專利名稱：一種用于碳化硅加工的除塵裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種除塵裝置，特別涉及一種用于碳化硅加工的除塵裝置，屬于碳化硅加工設(shè)備的 技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
碳化硅是制作太陽(yáng)能硅片、半導(dǎo)體硅片等產(chǎn)品的重要材料。為了對(duì)碳化硅進(jìn)行循環(huán)利用，要對(duì)碳化硅進(jìn)行加工。碳化硅在進(jìn)行烘干加工時(shí)，排出的廢氣中水分含量較高且含有少量粉塵?，F(xiàn)有技術(shù)中使用的除塵設(shè)備是脈沖布袋除塵器，該除塵裝置存在以下缺點(diǎn)由于廢氣中的水分含量很高，容易浸濕除塵布袋，將布袋的的過(guò)濾孔堵塞，同時(shí)浸濕的布袋容易粘附碳化硅，且粘附了碳化硅后不會(huì)脫落，加劇布袋堵塞。最終導(dǎo)致除塵器失效，設(shè)備無(wú)法運(yùn)行。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種用于碳化硅加工的除塵裝置，該除塵裝置除塵效果好且不容易堵塞。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型一種用于碳化硅加工的除塵裝置，包括儲(chǔ)水箱、噴淋管線，噴淋管線與儲(chǔ)水箱相連，所述噴淋管線內(nèi)設(shè)有噴淋區(qū)、進(jìn)氣口及排氣口，所述進(jìn)氣口與所述排氣口位于所述噴淋區(qū)兩端。上述的用于碳化硅加工的除塵裝置，其中，所述噴淋管線上連有一水管，所述水管通過(guò)循環(huán)水泵與所述儲(chǔ)水箱相連。本實(shí)用新型的有益效果I、由于本實(shí)用新型包括儲(chǔ)水箱、噴淋管線，噴淋管線與儲(chǔ)水箱相連，噴淋管線內(nèi)設(shè)有噴淋區(qū)、進(jìn)氣口及排氣口，所述進(jìn)氣口與所述排氣口位于所述噴淋區(qū)兩端，通過(guò)水噴淋的方式除塵，可以避免堵塞布袋，保持設(shè)備正常運(yùn)行，避免碳化硅外逸，使排放的廢氣含塵量達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)，避免環(huán)境污染，且將含碳化硅的粉塵進(jìn)行回收利用，節(jié)約了生產(chǎn)成本。2、由于噴淋管線上連有一水管，所述水管通過(guò)循環(huán)水泵與所述儲(chǔ)水箱相連，將吸收粉塵后的水回流至儲(chǔ)水箱再循環(huán)進(jìn)行噴淋，從而，大大節(jié)約了水資源。

圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。如圖所示，為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型一種用于碳化硅加工的除塵裝置，包括儲(chǔ)水箱4、噴淋管線3,噴淋管線3與儲(chǔ)水箱4相連,所述噴淋管線3內(nèi)設(shè)有噴淋區(qū)9、進(jìn)氣口 7及排氣口 8，所述進(jìn)氣口 7與所述排氣口 8位于所述噴淋區(qū)9兩端，進(jìn)氣口與排氣口的位置不受限制，可以將進(jìn)氣口設(shè)置在噴淋管線底部，排氣口設(shè)置在噴淋管線頂部；也可將進(jìn)氣口設(shè)置在噴淋管線頂部，排氣口設(shè)置在噴淋管線底部，只要使氣體從進(jìn)氣口 7流向排氣口 8的進(jìn)程中，經(jīng)過(guò)噴淋區(qū)9即可，噴淋區(qū)9為在噴淋管線內(nèi)設(shè)有噴嘴2而形成的，噴嘴2設(shè)置在噴淋管線3內(nèi)，通過(guò)進(jìn)水管與儲(chǔ)水箱4相連，進(jìn)水管上接有水泵，使用時(shí)，通過(guò)水泵將水抽入進(jìn)水管，再由噴嘴2噴出，噴嘴2的數(shù)量不受限制，可為一個(gè)、兩個(gè)或多個(gè)，根據(jù)具體要求進(jìn)行設(shè)置。使用時(shí)，進(jìn)氣口與烘干機(jī)相連。為了排氣可徹底，可在排氣口安裝排氣風(fēng)機(jī)I。通過(guò)水噴淋的方式除塵，可以避免堵塞布袋，保持設(shè)備正常運(yùn)行，避免碳化硅外逸，使排放的廢氣含塵量達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)，避免環(huán)境污染，且將含碳化硅的粉塵進(jìn)行回收利用，節(jié)約了生產(chǎn)成本。為了節(jié)約水資源，可在噴淋管線3上連有一水管30，所述水管30通過(guò)循環(huán)水泵6與所述儲(chǔ)水箱4相連，將吸收粉塵后的水回流至儲(chǔ)水箱再循環(huán)進(jìn)行噴淋，從而，大大節(jié)約了水資源。為了使用更加方便，可在儲(chǔ)水箱上設(shè)有補(bǔ)水口 40和排水管5，對(duì)儲(chǔ)水箱4內(nèi)含碳化 硅的水定時(shí)進(jìn)行更換，防止?jié)舛冗^(guò)高堵塞噴淋管線3和噴嘴2。工作原理廢氣從烘干機(jī)出來(lái)后，通過(guò)進(jìn)氣口進(jìn)入除塵裝置，廢氣從噴淋管線的進(jìn)氣口進(jìn)入，排氣口排出，儲(chǔ)水箱的水經(jīng)水泵打出，從噴淋管線頂部經(jīng)噴嘴進(jìn)入，吸收廢氣中的碳化硅粉塵，充氣從排氣口熱排放，吸收粉塵后的水回流至儲(chǔ)水罐再循環(huán)進(jìn)行噴淋。綜上所述，本實(shí)用新型可以不受廢氣中高水分和碳化硅粉塵的影響，連續(xù)不間斷運(yùn)行，減少了設(shè)備維護(hù)維修率和維修成本，提高生產(chǎn)效率。本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施例，凡是在本發(fā)明公開的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域的技術(shù)人員根據(jù)所公開的技術(shù)內(nèi)容，不需要?jiǎng)?chuàng)造性的勞動(dòng)就可以對(duì)其中的一些技術(shù)特征作出一些替換和變形，這些替換和變形均在本發(fā)明保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于碳化硅加工的除塵裝置，其特征在于，包括儲(chǔ)水箱、噴淋管線，噴淋管線與儲(chǔ)水箱相連，所述噴淋管線內(nèi)設(shè)有噴淋區(qū)、進(jìn)氣口及排氣口，所述進(jìn)氣口與所述排氣口位于所述噴淋區(qū)兩端。
2.如權(quán)利要求I所述的用于碳化硅加工的除塵裝置，其特征在于，所述噴淋管線上連有一水管，所述水管通過(guò)循環(huán)水泵與所述儲(chǔ)水箱相連。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種用于碳化硅加工的除塵裝置，包括儲(chǔ)水箱、噴淋管線，噴淋管線與儲(chǔ)水箱相連，所述噴淋管線內(nèi)設(shè)有噴淋區(qū)、進(jìn)氣口及排氣口，所述進(jìn)氣口與所述排氣口位于所述噴淋區(qū)兩端，由于本實(shí)用新型包括儲(chǔ)水箱、噴淋管線，噴淋管線與儲(chǔ)水箱相連，噴淋管線內(nèi)設(shè)有噴淋區(qū)、進(jìn)氣口及排氣口，所述進(jìn)氣口與所述排氣口位于所述噴淋區(qū)兩端，通過(guò)水噴淋的方式除塵，可以避免堵塞布袋，保持設(shè)備正常運(yùn)行，避免碳化硅外逸，使排放的廢氣含塵量達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)，避免環(huán)境污染，且將含碳化硅的粉塵進(jìn)行回收利用，節(jié)約了生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)C01B31/36GK202427298SQ20122002835
公開日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2012年1月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月27日
發(fā)明者李孝文, 楊志敏, 王允佳 申請(qǐng)人:揚(yáng)中佳明太陽(yáng)能新材料有限公司