3)第2進(jìn)料口相連，反應(yīng)釜(3)硅烷和乙硅烷出口與冷凝器⑷進(jìn)氣口相連，冷凝器⑷出氣口與粗硅烷提純裝置(5)進(jìn)口相連，粗硅烷提純裝置(5)出口分別與第一閥門(9)的一端和第二閥門(10)的一端相連， 第二閥門(10)的另一端與乙硅烷液化裝置(7)進(jìn)氣口相連，乙硅烷液化裝置(7)出氣口分別與第三閥門(11)的一端和第四閥門(12)的一端相連，第四閥門(12)的另一端與乙硅烷提純裝置(8)進(jìn)氣口相連，第一閥門(9)另一端和第三閥門(11)的另一端與硅烷深提純裝置(6)的進(jìn)氣口相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生產(chǎn)高純乙硅烷的系統(tǒng)，其特征在于所述的粗硅烷提純裝置(5)為串聯(lián)的二個(gè)或多個(gè)直徑為30cm 40cm，高2. 5m 3m的不銹鋼容器，并裝有 1000重量份 1200重量份的4A分子篩。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生產(chǎn)高純乙硅烷的系統(tǒng)，其特征在于所述的乙硅烷液化裝置(7)為不銹鋼容器，直徑為12 15cm，高為50 80cm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生產(chǎn)高純乙硅烷的系統(tǒng)，其特征在于所述的乙硅烷提純裝置(8)為串聯(lián)的二個(gè)或多個(gè)不銹鋼容器，直徑為10 15cm，高為1.5 2.0 m，并裝有 100重量份的5A和13X兩種分子篩，5A分子篩約占總裝量的90% 92%，13X約占總裝量的 8% 10%。
5.一種使用如權(quán)利要求1所述系統(tǒng)的生產(chǎn)高純乙硅烷的方法，其特征在于將25 30 重量份的硅化鎂和75 85重量份氯化銨的混合料加入反應(yīng)釜(3)中，再加入300 350 重量份液態(tài)氨，并充分?jǐn)嚢瑁磻?yīng)溫度為-20 _25°C，反應(yīng)壓力為0. 2 0. 25Mpa，得到三種氣態(tài)物質(zhì)，即9 9. 5重量份硅烷和0. 1 0. 3重量份的乙硅烷以及10-11重量份的氨； 硅烷、乙硅烷和氨從反應(yīng)釜(3)的出氣口通過冷凝器⑷的進(jìn)口進(jìn)入冷凝器，冷凝器的溫度為-75°C _80°C，壓力為0. 2 0. 25MPa，經(jīng)過冷凝后99% 99. 5%的氣態(tài)氨變成液態(tài)氨， 液態(tài)氨通過反應(yīng)釜(3)的第二進(jìn)料口回流到反應(yīng)釜；硅烷、乙硅烷和少量氣態(tài)氨進(jìn)入粗硅烷提純置(5)，少量氣態(tài)氨完全被4A分子篩吸附；硅烷、乙硅烷從粗硅烷提純置(5)出口進(jìn)入乙硅烷液化裝置(7)，乙硅烷由氣態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)，乙硅烷的液化溫度為-14. 5°C，乙硅烷液化裝置(7)中致冷劑的工作溫度為-90 -110°C，硅烷從乙硅烷液化裝置(7)的出口進(jìn)入硅烷深提純裝置(6)提純?yōu)楦呒児柰?；乙硅烷成為液態(tài)物質(zhì)留在乙硅烷液化裝置(7)中，從而達(dá)到硅烷與乙硅烷充分分離的目的；當(dāng)乙硅烷液化瓶收集到1重量份的乙硅烷時(shí)，關(guān)閉第二閥門(10)和第三閥門(11)，開啟第一閥門(9)，并讓乙硅烷液化裝置(7)與致冷劑分離，乙硅烷液化裝置(7)逐漸升溫，當(dāng)乙硅烷液化裝置(7)的壓力達(dá)到0. 1 0. 2MPa時(shí)打開第四閥門(12)，乙硅烷氣體從乙硅烷液化裝置(7)進(jìn)入乙硅烷提純裝置(8)提純，從乙硅烷提純裝置(8)出口得到0.1 0.2重量份的高純乙硅烷，高純乙硅烷雜質(zhì)含量氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、水等各項(xiàng)提標(biāo)均低于IX 10_5，III-V族元素的氫化物各項(xiàng)提標(biāo)均低于1Χ10Λ
全文摘要
本發(fā)明公開生產(chǎn)高純乙硅烷的系統(tǒng)和方法。硅化鎂和氯化銨加料裝置與反應(yīng)釜第1進(jìn)料口相連，液氨儲(chǔ)槽與反應(yīng)釜第2進(jìn)料口相連，冷凝器氨回流口與反應(yīng)釜第2進(jìn)料口相連，反應(yīng)釜硅烷和乙硅烷出口與冷凝器進(jìn)氣口相連，冷凝器出氣口與粗硅烷提純裝置進(jìn)口相連，粗硅烷提純裝置出口分別與第一閥門的一端和第二閥門的一端相連，第二閥門另一端與乙硅烷液化裝置進(jìn)口相連，乙硅烷液化裝置出口分別與第三閥門的一端和第四閥門一端相連，第四閥門另一端與乙硅烷提純裝置進(jìn)口相連，第一閥門另一端和第三閥門另一端與硅烷提純裝置的進(jìn)口相連。無需投入新的生產(chǎn)原料，增加大型生產(chǎn)設(shè)備，在硅烷生產(chǎn)線上增加乙硅烷的液化和提純裝置就能夠形成高純乙硅烷的生產(chǎn)能力。
文檔編號(hào)C01B33/04GK102502653SQ20111041863
公開日2012年6月20日 申請(qǐng)日期2011年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月14日
發(fā)明者余京松, 朱魯明, 楊智敏, 沃銀花, 程戰(zhàn)鋒 申請(qǐng)人:浙江賽林硅業(yè)有限公司