專利名稱：還原爐底盤的雙層冷卻結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多晶硅還原爐，具體涉及一種多晶硅行業(yè)大型還原爐底盤的冷卻及其加強(qiáng)結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
改良西門子法生產(chǎn)多晶硅，其方法主要是利用氫氣還原三氯氫硅，從而生成多晶硅，這個(gè)氫還原設(shè)備就是我們所說的還原爐。目前國際多晶硅價(jià)格已滑落至20$/kg，各生產(chǎn)企業(yè)的成本壓力越來越大，為了降低還原電耗，所以目前還原爐也越來越大型化，36對棒還原爐已成為目前國內(nèi)市場的主流。目前多晶硅行業(yè)大型還原爐大多采用上下兩塊面板(如圖4)，由于底盤直徑較大，且冷卻腔深度較深，冷卻水經(jīng)過底盤冷卻腔時(shí)，往往上層的冷卻水與下層的冷卻水有較大 溫差，而且現(xiàn)有結(jié)構(gòu)只有一個(gè)冷卻腔，其腔內(nèi)的導(dǎo)流板無法兼顧加強(qiáng)作用，所以運(yùn)行過程中往往由于上下面板的溫差，造成底盤發(fā)生溫差變形。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種既能有效冷卻底盤且能加固底盤的新型冷卻結(jié)構(gòu)，保證設(shè)備的安全運(yùn)行的還原爐底盤雙層冷卻結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的一種還原爐底盤的雙層冷卻結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)包括底盤上面板、底盤中面板、底盤下面板、導(dǎo)流板、加強(qiáng)板、冷卻水進(jìn)水管、冷卻水出水管、假管和電極座，底盤中面板介于底盤上面板與底盤下面板之間，底盤中面板將底盤冷卻腔分為上、下兩個(gè)腔體，這樣能避免冷卻水溫度分層；假管將上、下兩個(gè)腔體和相連通，導(dǎo)流板呈螺旋狀設(shè)置于上腔體內(nèi)，螺旋導(dǎo)流保證底盤上面板的冷卻無死區(qū)；冷卻水進(jìn)水管接入上腔體，加強(qiáng)板設(shè)置于下腔體內(nèi)，加強(qiáng)板將所有的電極座拉撐在一起，增加底盤整體強(qiáng)度、剛度；冷卻水出水管由下腔體接出。另外底盤冷卻水先通過上腔體，升溫后的冷卻水再通入下腔體，此時(shí)升溫后的冷卻水將對底盤下面板加熱，這樣就能有效降低底盤上、下面板的溫差，改善溫差變形。本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型采用了雙層冷卻腔，在結(jié)構(gòu)上將導(dǎo)流與加強(qiáng)分開，減小了還原爐底盤上下面板的溫差，改善了其由溫差引起的變形。

圖I為本實(shí)用新型還原爐底盤的雙層冷卻結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型的上腔室俯視圖。圖3為本實(shí)用新型的下腔室俯視圖。圖4為以往還原爐底盤的冷卻結(jié)構(gòu)示意圖。圖中附圖標(biāo)記[0014]底盤上面板I、底盤中面板2、底盤下面板3、導(dǎo)流板4、加強(qiáng)板5、冷卻水進(jìn)水管6、冷卻水出水管7、假管8、電極座9、上腔體10、下腔體11。
具體實(shí)施方式
參見圖1，圖I為本實(shí)用新型還原爐底盤的雙層冷卻結(jié)構(gòu)示意圖。從圖I可以看出，本實(shí)用新型還原爐底盤的雙層冷卻結(jié)構(gòu)，包括底盤上面板I、底盤中面板2、底盤下面板
3、導(dǎo)流板4、加強(qiáng)板5、冷卻水進(jìn)水管6、冷卻水出水管7、假管8和電極座9，底盤中面板2介于底盤上面板I與底盤下面板3之間，底盤中面板2將底盤冷卻腔分為上、下兩個(gè)腔體10和11，假管8將上、下兩個(gè)腔體10和11相連通，導(dǎo)流板4呈螺旋狀設(shè)置于上腔體10內(nèi)，如圖2，冷卻水進(jìn)水管6接入上腔體10，加強(qiáng)板5設(shè)置于下腔體11內(nèi)，加強(qiáng)板5將所有的電極座9拉撐在一起，呈井字形布置，如圖3，提高底盤的強(qiáng)度、剛度，冷卻水出水管7由下腔體11接出。底盤冷卻水通過冷卻水進(jìn)水管6進(jìn)入上腔體，然后順著導(dǎo)流板4螺旋導(dǎo)流，有效冷卻底盤上面板I，然后順著假管8進(jìn)入底盤冷卻腔的下腔體，下腔體的冷卻水對底盤下面板 3加熱后就順著冷卻水出水管7流出了還原爐冷卻腔。
權(quán)利要求1.一種還原爐底盤的雙層冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于所述結(jié)構(gòu)包括底盤上面板(I)、底盤中面板(2)、底盤下面板(3)、導(dǎo)流板(4)、加強(qiáng)板(5)、冷卻水進(jìn)水管(6)、冷卻水出水管(7)、假管(8)和電極座(9)，底盤中面板(2)介于底盤上面板(I)與底盤下面板(3)之間，底盤中面板(2)將底盤冷卻腔分為上、下兩個(gè)腔體(10、11)，假管(8)將上、下兩個(gè)腔體(10、11)相連通，導(dǎo)流板(4)呈螺旋狀設(shè)置于上腔體(10)內(nèi)，冷卻水進(jìn)水管(6)接入上腔體(10)，加強(qiáng)板(5 )設(shè)置于下腔體(11)內(nèi)，加強(qiáng)板(5 )將所有的電極座(9 )拉撐在一起，冷卻水出水管(7)由下腔體(11)接出。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種還原爐底盤的雙層冷卻結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)包括底盤上面板(1)、底盤中面板(2)、底盤下面板(3)、導(dǎo)流板(4)、加強(qiáng)板(5)、冷卻水進(jìn)水管(6)、冷卻水出水管(7)、假管(8)和電極座(9)，底盤中面板(2)將底盤冷卻腔分為上、下兩個(gè)腔體(10、11)，導(dǎo)流板(4)呈螺旋狀設(shè)置于上腔體(10)內(nèi)，冷卻水進(jìn)水管(6)接入上腔體(10)，加強(qiáng)板(5)設(shè)置于下腔體(11)內(nèi)，加強(qiáng)板(5)將所有的電極座(9)拉撐在一起，冷卻水出水管(7)由下腔體(11)接出。本實(shí)用新型采用了雙層冷卻結(jié)構(gòu)，將導(dǎo)流與加強(qiáng)分設(shè)于兩個(gè)腔體，并且利用上腔體升溫后的冷卻水加熱底盤下面板，從而減小上下面板溫差，改善底盤溫差變形。
文檔編號(hào)C01B33/035GK202625864SQ20122027240
公開日2012年12月26日 申請日期2012年6月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月11日
發(fā)明者趙建, 盛斌, 董黎明, 王中華, 徐辰盛 申請人:江蘇雙良新能源裝備有限公司