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循環(huán)噴淋式多晶硅尾氣噴淋塔的制作方法

文檔序號:3444365閱讀:225來源:國知局
專利名稱:循環(huán)噴淋式多晶硅尾氣噴淋塔的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于化工行業(yè)的多晶硅生產(chǎn)過程中配套設(shè)備,具體涉及一種多晶硅生產(chǎn)干法尾氣回收四氯化硅的循環(huán)噴淋式多晶硅尾氣噴淋塔。
背景技術(shù)
在多晶硅生產(chǎn)過程中,還原爐排出的尾氣,含有較高的四氯化硅,而四氯化硅是合成有機(jī)硅的主要原料,如果將多晶硅生產(chǎn)干法的尾氣直接排掉,則是一種浪費(fèi),因此在化工行業(yè)中采用了尾氣回收四氯化硅的方法,即鼓泡淋洗法,但這種方法往往使得噴淋液利用率低,也就是噴淋液未完全吸收四氯化硅的情況下就被排出噴淋塔,使得噴淋液消耗過多, 四氯化硅回收率低,進(jìn)而成本增大。

實(shí)用新型內(nèi)容鑒于上述不足之處,本發(fā)明的目的在于提供一種循環(huán)噴淋式多晶硅尾氣噴淋塔, 使其最大限度的利用噴淋液來回收四氯化硅。為了達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用了以下技術(shù)方案一種循環(huán)噴淋式多晶硅尾氣噴淋塔,包括塔體,所述塔體頂部一側(cè)設(shè)置有廢氣排氣口,塔體底部設(shè)置有出液管,一噴淋管穿過塔體頂部置于噴淋腔內(nèi),其中,所述出液管和噴淋管間通過一液泵連通。上述塔體底部還設(shè)有排液口。上述出液管上還設(shè)有噴淋液進(jìn)液口。本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型采用液泵使含有四氯化硅的噴淋液在塔體內(nèi)進(jìn)行強(qiáng)制循環(huán)吸收,促進(jìn)氣液優(yōu)質(zhì)充分交換,使得在消耗噴淋液同等條件下,吸收效率卻提高了 50%以上。

圖1本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1.塔體;2.廢氣排氣口 ;3.出液管;4.噴淋管;5.噴淋腔;6.液泵;7.排液口 ;8.噴淋液進(jìn)液口。
具體實(shí)施方式
下面我們將結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明。如圖1所示,一種循環(huán)噴淋式多晶硅尾氣噴淋塔,包括塔體1,塔體1頂部一側(cè)設(shè)置有廢氣排氣口 2,塔體1底部設(shè)置有出液管3,一噴淋管4穿過塔體1頂部置于噴淋腔5內(nèi), 出液管3和噴淋管4間通過一液泵6連通,液泵6通過出液管3抽吸含有四氯化硅的噴淋液,再經(jīng)噴淋管4噴進(jìn)噴淋腔5繼續(xù)吸收四氯化硅,使含有四氯化硅的噴淋液在塔體1內(nèi)進(jìn)行強(qiáng)制循環(huán)吸收促進(jìn)氣液優(yōu)質(zhì)充分交換;當(dāng)噴淋液吸收四氯化硅達(dá)飽和后,可從設(shè)置于塔體1底部的排液口 7排出另作他用,在噴淋液不足的情況下,可從出液管3上設(shè)置的噴淋液進(jìn)液口 8添加噴淋液。
權(quán)利要求1.一種循環(huán)噴淋式多晶硅尾氣噴淋塔,包括塔體(1 ),所述塔體(1)頂部一側(cè)設(shè)置有廢氣排氣口(2),塔體(1)底部設(shè)置有出液管(3),一噴淋管(4)穿過塔體(1)頂部置于噴淋腔 (5)內(nèi),其特征在于所述出液管(3)和噴淋管(4)間通過一液泵(6)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的循環(huán)噴淋式多晶硅尾氣噴淋塔,其特征在于所述塔體(1)底部還設(shè)有排液口(7)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的循環(huán)噴淋式多晶硅尾氣噴淋塔,其特征在于所述出液管(3) 上還設(shè)有噴淋液進(jìn)液口(8)。
專利摘要一種循環(huán)噴淋式多晶硅尾氣噴淋塔,包括塔體,所述塔體頂部一側(cè)設(shè)置有廢氣排氣口,塔體底部設(shè)置有出液管,一噴淋管穿過塔體頂部置于噴淋腔內(nèi),其特征在于所述出液管和噴淋管間通過一液泵連通。本實(shí)用新型采用液泵使含有四氯化硅的噴淋液在塔體內(nèi)進(jìn)行強(qiáng)制循環(huán)吸收,促進(jìn)氣液優(yōu)質(zhì)充分交換,使得在消耗噴淋液同等條件下,吸收效率卻提高了50%以上。
文檔編號C01B33/107GK202199247SQ201120330420
公開日2012年4月25日 申請日期2011年9月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月5日
發(fā)明者羅明樹, 趙振元 申請人:信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司
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