四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器，包括筒體以及設(shè)置在筒體上、下端的上封頭和下封頭，在所述上封頭上設(shè)置有氣體出口，在所述下封頭上設(shè)置有氣體進(jìn)口，在所述筒體內(nèi)、靠近下封頭一端設(shè)置有帶風(fēng)帽的氣體分布板，在所述筒體上部設(shè)置有至少一個硅粉進(jìn)管，在所述筒體內(nèi)設(shè)置有至少一個測溫元件。本實用新型適用于年產(chǎn)10萬噸三氯氫硅的生產(chǎn)工藝，采用冷氫化技術(shù)，將四氯化硅和硅粉、氫氣在本實用新型的結(jié)構(gòu)中反應(yīng)生成三氯氫硅，具有電耗低、生產(chǎn)成本低、轉(zhuǎn)化率高的優(yōu)點，同時可取消多晶硅生產(chǎn)中采用“熱氫化技術(shù)”必須設(shè)置的尾氣回收系統(tǒng)，對減少多晶硅裝置的投資，降低工廠綜合電耗更有利。
【專利說明】四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于多晶硅冷氫化生產(chǎn)裝置，特別涉及一種四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器。
【背景技術(shù)】
[0002]在國內(nèi)多晶硅裝置中，四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅的技術(shù)大都是采用電化學(xué)還原氫化的技術(shù)，俗稱“熱氫化”技術(shù)。該技術(shù)電耗高、四氯化硅轉(zhuǎn)化率低、加熱片需定期更換，生產(chǎn)成本高。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的發(fā)明目的在于:針對上述存在的問題，提供一種適用于年產(chǎn)10萬噸
三氯氫硅生產(chǎn)工藝的四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器。
[0004]本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的:四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器，其特征在于:包括筒體以及設(shè)置在筒體上、下端的上封頭和下封頭，在所述上封頭上設(shè)置有氣體出口，在所述下封頭上設(shè)置有氣體進(jìn)口，在所述筒體內(nèi)、靠近下封頭一端設(shè)置有帶風(fēng)帽的氣體分布板，在所述筒體上部設(shè)置有至少一個硅粉進(jìn)管，在所述筒體內(nèi)設(shè)置有至少一個測溫元件。
[0005]本實用新型所述的四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器，其所述上封頭呈橢圓狀，所述下封頭呈錐形。
[0006]本實用新型所述的四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器，其所述硅粉進(jìn)管與硅粉自動加料系統(tǒng)連接。
[0007]本實用新型所述的四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器，其在所述氣體出口的管路上設(shè)置有急冷液噴淋。
[0008]本實用新型所述的四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器，其在所述反應(yīng)器頂部上方設(shè)置有旋風(fēng)分離器，所述旋風(fēng)分離器的料腿插入反應(yīng)器內(nèi)部。
[0009]本實用新型適用于年產(chǎn)10萬噸三氯氫硅的生產(chǎn)工藝，采用冷氫化技術(shù)，將四氯化娃和娃粉、氫氣在本實用新型的結(jié)構(gòu)中反應(yīng)生成三氯氫娃，具有電耗低、生產(chǎn)成本低、轉(zhuǎn)化率高的優(yōu)點，同時可取消多晶硅生產(chǎn)中采用“熱氫化技術(shù)”必須設(shè)置的尾氣回收系統(tǒng)，對減少多晶硅裝置的投資，降低工廠綜合電耗更有利。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖中標(biāo)記:1為筒體，2為上封頭，3為下封頭，4為氣體出口，5為氣體進(jìn)口，6為帶風(fēng)帽的氣體分布板，7為硅粉進(jìn)管，8為測溫元件。
【具體實施方式】[0012]下面結(jié)合附圖，對本實用新型作詳細(xì)的說明。
[0013]為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0014]如圖1所示，一種四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器，包括筒體I以及設(shè)置在筒體I上、下端的上封頭2和下封頭3，在所述上封頭2上設(shè)置有氣體出口 4，在所述下封頭3上設(shè)置有氣體進(jìn)口 5，在所述筒體I內(nèi)、靠近下封頭3—端設(shè)置有帶風(fēng)帽的氣體分布板6，在所述筒體I上部設(shè)置有兩個硅粉進(jìn)管7，在所述筒體I內(nèi)設(shè)置有四個測溫元件8，所述四個測溫元件沿筒體徑向分布。
[0015]其中，所述上封頭2呈橢圓狀，所述下封頭3呈錐形，所述硅粉進(jìn)管7與硅粉自動加料系統(tǒng)連接，在所述氣體出口 4的管路上設(shè)置有急冷液噴淋，在所述反應(yīng)器頂部上方設(shè)置有旋風(fēng)分離器，所述旋風(fēng)分離器的料腿插入反應(yīng)器內(nèi)部。
[0016]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器，其特征在于:包括筒體(I)以及設(shè)置在筒體(I)上、下端的上封頭(2)和下封頭(3)，在所述上封頭(2)上設(shè)置有氣體出口(4)，在所述下封頭(3 )上設(shè)置有氣體進(jìn)口( 5 )，在所述筒體(I)內(nèi)、靠近下封頭(3 ) 一端設(shè)置有帶風(fēng)帽的氣體分布板(6 )，在所述筒體(I)上部設(shè)置有至少一個硅粉進(jìn)管(7 )，在所述筒體(I)內(nèi)設(shè)置有至少一個測溫元件(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器，其特征在于:所述上封頭(2)呈橢圓狀，所述下封頭(3)呈錐形。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器，其特征在于:所述硅粉進(jìn)管(7)與硅粉自動加料系統(tǒng)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器，其特征在于:在所述氣體出口(4)的管路上設(shè)置有急冷液噴淋。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的四氯化硅轉(zhuǎn)化三氯氫硅反應(yīng)器，其特征在于:在所述反應(yīng)器頂部上方設(shè)置有旋風(fēng)分離器，所述旋風(fēng)分離器的料腿插入反應(yīng)器內(nèi)部。
【文檔編號】C01B33/107GK203513289SQ201320593245
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年9月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月25日
【發(fā)明者】王彬, 周齊領(lǐng), 李瑞芳, 王任, 彭斌 申請人:中國成達(dá)工程有限公司