專利名稱：一種改進(jìn)的三氯氫硅合成爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種在三氯氫硅生產(chǎn)中普遍使用的合成爐，屬于化工生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
隨著多晶硅生產(chǎn)的快速發(fā)展，作為生產(chǎn)多晶硅主要原料的三氯氫硅產(chǎn)品的需求量也得到了極大的增加。在增加三氯氫硅產(chǎn)量的過程中，提高產(chǎn)品質(zhì)量、降低成本消耗、擴(kuò)大生產(chǎn)能力成為各個(gè)生產(chǎn)廠家競相追逐的目標(biāo)。在三氯氫硅生產(chǎn)實(shí)踐中人們發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有的合成爐風(fēng)帽在合成爐正常反應(yīng)過程中，氯化氫氣體從氣孔進(jìn)入風(fēng)帽內(nèi)部，經(jīng)導(dǎo)流孔進(jìn)入硅粉層。當(dāng)出現(xiàn)因停電等因素造成生產(chǎn)異常時(shí)，會造成氯化氫突然停止供應(yīng)，導(dǎo)致風(fēng)帽上堆積的硅粉通過導(dǎo)流孔極易流入合成爐底部造成底部充滿硅粉。當(dāng)合成爐底部再次進(jìn)入氯化氫氣體時(shí)，由于爐底積聚著從風(fēng)帽導(dǎo)流孔流下的硅粉，增加了進(jìn)氣阻力，嚴(yán)重時(shí)堵滿整個(gè)合成爐底部，造成合成爐無法正常工作，只有停車檢修。同時(shí)，風(fēng)帽其材質(zhì)為16MnR，在氯化氫與硅粉反應(yīng)時(shí)會放出反應(yīng)熱，正常反應(yīng)溫度300---320°C，經(jīng)常在較高的溫度環(huán)境中使用很容易造成風(fēng)帽燒壞，需要10—14天左右停爐清理，并更換風(fēng)帽。頻繁地清理合成爐下封頭和更換風(fēng)帽不僅造成產(chǎn)量下降，影響了三氯氫硅的產(chǎn)能，同時(shí)也增加了生產(chǎn)成本。為了避免設(shè)備的損壞、減少檢修頻率、保證生產(chǎn)的順利進(jìn)行，有必要對三氯氫硅合成爐風(fēng)帽進(jìn)行改造。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠避免合成爐下封頭堵塞及經(jīng)常性燒損、減少檢修頻率、降低生產(chǎn)成本、保證企業(yè)連續(xù)生產(chǎn)的改進(jìn)的三氯氫硅合成爐。解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案是一種改進(jìn)的三氯氫硅合成爐，它由爐體、篩板、風(fēng)帽組成，篩板固定在爐體中下部， 篩板上均勻安裝有多個(gè)風(fēng)帽，其改進(jìn)之處是，風(fēng)帽的腔體內(nèi)增加了導(dǎo)流筒，導(dǎo)流筒為兩端開口的圓筒，導(dǎo)流筒的下端開口與風(fēng)帽的進(jìn)氣孔相對應(yīng)，導(dǎo)流筒的上端開口高于風(fēng)帽的出氣孔，導(dǎo)流筒的外周與風(fēng)帽的內(nèi)壁之間有間隙。采用這種改進(jìn)的三氯氫硅合成爐，氣態(tài)的氯化氫從篩板進(jìn)入風(fēng)帽后，需要通過導(dǎo)流筒的上沿向下從風(fēng)帽的出氣孔排出，當(dāng)氯化氫突然停止供應(yīng)時(shí)，由于導(dǎo)流筒壁高于風(fēng)帽的排氣孔，風(fēng)帽上堆積的硅粉不能通過排氣孔流入爐體底部，避免了爐體底部堆積硅粉造成的堵塞，同時(shí)導(dǎo)流筒還減少了硅粉和氯化氫在風(fēng)帽內(nèi)的接觸，降低了因硅粉和氯化氫反應(yīng)在風(fēng)帽內(nèi)產(chǎn)生的高溫，減少了風(fēng)帽的損壞，從而減少了檢修頻率，降低了生產(chǎn)成本，保證生產(chǎn)的順利進(jìn)行。

圖1是本實(shí)用新型的風(fēng)帽的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖。[0009]圖中標(biāo)記如下爐體1、篩板2、風(fēng)帽3、導(dǎo)流筒4、進(jìn)氣孔5、出氣孔6。
具體實(shí)施方式
圖中顯示，本實(shí)用新型由爐體1、篩板2、風(fēng)帽3組成，爐體1為圓筒形，爐體1的中下部嵌入篩板2，篩板上均勻分布多個(gè)風(fēng)帽3。風(fēng)帽3的腔體內(nèi)增加了導(dǎo)流筒4，導(dǎo)流筒4為兩端開口的圓筒，導(dǎo)流筒4的下端開口與風(fēng)帽3的進(jìn)氣孔5相對應(yīng)，氯化氫氣體由進(jìn)氣孔5進(jìn)入導(dǎo)流筒4，從導(dǎo)流筒4的上端流出，進(jìn)入風(fēng)帽3的腔體內(nèi)，再由風(fēng)帽3下部的出氣孔6排出。當(dāng)氯化氫突然停止供應(yīng)時(shí)，由于導(dǎo)流筒4筒壁高于風(fēng)帽3的排氣孔6，風(fēng)帽3上堆積的硅粉不能通過排氣孔6流入爐體1的底部，避免了爐體1底部堆積硅粉造成的堵塞，同時(shí)導(dǎo)流筒4還減少了硅粉和氯化氫在風(fēng)帽3內(nèi)的接觸，降低了因硅粉和氯化氫反應(yīng)在風(fēng)帽 3內(nèi)產(chǎn)生的高溫，減少了風(fēng)帽3的損壞，從而減少了檢修頻率，降低了生產(chǎn)成本，保證生產(chǎn)的順利進(jìn)行。
權(quán)利要求1. 一種改進(jìn)的三氯氫硅合成爐，它由爐體(1)、篩板(2)、風(fēng)帽(3)組成，篩板(2)固定在爐體(1) 1的中下部，篩板(2)上均勻安裝有多個(gè)風(fēng)帽(3)，其特征在于風(fēng)帽(3)的腔體內(nèi)增加了導(dǎo)流筒(4)，導(dǎo)流筒(4)為兩端開口的圓筒，導(dǎo)流筒(4)的下端開口與風(fēng)帽(3)的進(jìn)氣孔(5)相對應(yīng)，導(dǎo)流筒(4)的上端開口高于風(fēng)帽(3)的出氣孔(6)，導(dǎo)流筒(4)的外周與風(fēng)帽 (3)的內(nèi)壁之間有間隙。
專利摘要一種改進(jìn)的三氯氫硅合成爐，屬于化工生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，所要解決的技術(shù)問題是避免合成爐下封頭堵塞及經(jīng)常性燒損，其技術(shù)方案是它由爐體、篩板、風(fēng)帽組成，風(fēng)帽的腔體內(nèi)增加了導(dǎo)流筒，導(dǎo)流筒為兩端開口的圓筒，導(dǎo)流筒的下端開口與風(fēng)帽的進(jìn)氣孔相對應(yīng)，導(dǎo)流筒的上端開口高于風(fēng)帽的出氣孔，導(dǎo)流筒的外周與風(fēng)帽的內(nèi)壁之間有間隙。本實(shí)用新型使用時(shí)，由于導(dǎo)流筒壁高于風(fēng)帽的排氣孔，風(fēng)帽上堆積的硅粉不能通過排氣孔流入爐體底部，避免了爐體底部堆積硅粉造成的堵塞，同時(shí)導(dǎo)流筒還減少了硅粉和氯化氫在風(fēng)帽內(nèi)的接觸，降低了因硅粉和氯化氫反應(yīng)在風(fēng)帽內(nèi)產(chǎn)生的高溫，減少了風(fēng)帽的損壞，從而減少了檢修頻率，降低了生產(chǎn)成本，保證生產(chǎn)的順利進(jìn)行。
文檔編號C01B33/107GK202297153SQ20112039143
公開日2012年7月4日 申請日期2011年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月14日
發(fā)明者孫亮 申請人:唐山三孚硅業(yè)股份有限公司