一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)，包括液氨罐、預(yù)處理罐、超純水罐、減壓蒸餾裝置、半成品罐一、半成品罐二、純水罐、過(guò)濾系統(tǒng)、成品罐。本實(shí)用新型通過(guò)超純水罐將超純水注入預(yù)處理罐，液氨經(jīng)過(guò)超純水進(jìn)行水洗，可以有效去除金屬離子雜質(zhì)和非金屬離子雜質(zhì)，避免發(fā)生二次污染現(xiàn)象，過(guò)濾系統(tǒng)采用多級(jí)膜循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)，可以大量去除直徑大于0.5μm顆粒物，使其純度達(dá)到PPT級(jí)，滿足極大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝，使其國(guó)產(chǎn)化、本土化。
【專利說(shuō)明】一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及超聞純?cè)噭┨峒兗夹g(shù)，具體涉及一種超聞純氣水生廣系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]超高純?cè)噭┦请娮宇I(lǐng)域微細(xì)加工制作中不可缺少的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工原料之一，主要用于芯片的清洗和蝕刻。
[0003]電子化學(xué)品一般是指為電子工業(yè)配套的專用化學(xué)品，而超高純濕電子化學(xué)品主要包括集成電路和分立器件用化學(xué)品、晶體硅太陽(yáng)能用化學(xué)品和平板顯示用化學(xué)品等，其具有質(zhì)量要求高、功能性強(qiáng)、對(duì)生產(chǎn)及使用環(huán)境潔凈度要求高和產(chǎn)品更精純。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型針主要針對(duì)國(guó)內(nèi)微電子、光電子行業(yè)的迅猛，而電子化學(xué)品的發(fā)展滯后，為滿足其生產(chǎn)工藝所需，公司通過(guò)引進(jìn)、消化和吸收國(guó)外先進(jìn)技術(shù)使其國(guó)產(chǎn)化本土化，減低行業(yè)的生產(chǎn)成本，提供一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)。
[0005]本實(shí)用新型解決現(xiàn)有技術(shù)問(wèn)題的方案是:一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)，包括液氨罐、預(yù)處理罐、超純水罐、減壓蒸餾裝置、半成品罐一、半成品罐二、純水罐、過(guò)濾系統(tǒng)、成品罐，所述液氨罐連接在預(yù)處理罐中部，超純水罐連接在預(yù)處理罐上方，預(yù)處理罐連接減壓蒸餾裝置，減壓蒸餾裝置 連接半成品罐一，半成品罐一連接半成品罐二，半成品罐二上方連接純水罐，半成品罐 二下部連接過(guò)濾裝置，過(guò)濾系統(tǒng)連接成品罐。
[0006]作 為上述方案的優(yōu)選，所述過(guò)濾系統(tǒng)為多級(jí)膜循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型通過(guò)超純水罐將超純水注入預(yù)處理罐，液氨經(jīng)過(guò)超純水進(jìn)行水洗，可以有效去除金屬離子雜質(zhì)和非金屬離子雜質(zhì)，避免發(fā)生二次污染現(xiàn)象，過(guò)濾系統(tǒng)采用多級(jí)膜循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)，可以大量去除直徑大于0.5 μ m顆粒物，使其純度達(dá)到PPT級(jí)，滿足極大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝，使其國(guó)產(chǎn)化、本土化。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型的系統(tǒng)框圖；
【具體實(shí)施方式】
[0009]如圖1所示，一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)，包括液氨罐、預(yù)處理罐、超純水罐、減壓蒸懼裝直、半成品te—、半成品te~、純水te、過(guò)濾系統(tǒng)、成品te，所述液氣te連接在預(yù)處理te中部，超純水罐連接在預(yù)處理罐上方，預(yù)處理罐連接減壓蒸餾裝置，減壓蒸餾裝置連接半成品--ρ—，半成品--ρ—連接半成品~，半成品te~上方連接純水te，半成品te~下部連接過(guò)濾裝直，過(guò)濾系統(tǒng)連接成品te，過(guò)濾系統(tǒng)為多級(jí)I吳循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)。
[0010]以上所述僅為體現(xiàn)本實(shí)用新型原理的較佳實(shí)施例，并不因此而限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍，凡是依本實(shí)用新型所作的均等變化與修飾皆在本實(shí)用新型涵蓋的專利范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:包括液氨罐、預(yù)處理罐、超純水罐、減壓蒸懼裝直、半成品te—、半成品罐二、純水te、過(guò)濾系統(tǒng)、成品te，所述液氣te連接在預(yù)處理te中部，超純水罐連接在預(yù)處理罐上方，預(yù)處理罐連接減壓蒸餾裝置，減壓蒸餾裝置連接半成品--ρ—，半成品--ρ—連接半成品罐二，半成品罐二上方連接純水te，半成品罐二下部連接過(guò)濾裝置，過(guò)濾系統(tǒng)連接成品罐。
2.如權(quán)利要求1所述的超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述過(guò)濾系統(tǒng)為多級(jí)膜循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)。
【文檔編號(hào)】C01C1/02GK203392870SQ201320303281
【公開(kāi)日】2014年1月15日 申請(qǐng)日期:2013年5月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月30日
【發(fā)明者】殷福華, 朱龍, 邵勇 申請(qǐng)人:江陰江化微電子材料股份有限公司