一種內(nèi)置有氟氣緩沖罐的氟磷反應(yīng)器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種內(nèi)置有氟氣緩沖罐的氟磷反應(yīng)器，氟磷反應(yīng)器包括反應(yīng)殼體、底座和加磷料倉(cāng)，加磷料倉(cāng)通過輸送管固定連接在反應(yīng)殼體上，反應(yīng)殼體的頂面上設(shè)置有氟氣進(jìn)口，反應(yīng)殼體的側(cè)面設(shè)置有五氟化磷出口，反應(yīng)殼體上設(shè)置有顯示屏和分布管道檢測(cè)器，反應(yīng)殼體的內(nèi)部設(shè)置有氟氣緩沖罐和反應(yīng)機(jī)構(gòu)，氟氣緩沖罐內(nèi)設(shè)置有氣體分布管，反應(yīng)機(jī)構(gòu)包括反應(yīng)柱，相鄰兩個(gè)反應(yīng)柱之間通過導(dǎo)管連通，反應(yīng)柱內(nèi)設(shè)置有進(jìn)氣室和反應(yīng)室，反應(yīng)室內(nèi)設(shè)置有分布片，分布片之間通過感應(yīng)柱固定連接，反應(yīng)殼體與底座之間通過轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，實(shí)用性強(qiáng)，使氟磷反應(yīng)器的工作更穩(wěn)定可靠，減少了泄漏的可能，延長(zhǎng)了氟磷反應(yīng)器的使用壽命。
【專利說明】一種內(nèi)置有氟氣緩沖耀的氟磷反應(yīng)器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種內(nèi)置有氟氣緩沖罐的氟磷反應(yīng)器。

【背景技術(shù)】
[0002]六氟磷酸鋰是鋰電池關(guān)鍵材料，具有廣泛的市場(chǎng)前景。目前國(guó)內(nèi)采用的氟氣生產(chǎn)工藝路線是:電解AHF得到氟氣，與紅磷反應(yīng)得到PF5，再與LiF的氟化氫溶液反應(yīng)值得LiPF6后經(jīng)分離干燥得到成品。
[0003]氟磷反應(yīng)器是該工藝中必不可少的機(jī)械設(shè)備，其性能的好壞直接影響了整個(gè)工藝流程。現(xiàn)有技術(shù)中的氟磷反應(yīng)器中的氟氣緩沖罐一般都是外置，使氟氣入口管進(jìn)入的氟氣與磷反應(yīng)時(shí)間較短，而且時(shí)間長(zhǎng)了分配管與緩沖罐、分配管與反應(yīng)器的連接處易產(chǎn)生泄漏，而且由于反應(yīng)溫度高，反應(yīng)速度快，需要對(duì)反應(yīng)器內(nèi)部要有清楚的了解，如果不能很好的掌握內(nèi)部情況，容易造成極大的安全隱患。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足而提供一種內(nèi)置有氟氣緩沖罐的氟磷反應(yīng)器的技術(shù)方案，顯示屏可以將反應(yīng)殼體內(nèi)部的溫度、壓力、氟氣濃度和磷含量顯示出來，使操作者直觀的了解反應(yīng)器內(nèi)部的情況，便于發(fā)生緊急情況時(shí)快速做出反應(yīng)，提高了使用時(shí)的安全性，同時(shí)氟氣緩沖罐內(nèi)置，減少了泄漏的可能，提高了其實(shí)用性，由于分布管在里面，部分管口堵塞難以發(fā)現(xiàn)，分布管道檢測(cè)器則可以快速的將堵塞部位顯示出來，便于及時(shí)維修。
[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0006]一種內(nèi)置有氟氣緩沖罐的氟磷反應(yīng)器，氟磷反應(yīng)器包括反應(yīng)殼體、底座和加磷料倉(cāng)，底座位于反應(yīng)殼體的底面上，加磷料倉(cāng)位于反應(yīng)殼體的頂面上，加磷料倉(cāng)通過輸送管固定連接在反應(yīng)殼體上，輸送管上設(shè)置有第一電磁閥，反應(yīng)殼體的頂面上設(shè)置有氟氣進(jìn)口，反應(yīng)殼體的側(cè)面設(shè)置有五氟化磷出口，其特征在于:反應(yīng)殼體上設(shè)置有顯示屏和分布管道檢測(cè)器，顯示屏上設(shè)置有溫度顯示窗口、壓力顯示窗口、氟氣濃度顯示窗口、磷含量顯示窗口、溫度調(diào)節(jié)鍵和壓力調(diào)節(jié)鍵；反應(yīng)殼體的內(nèi)部設(shè)置有氟氣緩沖罐和反應(yīng)機(jī)構(gòu)，氟氣緩沖罐上設(shè)置有輸氣孔，氟氣緩沖罐內(nèi)設(shè)置有氣體分布管，氣體分布管上設(shè)置有主管道和支管道，主管道連通氟氣進(jìn)口，支管道連接輸氣孔，反應(yīng)機(jī)構(gòu)包括反應(yīng)柱，相鄰兩個(gè)反應(yīng)柱之間通過導(dǎo)管連通，反應(yīng)柱內(nèi)設(shè)置有進(jìn)氣室和反應(yīng)室，進(jìn)氣室和反應(yīng)室之間設(shè)置有分隔板，進(jìn)氣室的內(nèi)部側(cè)壁上設(shè)置有單向進(jìn)氣孔，反應(yīng)室的外部側(cè)壁上設(shè)置有單向出氣孔，反應(yīng)室內(nèi)設(shè)置有分布片，分布片之間通過感應(yīng)柱固定連接；反應(yīng)殼體與底座之間通過轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括支撐板和液壓缸，支撐板固定連接在反應(yīng)殼體的底面上，支撐板通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接在底座上；第一電磁閥可以根據(jù)磷的具體用量進(jìn)行控制，使反應(yīng)更充分，顯示屏可以將反應(yīng)殼體內(nèi)部的溫度、壓力、氟氣濃度和磷含量顯示出來，使操作者直觀的了解反應(yīng)器內(nèi)部的情況，便于發(fā)生緊急情況時(shí)快速做出反應(yīng)，提高了使用時(shí)的安全性，同時(shí)由于氟氣緩沖罐內(nèi)置，減少了泄漏的可能，由于分布管在里面，部分管口堵塞難以發(fā)現(xiàn)，分布管道檢測(cè)器則可以快速的將堵塞部位顯示出來，便于及時(shí)維修，氟氣緩沖罐可以使氟氣均勻的進(jìn)入反應(yīng)器內(nèi)，使氟磷反應(yīng)均勻進(jìn)行，反應(yīng)熱均勻分布，反應(yīng)柱的設(shè)計(jì)有效提高了氟氣與磷的接觸面積，使反應(yīng)更充分，同時(shí)可以有效地將反應(yīng)產(chǎn)生的熱量帶走，減少了副產(chǎn)物的生成。
[0007]進(jìn)一步，氣體分布管呈S形，S形的設(shè)計(jì)可以有效提高氟氣的輸送效率，同時(shí)更加安全可靠，防止氟氣泄漏而造成安全隱患。
[0008]進(jìn)一步，反應(yīng)殼體的內(nèi)部側(cè)壁上設(shè)置有感應(yīng)器，感應(yīng)器可以將粉應(yīng)殼體內(nèi)部的壓力和溫度通過顯示窗口進(jìn)行提醒。
[0009]進(jìn)一步，反應(yīng)柱呈階梯狀分布，階梯狀分布有利于磷粉進(jìn)行輸送，可以減少空間的占用，增大氣體的流動(dòng)性，同時(shí)不影響磷粉與氟氣的反應(yīng)效率。
[0010]進(jìn)一步，支撐板呈三角形，可以通過液壓缸對(duì)支撐板進(jìn)行推動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)支撐板繞著轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，使反應(yīng)器的角度達(dá)到設(shè)計(jì)位置，此結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得反應(yīng)器的轉(zhuǎn)動(dòng)更加安全可靠。
[0011]進(jìn)一步，加磷料倉(cāng)包括干燥腔、吹掃腔和抽氣腔，干燥腔的頂面上設(shè)置有端蓋，干燥腔與吹掃腔之間設(shè)置有連接板，連接板上設(shè)置有加熱格柵，連接板的中部設(shè)置有貫通孔，吹掃腔內(nèi)設(shè)置有吹掃板，吹掃板上設(shè)置有移動(dòng)桿，移動(dòng)桿上連接有吹掃管，抽氣腔內(nèi)設(shè)置有抽氣管，抽氣腔的外部設(shè)置有抽氣泵，抽氣泵連通抽氣管，加磷料倉(cāng)的外部側(cè)面上設(shè)置有控制面板，使磷粉經(jīng)過干燥、吹掃和抽空后快速進(jìn)入反應(yīng)器內(nèi)，控制面板可以根據(jù)反應(yīng)的要求對(duì)干燥腔、吹掃腔和抽氣腔進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0012]進(jìn)一步，連接板的頂面上設(shè)置有干燥感應(yīng)燈，干燥感應(yīng)燈可以將干燥腔內(nèi)磷粉的干燥度直接反應(yīng)到控制面板上，便于操作員及時(shí)對(duì)磷粉進(jìn)行控制。
[0013]進(jìn)一步，連接板的底面上設(shè)置有第二電磁閥，當(dāng)干燥腔內(nèi)的磷粉達(dá)到設(shè)計(jì)要求時(shí)，第二電磁閥自動(dòng)打開，使磷粉進(jìn)入吹掃腔。
[0014]本實(shí)用新型由于采用了上述技術(shù)方案，具有以下有益效果:
[0015]1、顯示屏可以將反應(yīng)殼體內(nèi)部的溫度、壓力、氟氣濃度和磷含量顯示出來，使操作者直觀的了解反應(yīng)器內(nèi)部的情況，便于發(fā)生緊急情況時(shí)快速做出反應(yīng)，提高了使用時(shí)的安全性；
[0016]2、氟氣緩沖罐內(nèi)置，減少了泄漏的可能，同時(shí)可以使氟氣均勻的進(jìn)入反應(yīng)器，讓反應(yīng)均勻的進(jìn)行；
[0017]3、由于分布管在里面，部分管口堵塞難以發(fā)現(xiàn)，分布管道檢測(cè)器則可以快速的將堵塞部位顯示出來，便于及時(shí)維修；
[0018]4、反應(yīng)柱的設(shè)計(jì)有效提高了氟氣與磷的接觸面積，使反應(yīng)更充分，同時(shí)可以有效地將反應(yīng)產(chǎn)生的熱量帶走，減少了副產(chǎn)物的生成。
[0019]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，實(shí)用性強(qiáng)，使氟磷反應(yīng)器的工作更穩(wěn)定可靠，減少了泄漏的可能，延長(zhǎng)了氟磷反應(yīng)器的使用壽命。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明:
[0021]圖1為本實(shí)用新型一種內(nèi)置有氟氣緩沖罐的氟磷反應(yīng)器的外部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2為本實(shí)用新型的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖3為本實(shí)用新型中氟氣緩沖罐的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖4為本實(shí)用新型中反應(yīng)柱的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖5為本實(shí)用新型中加磷料倉(cāng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖中:1_反應(yīng)殼體；2-底座；3-氟氣進(jìn)口 ；4_五氟化磷出口 ；5_加磷料倉(cāng)；6-輸送管；7_第一電磁閥；8_分布管道檢測(cè)器；9-顯示屏；10_溫度顯示窗口 ；11_壓力顯示窗口 ； 12-氟氣濃度顯示窗口 ； 13-磷含量顯示窗口 ； 14-溫度調(diào)節(jié)鍵；15-壓力調(diào)節(jié)鍵；16-氟氣緩沖罐；17_輸氣孔；18_感應(yīng)器；19-反應(yīng)柱；20_導(dǎo)管；21_支撐板；22_液壓缸；23_轉(zhuǎn)軸；24_氣體分布管；25_主管道；26_支管道；27_進(jìn)氣室；28_反應(yīng)室；29_單向進(jìn)氣孔；30-單向出氣孔；31_分隔板；32_分布片；33_感應(yīng)柱；34_干燥腔；35_吹掃腔；36_抽氣腔；37_端蓋；38_貫通孔；39_干燥感應(yīng)燈；40_加熱格柵；41_連接板；42_吹掃板；43_移動(dòng)桿；44_吹掃管；45_控制面板；46_抽氣管；47_抽氣泵；48_第二電磁閥。

【具體實(shí)施方式】
[0027]如圖1至圖5所示，為本實(shí)用新型一種內(nèi)置有氟氣緩沖罐的氟磷反應(yīng)器，氟磷反應(yīng)器包括反應(yīng)殼體1、底座2和加磷料倉(cāng)5,底座2位于反應(yīng)殼體I的底面上，加磷料倉(cāng)5位于反應(yīng)殼體I的頂面上，加磷料倉(cāng)5包括干燥腔34、吹掃腔35和抽氣腔36，干燥腔34的頂面上設(shè)置有端蓋37，干燥腔34與吹掃腔35之間設(shè)置有連接板41，連接板41上設(shè)置有加熱格柵40，連接板41的中部設(shè)置有貫通孔38，連接板41的頂面上設(shè)置有干燥感應(yīng)燈39，干燥感應(yīng)燈39可以將干燥腔34內(nèi)磷粉的干燥度直接反應(yīng)到控制面板45上，便于操作員及時(shí)對(duì)磷粉進(jìn)行控制，連接板41的底面上設(shè)置有第二電磁閥48，當(dāng)干燥腔34內(nèi)的磷粉達(dá)到設(shè)計(jì)要求時(shí)，第二電磁閥48自動(dòng)打開，使磷粉進(jìn)入吹掃腔35，吹掃腔35內(nèi)設(shè)置有吹掃板42，吹掃板42上設(shè)置有移動(dòng)桿43，移動(dòng)桿43上連接有吹掃管44，抽氣腔36內(nèi)設(shè)置有抽氣管46，抽氣腔36的外部設(shè)置有抽氣泵47，抽氣泵47連通抽氣管46，加磷料倉(cāng)5的外部側(cè)面上設(shè)置有控制面板45，使磷粉經(jīng)過干燥、吹掃和抽空后快速進(jìn)入反應(yīng)器內(nèi)，控制面板45可以根據(jù)反應(yīng)的要求對(duì)干燥腔34、吹掃腔35和抽氣腔36進(jìn)行調(diào)節(jié)，加磷料倉(cāng)5通過輸送管6固定連接在反應(yīng)殼體I上，輸送管6上設(shè)置有第一電磁閥7，反應(yīng)殼體I的頂面上設(shè)置有氟氣進(jìn)口 3，反應(yīng)殼體I的側(cè)面設(shè)置有五氟化磷出口 4，反應(yīng)殼體I上設(shè)置有顯示屏9和分布管道檢測(cè)器8，顯示屏9上設(shè)置有溫度顯示窗口 10、壓力顯示窗口 11、氟氣濃度顯示窗口 12、磷含量顯示窗口 13、溫度調(diào)節(jié)鍵14和壓力調(diào)節(jié)鍵15 ;反應(yīng)殼體I的內(nèi)部側(cè)壁上設(shè)置有感應(yīng)器18，感應(yīng)器18可以將粉應(yīng)殼體內(nèi)部的壓力和溫度通過顯示窗口進(jìn)行提醒，反應(yīng)殼體I的內(nèi)部設(shè)置有氟氣緩沖罐16和反應(yīng)機(jī)構(gòu)，氟氣緩沖罐16上設(shè)置有輸氣孔17，氟氣緩沖罐16內(nèi)設(shè)置有氣體分布管24，氣體分布管24呈S形，S形的設(shè)計(jì)可以有效提高氟氣的輸送效率，同時(shí)更加安全可靠，防止氟氣泄漏而造成安全隱患，氣體分布管24上設(shè)置有主管道25和支管道26，主管道25連通氟氣進(jìn)口 3，支管道26連接輸氣孔17，反應(yīng)機(jī)構(gòu)包括反應(yīng)柱19，相鄰兩個(gè)反應(yīng)柱19之間通過導(dǎo)管20連通，反應(yīng)柱19呈階梯狀分布，階梯狀分布有利于磷粉進(jìn)行輸送，可以減少空間的占用，增大氣體的流動(dòng)性，同時(shí)不影響磷粉與氟氣的反應(yīng)效率，反應(yīng)柱19內(nèi)設(shè)置有進(jìn)氣室27和反應(yīng)室28，進(jìn)氣室27和反應(yīng)室28之間設(shè)置有分隔板31，進(jìn)氣室27的內(nèi)部側(cè)壁上設(shè)置有單向進(jìn)氣孔29，反應(yīng)室28的外部側(cè)壁上設(shè)置有單向出氣孔30，反應(yīng)室28內(nèi)設(shè)置有分布片32，分布片32之間通過感應(yīng)柱33固定連接；反應(yīng)殼體I與底座2之間通過轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括支撐板21和液壓缸22，支撐板21固定連接在反應(yīng)殼體I的底面上，支撐板21通過轉(zhuǎn)軸23轉(zhuǎn)動(dòng)連接在底座2上，支撐板21呈三角形，可以通過液壓缸22對(duì)支撐板21進(jìn)行推動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)支撐板21繞著轉(zhuǎn)軸23轉(zhuǎn)動(dòng)，使反應(yīng)器的角度達(dá)到設(shè)計(jì)位置，此結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得反應(yīng)器的轉(zhuǎn)動(dòng)更加安全可靠；第一電磁閥7可以根據(jù)磷的具體用量進(jìn)行控制，使反應(yīng)更充分，顯示屏9可以將反應(yīng)殼體I內(nèi)部的溫度、壓力、氟氣濃度和磷含量顯示出來，使操作者直觀的了解反應(yīng)器內(nèi)部的情況，便于發(fā)生緊急情況時(shí)快速做出反應(yīng)，提高了使用時(shí)的安全性，同時(shí)由于氟氣緩沖罐內(nèi)置，減少了泄漏的可能，由于分布管在里面，部分管口堵塞難以發(fā)現(xiàn)，分布管道檢測(cè)器8則可以快速的將堵塞部位顯示出來，便于及時(shí)維修，氟氣緩沖罐16可以使氟氣均勻的進(jìn)入反應(yīng)器內(nèi)，使氟磷反應(yīng)均勻進(jìn)行，反應(yīng)熱均勻分布,反應(yīng)柱19的設(shè)計(jì)有效提高了氟氣與磷的接觸面積，使反應(yīng)更充分，同時(shí)可以有效地將反應(yīng)產(chǎn)生的熱量帶走，減少了副產(chǎn)物的生成。
[0028]以上僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，但本實(shí)用新型的技術(shù)特征并不局限于此。任何以本實(shí)用新型為基礎(chǔ)，為實(shí)現(xiàn)基本相同的技術(shù)效果，所作出地簡(jiǎn)單變化、等同替換或者修飾等，皆涵蓋于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之中。
【權(quán)利要求】
1.一種內(nèi)置有氟氣緩沖罐的氟磷反應(yīng)器，所述氟磷反應(yīng)器包括反應(yīng)殼體、底座和加磷料倉(cāng)，所述底座位于所述反應(yīng)殼體的底面上，所述加磷料倉(cāng)位于所述反應(yīng)殼體的頂面上，所述加磷料倉(cāng)通過輸送管固定連接在所述反應(yīng)殼體上，所述輸送管上設(shè)置有第一電磁閥，所述反應(yīng)殼體的頂面上設(shè)置有氟氣進(jìn)口，所述反應(yīng)殼體的側(cè)面設(shè)置有五氟化磷出口，其特征在于:所述反應(yīng)殼體上設(shè)置有顯示屏和分布管道檢測(cè)器，所述顯示屏上設(shè)置有溫度顯示窗口、壓力顯示窗口、氟氣濃度顯示窗口、磷含量顯示窗口、溫度調(diào)節(jié)鍵和壓力調(diào)節(jié)鍵；所述反應(yīng)殼體的內(nèi)部設(shè)置有氟氣緩沖罐和反應(yīng)機(jī)構(gòu)，所述氟氣緩沖罐上設(shè)置有輸氣孔，所述氟氣緩沖罐內(nèi)設(shè)置有氣體分布管，所述氣體分布管上設(shè)置有主管道和支管道，所述主管道連通所述氟氣進(jìn)口，所述支管道連接所述輸氣孔，所述反應(yīng)機(jī)構(gòu)包括反應(yīng)柱，相鄰兩個(gè)所述反應(yīng)柱之間通過導(dǎo)管連通，所述反應(yīng)柱內(nèi)設(shè)置有進(jìn)氣室和反應(yīng)室，所述進(jìn)氣室和所述反應(yīng)室之間設(shè)置有分隔板，所述進(jìn)氣室的內(nèi)部側(cè)壁上設(shè)置有單向進(jìn)氣孔，所述反應(yīng)室的外部側(cè)壁上設(shè)置有單向出氣孔，所述反應(yīng)室內(nèi)設(shè)置有分布片，所述分布片之間通過感應(yīng)柱固定連接；所述反應(yīng)殼體與所述底座之間通過轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括支撐板和液壓缸，所述支撐板固定連接在所述反應(yīng)殼體的底面上，所述支撐板通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述底座上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種內(nèi)置有氟氣緩沖罐的氟磷反應(yīng)器，其特征在于:所述氣體分布管呈S形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種內(nèi)置有氟氣緩沖罐的氟磷反應(yīng)器，其特征在于:所述反應(yīng)殼體的內(nèi)部側(cè)壁上設(shè)置有感應(yīng)器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種內(nèi)置有氟氣緩沖罐的氟磷反應(yīng)器，其特征在于:所述反應(yīng)柱呈階梯狀分布。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種內(nèi)置有氟氣緩沖罐的氟磷反應(yīng)器，其特征在于:所述支撐板呈二角形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種內(nèi)置有氟氣緩沖罐的氟磷反應(yīng)器，其特征在于:所述加磷料倉(cāng)包括干燥腔、吹掃腔和抽氣腔，所述干燥腔的頂面上設(shè)置有端蓋，所述干燥腔與所述吹掃腔之間設(shè)置有連接板，所述連接板上設(shè)置有加熱格柵，所述連接板的中部設(shè)置有貫通孔，所述吹掃腔內(nèi)設(shè)置有吹掃板，所述吹掃板上設(shè)置有移動(dòng)桿，所述移動(dòng)桿上連接有吹掃管，所述抽氣腔內(nèi)設(shè)置有抽氣管，所述抽氣腔的外部設(shè)置有抽氣泵，所述抽氣泵連通所述抽氣管，所述加磷料倉(cāng)的外部側(cè)面上設(shè)置有控制面板。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種內(nèi)置有氟氣緩沖罐的氟磷反應(yīng)器，其特征在于:所述連接板的頂面上設(shè)置有干燥感應(yīng)燈。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種內(nèi)置有氟氣緩沖罐的氟磷反應(yīng)器，其特征在于:所述連接板的底面上設(shè)置有第二電磁閥。
【文檔編號(hào)】C01B25/455GK204097099SQ201420485222
【公開日】2015年1月14日 申請(qǐng)日期:2014年8月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月27日
【發(fā)明者】嚴(yán)錦暉, 明博, 王海, 余永林, 李勝, 汪靖 申請(qǐng)人:浙江巨化凱藍(lán)新材料有限公司