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一種用于飛機(jī)風(fēng)擋玻璃高紫外反射的節(jié)能薄膜及制備方法與流程

文檔序號(hào):12340196閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種用于飛機(jī)風(fēng)擋玻璃高紫外反射的節(jié)能薄膜,其特征在于:所述用于飛機(jī)風(fēng)擋玻璃高紫外反射的節(jié)能薄膜包括風(fēng)擋玻璃基片、內(nèi)氧化硅層、高紫外反射層、節(jié)能層和外氧化硅層,所述風(fēng)擋玻璃基片上由內(nèi)向外方向依次為內(nèi)氧化硅層、高紫外反射層、節(jié)能層和外氧化硅層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于飛機(jī)風(fēng)擋玻璃高紫外反射的節(jié)能薄膜,其特征在于:所述風(fēng)擋玻璃基片為飛機(jī)風(fēng)擋玻璃基片。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于飛機(jī)風(fēng)擋玻璃高紫外反射的節(jié)能薄膜,其特征在于:所述內(nèi)氧化硅層(2)膜層厚度為18~23nm;所述高紫外反射層由內(nèi)向外依次為第一氧化鈦層(31)、氧化鈰層(32)和第二氧化鈦層(33),所述第一氧化鈦層(31)的膜層厚度為15~25nm,所述氧化鈰層(32)的膜層厚度為20~25nm,所述第二氧化鈦層(33)的膜層厚度為10~15nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于飛機(jī)風(fēng)擋玻璃高紫外反射的節(jié)能薄膜,其特征在于:所述節(jié)能層由內(nèi)向外依次為金屬層(41)、第三氧化鈦層(42)、氧化銦錫層(43),所述金屬層(41)的膜層厚度為6~10nm,所述第三氧化鈦層(42)的膜層厚度為20~25nm,所述氧化銦錫層(43)的膜層厚度為115~150nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于飛機(jī)風(fēng)擋玻璃高紫外反射的節(jié)能薄膜,其特征在于:所述外氧化硅層(5)膜層厚度為80~150nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于飛機(jī)風(fēng)擋玻璃高紫外反射的節(jié)能薄膜,其特征在于:所述金屬層(41)的材質(zhì)為鈦、金或銀。

7.權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的用于飛機(jī)風(fēng)擋玻璃高紫外反射的節(jié)能薄膜的制備方法,其特征在于包括如下步驟:鍍膜設(shè)備環(huán)境要求:溫度在18~25℃、濕度55%以下,陰極冷卻水溫度15~26℃,風(fēng)擋玻璃基片位置要求潔凈度萬級(jí)以內(nèi),

(1)開機(jī)過程:開啟鍍膜設(shè)備真空泵系統(tǒng),先使鍍膜設(shè)備所有腔室達(dá)到本底真空要求:緩沖室真空度<0.3Pa、鍍膜室真空度<2×10-3Pa;

(2)鍍膜過程:風(fēng)擋玻璃基片經(jīng)過清洗后,自動(dòng)或手動(dòng)方式進(jìn)入鍍膜設(shè)備,緩沖室氣壓維持在3Pa以內(nèi),鍍膜工藝室通過通入氬氣維持氣壓的范圍為0.2~0.8Pa,通入工藝氣體;

(3)將待鍍膜面正對(duì)陰極靶面,開啟陰極中頻或直流電源,待輝光穩(wěn)定后依次在基片表面上沉積內(nèi)氧化硅層、高紫外反射層、節(jié)能層、外氧化硅層;

(4)鍍膜結(jié)束后,所得產(chǎn)物經(jīng)過緩沖室、出膜室,制得用于飛機(jī)風(fēng)擋玻璃高紫外反射的節(jié)能薄膜。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于飛機(jī)風(fēng)擋玻璃高紫外反射的節(jié)能薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟(2)中,所述工藝氣體為氧氣或氮?dú)狻?/p>

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于飛機(jī)風(fēng)擋玻璃高紫外反射的節(jié)能薄膜的制備方法,其特征在于:在步驟(3)中,開啟陰極中頻或直流電源,恒電流方式,依據(jù)不同膜層,選擇不同電流大小,所述恒電流的范圍是2.5~40A。

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