氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實用新型提出了氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備，該設(shè)備包括：尾氣輸送管以及溫度監(jiān)控器，尾氣輸送管與換熱器的尾氣進(jìn)口相連；溫度監(jiān)控器設(shè)置在尾氣輸送管上。利用該氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備可以對氫化爐尾氣進(jìn)行降溫，同時監(jiān)測尾氣進(jìn)入汽化器之前的溫度，可以更好地控制氫化爐尾氣與冷卻水的換熱效率，防止氫化爐尾氣發(fā)生歧化反應(yīng)，提高氫化轉(zhuǎn)化率。
【專利說明】氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及化工領(lǐng)域，具體而言，本實用新型涉及氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備。【背景技術(shù)】
[0002]多晶硅是主要的光伏材料，是集成電路襯底、新型環(huán)保能源太陽能電池的主要材料，也是生產(chǎn)單晶硅的直接原料。國內(nèi)外主要采用改良西門子法生產(chǎn)多晶硅。改良西門子法生產(chǎn)多晶娃是用氯和氫氣合成生成氯化氫，氯化氫和娃粉在一定溫度下合成三氯氫娃，然后對三氯氫硅進(jìn)行分離精餾提純，提純后的三氯氫硅在多晶硅還原爐內(nèi)進(jìn)行化學(xué)氣相沉積反應(yīng)生成高純多晶硅，并沉積在發(fā)熱體上。然而還原反應(yīng)生成多晶硅的同時，生成大量的四氯化娃副產(chǎn)物。據(jù)統(tǒng)計，每生成Ikg多晶娃的同時產(chǎn)生四氯化娃15~17kg。提高四氯化硅氫化轉(zhuǎn)化率，提高熱氫化爐運行周期是多晶硅行業(yè)共同面臨的技術(shù)難題，四氯化硅處理好壞直接影響多晶硅企業(yè)生產(chǎn)成本和環(huán)保壓力。
[0003]高溫氫化爐在生產(chǎn)過程中，內(nèi)部的四氯化硅和氫氣生產(chǎn)三氯氫硅和氯化氫等物質(zhì)，氫化反應(yīng)溫度一般在1250°C以上，尾氣經(jīng)過高溫水夾套管、汽化器、尾氣換熱管后去尾氣回收工序?，F(xiàn)有多晶硅企業(yè)為提高氫化爐反應(yīng)溫度，防止設(shè)備損傷，在氫化爐和汽化器之間增加尾氣冷卻水。
[0004]現(xiàn)有的技術(shù)缺點有：（1)尾氣溫度低，氫化爐轉(zhuǎn)化率低；（2)若尾氣溫度過高，影響設(shè)備材質(zhì)壽命；（3)無法檢測尾氣進(jìn)入汽化器的溫度。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型旨在至少在一定程度上解決上述技術(shù)問題之一或至少提供一種有用的商業(yè)選擇。為此，本實用新型的一個目的在于提出一種能夠?qū)崟r監(jiān)控氫化爐尾氣溫度的氫化爐尾氣溫 度控制設(shè)備。
[0006]在本實用新型的一方面，本實用新型提出了一種氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備。根據(jù)本實用新型實施例的氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備，其包括：尾氣輸送管，所述尾氣輸送管與換熱器的尾氣進(jìn)口相連；溫度監(jiān)控器，所述溫度監(jiān)控器設(shè)置在所述尾氣輸送管上。利用本實用新型的氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備可以對氫化爐尾氣進(jìn)行降溫，同時監(jiān)測尾氣進(jìn)入汽化器之前的溫度，可以更好地控制氫化爐尾氣與冷卻水的換熱效率，防止氫化爐尾氣發(fā)生歧化反應(yīng)，提高氫化轉(zhuǎn)化率。
[0007]另外，根據(jù)本實用新型上述實施例的氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備還可以具有如下附加的技術(shù)特征：
[0008]根據(jù)本實用新型的實施例，所述溫度監(jiān)控器鄰近所述換熱器的尾氣進(jìn)口。由此可對氫化爐尾氣的溫度進(jìn)行監(jiān)控。
[0009]根據(jù)本實用新型的實施例，所述換熱器具有多個尾氣進(jìn)口，所述尾氣輸送管為多個且分別與所述多個尾氣進(jìn)口一一對應(yīng)，每個所述輸送管上均設(shè)有所述溫度監(jiān)控器。由此該氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備可以同時對多臺氫化爐排除的尾氣進(jìn)行冷卻，提高工作效率。[0010]根據(jù)本實用新型的實施例，所述尾氣輸送管的外部設(shè)有套管，所述套管與所述尾氣輸送管之間形成冷卻水通道，所述冷卻水通道具有進(jìn)口和出口。由此可以對氫化爐尾氣進(jìn)行初步降溫。
[0011]本實用新型的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]本實用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從結(jié)合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
[0013]圖1是根據(jù)本實用新型一個實施例的氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖?！揪唧w實施方式】
[0014]下面詳細(xì)描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的限制。
[0015]在本實用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”、“順
時針”、“逆時針”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。
[0016]此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個該特征。在本實用新型的描述中，“多個”的含義是兩個或兩個以上，除非另有明確具體的限定。
[0017]在本實用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。
[0018]在本實用新型的一個方面，本實用新型提出一種氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備，下面參考圖1對本實用新型的氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0019]本實用新型的氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備具體包括:汽化器100，換熱器200，尾氣輸送管300，溫度監(jiān)控器400。
[0020]根據(jù)本實用新型的具體實施例，汽化器100內(nèi)具有汽化腔，汽化腔具有進(jìn)水口 101和出水口 102 ；換熱器200設(shè)置在汽化腔內(nèi)，換熱器200具有尾氣進(jìn)口 201和尾氣出口 202 ；尾氣輸送管300與換熱器200的尾氣進(jìn)口 201相連；溫度監(jiān)控器400設(shè)置在尾氣輸送管300上。
[0021]根據(jù)本實用新型的具體實施例，上述氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備能夠?qū)崟r監(jiān)控氫化爐尾氣的溫度，合理地控制氫化爐內(nèi)的反應(yīng)溫度，保護(hù)設(shè)備不受高溫?fù)p傷。
[0022]根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述溫度監(jiān)控器400鄰近換熱器200的尾氣進(jìn)口。由此可對氫化爐尾氣的溫度進(jìn)行監(jiān)控。
[0023]根據(jù)本實用新型的一個實施例，換熱器200具有多個尾氣進(jìn)口 201，尾氣輸送管300為多個且分別與多個尾氣進(jìn)口 201 —一對應(yīng)，每個輸送管上均設(shè)有溫度監(jiān)控器400。由此該氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備可以同時對多臺氫化爐排除的尾氣進(jìn)行冷卻，同時對進(jìn)入汽化器之前的氫化爐尾氣溫度進(jìn)行準(zhǔn)確及時的監(jiān)控。根據(jù)本實用新型的具體實施例，可以每個小時記錄每臺氫化爐尾氣進(jìn)入汽化器之前的溫度，由此來進(jìn)一步根據(jù)該溫度控制氫化爐的運行，避免溫度過高對設(shè)備造成損傷。根據(jù)本實用新型的具體實施例，該溫度監(jiān)控器400可以監(jiān)控范圍可以為1?600攝氏度，由此可以顯著提高檢測準(zhǔn)確度。
[0024]根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述換熱器由V型管構(gòu)成。V型管式換熱器更加安全有效，使用壽命長，尤其適用于多晶硅氫化爐尾氣冷卻工藝條件。根據(jù)本實用新型的一個實施例，由V型管構(gòu)成的換熱器具有的尾氣進(jìn)口 201和尾氣出口 202鄰近在汽化器100的同一端。根據(jù)本實用新型的具體實施例4型管的管內(nèi)為氫化爐尾氣管路，氫化爐尾氣由尾氣進(jìn)口 201進(jìn)入，從尾氣出口 202排除。在I型管的管壁外的其他汽化腔室空間為冷卻水通路，冷卻水從設(shè)置在汽化腔壁上的進(jìn)水口 101進(jìn)入，對V型管管內(nèi)的氫化爐尾氣進(jìn)行降溫，然后從出水口 102排出。
[0025]根據(jù)本實用新型的一個實施例，尾氣輸送管300的外部設(shè)有套管310，套管310與尾氣輸送管之間形成冷卻水通道，冷卻水通道具有進(jìn)口 311和出口 312。由此可以對氫化爐尾氣進(jìn)行初步降溫。
[0026]利用本實用新型的氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備可以對氫化爐尾氣進(jìn)行降溫，同時監(jiān)測尾氣進(jìn)入汽化器100之前的溫度，可以更好地控制氫化爐尾氣與冷卻水的換熱效率，防止氫化爐尾氣發(fā)生歧化反應(yīng)，提高氫化轉(zhuǎn)化率。
[0027]在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點包含于本實用新型的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結(jié)合。
[0028]盡管上面已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施例，可以理解的是，上述實施例是示例性的，不能理解為對本實用新型的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在不脫離本實用新型的原理和宗旨的情況下在本實用新型的范圍內(nèi)可以對上述實施例進(jìn)行變化、修改、替換和變型。
【權(quán)利要求】
1.一種氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備，其特征在于，包括: 尾氣輸送管，所述尾氣輸送管與換熱器的尾氣進(jìn)口相連； 溫度監(jiān)控器，所述溫度監(jiān)控器設(shè)置在所述尾氣輸送管上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備，其特征在于，所述溫度監(jiān)控器鄰近所述換熱器的尾氣進(jìn)口。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備，其特征在于，所述換熱器具有多個尾氣進(jìn)口，所述尾氣輸送管為多個且分別與所述多個尾氣進(jìn)口 一一對應(yīng)，每個所述輸送管上均設(shè)有所述溫度監(jiān)控器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項所述的氫化爐尾氣溫度控制設(shè)備，其特征在于，所述尾氣輸送管的外部設(shè)有套管，所述套管與所述尾氣輸送管之間形成冷卻水通道，所述冷卻水通道具有進(jìn)口和出口。
【文檔編號】C01B33/03GK203625055SQ201320673680
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年10月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月29日
【發(fā)明者】趙桂潔, 馬啟坤, 羅平, 顧國寶, 曾亞龍, 楊丞杰, 王世松, 張新紅, 李鴻祥, 何書玉, 宋東明 申請人:昆明冶研新材料股份有限公司