專(zhuān)利名稱(chēng)：多晶硅行業(yè)閃蒸罐熱能利用裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種余熱回收、節(jié)能的一種裝置。
背景技術(shù)：
目前普遍采用的不銹鋼鐘罩式還原爐在生產(chǎn)多晶硅時(shí)產(chǎn)生的余熱直接排放，不僅浪費(fèi)熱能，而且污染大氣。能否通過(guò)脫鹽水閃蒸蒸汽，形成熱能的綜合利用，從而降低整個(gè)多晶硅生產(chǎn)裝置的綜合能耗，降低多晶硅的生產(chǎn)成本是必需要解決的問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是根據(jù)實(shí)際需要提供一種多晶硅行業(yè)閃蒸罐熱能利用裝置。本實(shí)用新型由閃蒸罐、熱水循環(huán)泵、氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥、還原爐組成。閃蒸罐底部、熱水循環(huán)泵、氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥、還原爐底部依次連接，閃蒸罐頂部與還原爐頂部相連接。本實(shí)用新型的有益效果是多晶硅還原爐爐體冷卻采用水冷形式；低溫水進(jìn)夾套，高溫水出夾套，通過(guò)閃蒸0. 3MpaG的飽和蒸汽，使水溫降低，再進(jìn)入還原爐夾套，達(dá)到熱能的最大限度利用；而且方便清潔，不會(huì)對(duì)還原生產(chǎn)車(chē)間潔凈區(qū)造成影響；副產(chǎn)蒸汽分別供給三氯氫硅精餾提純裝置，用于粗餾塔、精餾塔、回收料塔等的再沸器的加熱介質(zhì)；采用水冷卻，水的流動(dòng)性好，夾套和內(nèi)壁間的傳熱系數(shù)大，熱量容易導(dǎo)出。爐內(nèi)壁溫度不會(huì)過(guò)高， 副產(chǎn)物氯化氫腐蝕較小。

附圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，1、閃蒸罐，2、熱水循環(huán)泵，3、氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥，4還原爐。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的裝置由閃蒸罐、熱水循環(huán)泵、氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥、還原爐組成。閃蒸罐底部、熱水循環(huán)泵、氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥、還原爐底部依次連接，閃蒸罐頂部與還原爐頂部相連接。還原爐正常工作時(shí)，在多晶硅沉積過(guò)程中，為了保持還原爐內(nèi)壁的溫度，需要向還原爐夾套內(nèi)通脫鹽水，移走熱量。多晶硅生長(zhǎng)期間，通過(guò)變頻器控制熱水循環(huán)泵進(jìn)還原爐夾套冷卻水的壓力，通過(guò)熱水氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥控制出水溫度，熱脫鹽水返回閃蒸罐，閃蒸 0. 3MPaG左右的飽和蒸汽。此部分飽和蒸汽去多晶硅裝置的其他單元作為加熱源。同時(shí)，利用后的冷凝液又返回閃蒸罐，補(bǔ)充脫鹽水的損失。
權(quán)利要求1. 一種多晶硅行業(yè)閃蒸罐熱能利用裝置，其特征在于所述裝置由閃蒸罐、熱水循環(huán)泵、氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥、還原爐組成；閃蒸罐底部、熱水循環(huán)泵、氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥、還原爐底部依次連接， 閃蒸罐頂部與還原爐頂部相連接。
專(zhuān)利摘要一種多晶硅行業(yè)閃蒸罐熱能利用裝置，由閃蒸罐、熱水循環(huán)泵、氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥、還原爐組成。閃蒸罐底部、熱水循環(huán)泵、氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥、還原爐底部依次連接，閃蒸罐頂部與還原爐頂部相連接。該裝置能使廢熱綜合利用。
文檔編號(hào)C01B33/035GK202246094SQ20112036807
公開(kāi)日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月30日
發(fā)明者陶剛義 申請(qǐng)人:江西晶大半導(dǎo)體材料有限公司