專利名稱：電子級磷酸的生產裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用黃磷直接制取磷酸的裝置。
背景技術：
電子級磷酸廣泛用于大規(guī)模集成電路、薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)等微電子工業(yè)，還可用于制備高純磷酸鹽，也是高純有機磷產品的主要原料，主要用于芯片的清洗和蝕刻，其純度和潔凈度對電子元器件的成品率、電性能及可靠性有很大影響。由于電子級磷酸中要求金屬含量極少，而磷酸的分離難度較大，通常以高純黃磷、三氯氧磷為原料或初步提純的工業(yè)級磷酸來制備電子級磷酸。目前已知的電子級磷酸的制備方法有高純磷法、三氯氧磷法以及工業(yè)提純法。高純磷法是將工業(yè)黃磷或紅磷提純制成高純磷，然后與凈化后的空氣或氧反應生成五氧化二磷，再用超純水吸收生成高純磷酸；三氯氧磷法是將工業(yè)黃磷制成液態(tài)三氯氧磷，再將三氯氧磷精餾提純，精制后的三氯氧磷與超純水反應生成磷酸和氯化氫，蒸餾除去氯化氫可制得高純磷酸，將磷酸調節(jié)到所需濃度后，再用微孔濾膜過濾除去微細固體塵埃，即可得到電子級磷酸。上述兩種生產方法所用的設備結構復雜，能耗高，故生產成本高，而且對設備腐蝕嚴重，因燃燒量大不易于操作控制，不能有效地保證電子級磷酸的產品質量。
發(fā)明內容本實用新型的目的是提供一種結構簡單、能耗低、耐腐蝕、能有效地保證產品質量的電子級磷酸的生產裝置。本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的該裝置由加壓泵、真空泵、真空噴射泵、燃燒爐、坩堝、氣體過濾器、微孔過濾器、吸收槽、成品槽組成，加壓泵連接氣體過濾器，氣體過濾器連接位于燃燒爐內的坩堝，燃燒爐通過真空噴射泵噴射頭連接吸收槽，吸收槽與真空噴射泵連接，吸收槽的另一端通過真空泵連接微孔過濾器，微孔過濾器連接成品槽。由于本實用新型采用上述結構，該裝置結構簡單、耐腐蝕、能耗低、產量高，同時不受環(huán)境影響，易于操作控制，能有效地保證電子級磷酸的產品質量。

圖I為本實用新型實施例的結構圖。圖中I加壓泵、2氣體過濾器、3坩堝、4燃燒爐、5真空噴射泵噴射頭、6真空噴射泵、7吸收槽、8真空泵、9微孔過濾器、10成品槽。
具體實施方式
實施例該裝置由加壓泵I、真空泵8、真空噴射泵6、燃燒爐4、坩堝3、氣體過濾器
2、微孔過濾器9、吸收槽7、成品槽10組成，加壓泵I連接氣體過濾器2，氣體過濾器2連接位于燃燒爐4內的坩堝3，燃燒爐4通過真空噴射泵噴射頭5連接吸收槽7，吸收槽7與真空噴射泵6連接，吸收槽7的另一端通過真空泵8連接微孔過濾器9，微孔過濾器9連接成品槽10。將100公斤純度大于或等于99. 999%的高純黃磷投入到坩堝3中，同時用加壓泵I噴入氧氣或經凈化并過濾的空氣，使黃磷充分燃燒，燃燒產生的五氧化二磷通過真空噴射泵6抽入并被高純水(達到GB6682— 92規(guī)定的二級水)洗滌后進入吸收槽7，吸收槽7的磷酸溶液在經泵循環(huán)噴射繼續(xù)洗滌吸收真空泵抽入的五氧化二磷，直至吸收槽中磷酸溶液達到85%后，用真空泵8將該磷酸通過微孔過濾器9送入成品槽10，產品采用電感耦合等離子體吸收光譜儀(ICP-AES)和電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)分析，其分析結果如下
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權利要求1.一種電子級磷酸的生產裝置，該裝置由加壓泵、真空泵、真空噴射泵、燃燒爐、坩堝、氣體過濾器、微孔過濾器、吸收槽、成品槽組成，其特征是加壓泵連接氣體過濾器，氣體過濾器連接位于燃燒爐內的坩堝，燃燒爐通過真空噴射泵噴射頭連接吸收槽，吸收槽與真空噴射泵連接，吸收槽的另一端通過真空泵連接微孔過濾器，微孔過濾器連接成品槽。
專利摘要一種電子級磷酸的生產裝置，該裝置由加壓泵、真空泵、真空噴射泵、燃燒爐、坩堝、氣體過濾器、微孔過濾器、吸收槽、成品槽組成，加壓泵連接氣體過濾器，氣體過濾器連接位于燃燒爐內的坩堝，燃燒爐通過真空噴射泵噴射頭連接吸收槽，吸收槽與真空噴射泵連接，吸收槽的另一端通過真空泵連接微孔過濾器，微孔過濾器連接成品槽。由于本實用新型采用上述結構，該裝置結構簡單、耐腐蝕、能耗低、產量高，同時不受環(huán)境影響，易于操作控制，能有效地保證電子級磷酸的產品質量。
文檔編號C01B25/18GK202729802SQ201220428170
公開日2013年2月13日 申請日期2012年8月28日 優(yōu)先權日2012年8月28日
發(fā)明者向東, 舒驍驥, 趙永勝, 潘先偉 申請人:向東