技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種采用多晶硅還原系統(tǒng)生產(chǎn)多晶硅的方法以及多晶硅還原系統(tǒng)，該方法包括進料步驟和尾氣控制步驟，在進料步驟中，在多晶硅生產(chǎn)的中后期，將未經(jīng)預熱的冷氫與經(jīng)加熱后的混合氣體混合，再送入還原爐中，所述混合氣體為三氯氫硅和氫氣的混合氣體。該方法及系統(tǒng)能夠解決多晶硅還原系統(tǒng)運行中進料溫度過高的問題。

技術(shù)研發(fā)人員：呂?；?孫運德;劉丹丹;胡啟紅;王倩;陳媛
受保護的技術(shù)使用者：新特能源股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.09
技術(shù)公布日：2017.11.17