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一種多晶硅溶液液面距定位方法與流程

文檔序號(hào):12252066閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種多晶硅溶液液面距定位方法,包括:密封單晶爐的主爐室和副爐室,對(duì)單晶爐的主爐室和副爐室抽真空,并加熱坩堝內(nèi)的多晶硅,其特征在于,在密封單晶爐的主爐室和副爐室之前,所述方法還包括:

確定導(dǎo)流筒的下沿的位置;

坩堝內(nèi)的多晶硅完全熔化后,所述方法還包括:

下降籽晶,并根據(jù)導(dǎo)流筒的下沿的位置和預(yù)設(shè)的液面距m控制籽晶下降的距離;其中,液面距m是指坩堝內(nèi)多晶硅溶液液面與導(dǎo)流筒的下沿之間的距離。

2.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述確定導(dǎo)流筒的下沿的位置,具體包括:

測(cè)量單晶爐的隔離閥的下表面與導(dǎo)流筒的下沿之間的距離a,以及,測(cè)量單晶爐的隔離閥的厚度b;

所述導(dǎo)流筒的下沿的位置為:導(dǎo)流筒的下沿與隔離閥上表面的相對(duì)距離(a+b)。

3.如權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,所述下降籽晶,并根據(jù)導(dǎo)流筒的下沿的位置和預(yù)設(shè)的液面距m控制籽晶下降的距離,具體包括:

控制籽晶的底端從隔離閥的上表面處下降(a+b)的距離,以使籽晶的底端與導(dǎo)流筒的下沿平齊;

控制籽晶下降液面距m的距離。

4.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述確定導(dǎo)流筒的下沿的位置,具體包括:

測(cè)量單晶爐的隔離閥的下表面與導(dǎo)流筒的下沿之間的距離a,以及,測(cè)量單晶爐的隔離閥的厚度b;

將籽晶的底端與隔離閥的上表面相抵靠,并記錄當(dāng)前籽晶的晶位c,所述籽晶的晶位為籽晶的底端與籽晶上方的預(yù)設(shè)原點(diǎn)之間的距離;

所述導(dǎo)流筒的下沿的位置為:導(dǎo)流筒的下沿與籽晶上方的預(yù)設(shè)原點(diǎn)之間的絕對(duì)距離(a+b+c)。

5.如權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,所述下降籽晶,并根據(jù)導(dǎo)流筒的下沿的位置和預(yù)設(shè)的液面距m控制籽晶下降的距離,具體包括:

下降籽晶至晶位(a+b+c),以使籽晶的底端與導(dǎo)流筒的下沿平齊;

下降籽晶至晶位(a+b+c+m)。

6.如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,所述方法還包括:

籽晶停止下降后,上升坩堝,當(dāng)坩堝內(nèi)多晶硅溶液液面與籽晶的底端相接觸時(shí),停止上升坩堝。

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