本發(fā)明屬于精餾提純技術領域，涉及一種提純?nèi)葰涔璧南到y(tǒng)及其處理方法，尤其涉及一種利用四效耦合精餾提純?nèi)葰涔璧南到y(tǒng)及其處理方法。

背景技術：

多晶硅是硅產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈中的一個非常重要的中間產(chǎn)品，是制造硅拋光片、太陽能電池及高純硅制品的主要原料，是信息產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)最基礎的原材料。多晶硅按其純度劃分，可分為冶金級(亦即工業(yè)硅)、太陽能級和電子級。電子級多晶硅是單晶硅片的起始材料，是半導體材料中用量最大和用途最廣泛的材料，電子級多晶硅的純度要求雜質(zhì)級別為ppt級，純度越高其性能越好。多晶硅生產(chǎn)大多采用改良的西門子法，主要包括三氯氫硅合成、精餾提純、還原、尾氣回收和四氯化硅的氫化等環(huán)節(jié)，三氯氫硅(TCS)是改良西門子法的中間產(chǎn)物，其純度直接影響到多晶硅產(chǎn)品的純度，TCS的提純是多晶硅生產(chǎn)的關鍵環(huán)節(jié)。

傳統(tǒng)的精餾工藝中，精餾塔釜需要外界熱源如蒸汽或?qū)嵊吞峁┠芰?，塔頂蒸汽降溫需要冷卻水冷卻，TCS提純產(chǎn)品純度要求高，回流比大，理論板數(shù)高，其能耗問題更為突出。熱泵精餾技術通過對塔頂蒸汽加壓升溫與塔釜物料換熱，充分利用蒸汽潛熱；耦合精餾提純技術通過高壓塔塔頂蒸汽的潛熱對低壓塔塔釜物料進行換熱，節(jié)約外界熱源的同時也減少了冷卻介質(zhì)的消耗。

CN 102153092B公開了一種熱泵精餾與多效集成的三氯氫硅的提純裝置及工藝，采用的熱泵與雙效或三效精餾集成裝置提純?nèi)葰涔瑁哂泄?jié)能效果。雖然所述方法可以有效的達到節(jié)能效果，但是該方法所得產(chǎn)品三氯化硅的純度并未達到電子級別，也未能有效的解決原料的預熱問題。

因此，如何對現(xiàn)有技術進行優(yōu)化以制得電子級三氯氫硅，并對整體工藝內(nèi)的熱量進行耦合利用是需要解決的問題。

技術實現(xiàn)要素：

針對上述現(xiàn)有技術中存在的問題，本發(fā)明提供了一種利用四效耦合精餾提純?nèi)葰涔璧南到y(tǒng)及其處理方法。本發(fā)明采用四效耦合的精餾工藝，通過對工藝條件進行優(yōu)化，以獲得產(chǎn)品為電子級的三氯氫硅，其雜質(zhì)硼磷的含量均低于1ppb(wt)；并且整個工藝過程考慮了原料的預熱，對整體工藝內(nèi)的熱量耦合。

為達此目的，本發(fā)明采用以下技術方案：

第一方面，本發(fā)明提供了一種利用四效耦合精餾提純?nèi)葰涔璧南到y(tǒng)，所述第一脫輕塔、第一脫重塔、第二脫輕塔、第二脫重塔、進料預熱器、第一脫輕塔再沸器、第一脫重塔再沸器、第二脫輕塔再沸器、第二脫重塔再沸器和熱泵壓縮機；其中，第一脫輕塔的塔頂蒸汽出口依次經(jīng)熱泵壓縮機和第二脫重塔再沸器與輕雜儲罐相連，第一脫輕塔的塔底物料出口與第一脫重塔的進料口相連；第一脫重塔的塔頂蒸汽出口經(jīng)第一脫輕塔再沸器與第二脫輕塔的進料口相連；第二脫輕塔的塔頂蒸汽出口經(jīng)第一脫重塔再沸器與第一脫輕塔的進料口相連，第二脫輕塔的塔底物料出口與第二脫重塔的進料口相連；第二脫重塔的塔頂蒸汽出口依次經(jīng)第二脫輕塔再沸器和進料預熱器與產(chǎn)品儲罐相連，第二脫重塔的塔底物料出口與第一脫重塔的進料口相連。

以下作為本發(fā)明優(yōu)選的技術方案，但不作為本發(fā)明提供的技術方案的限制，通過以下技術方案，可以更好的達到和實現(xiàn)本發(fā)明的技術目的和有益效果。

作為本發(fā)明優(yōu)選的技術方案，所述第一脫輕塔的塔底物料出口經(jīng)第一脫輕塔再沸器與第一脫輕塔塔底再沸氣入口相連。即，第一脫輕塔塔底采出物料一部分作為再沸氣返回第一脫輕塔，一部分作為第一脫重塔的進料。

優(yōu)選地，所述第一脫重塔的塔底物料出口經(jīng)第一脫重塔再沸器與第一脫重塔塔底再沸氣入口相連；所述第一脫重塔的塔底物料出口與重雜儲罐相連。即，第一脫重塔的塔底采出物料一部分作為再沸氣返回第一脫重塔，一部分作為重雜采出。

優(yōu)選地，所述第二脫輕塔的塔底物料出口經(jīng)第二脫輕塔再沸器與第二脫輕塔塔底再沸氣入口相連。即，第二脫輕塔塔底采出物料一部分作為再沸氣返回第二脫輕塔，一部分作為第二脫重塔的進料。

優(yōu)選地，第二脫重塔的塔底物料出口經(jīng)第二脫重塔再沸器與第二脫重塔塔底再沸氣入口相連。即，第二脫重塔塔底采出物料一部分作為再沸氣返回第二脫重塔，一部分作為第一脫重塔的進料。

本發(fā)明所述系統(tǒng)將第一脫重塔的塔頂蒸汽用于加熱第一脫輕塔的塔釜物料，第二脫輕塔的塔頂蒸汽用于加熱第一脫重塔的塔釜物料，第二脫重塔的塔頂蒸汽用于加熱第二脫輕塔塔釜物料并預熱第一脫輕塔的進料；同時，將第一脫輕塔塔頂蒸汽通過熱泵壓縮機升壓升溫后用于加熱第二脫重塔塔釜物料，整個工藝流程充分利用了精餾系統(tǒng)內(nèi)部的熱量，節(jié)約了蒸汽和冷卻水的消耗，同時也降低了裝置成本。

第二方面，本發(fā)明提供了一種利用四效耦合精餾提純?nèi)葰涔璧姆椒?，所述方法為?/p>

待處理原料經(jīng)第一脫輕塔進行第一次脫輕處理，得到的塔頂輕組分依次經(jīng)熱泵壓縮機加熱升溫，并在第二脫重塔再沸器與第二脫重塔塔底物料換熱后作為輕雜采出，得到的重組分一部分作為再沸氣返回，一部分進入第一脫重塔進行第一次脫重處理；

第一次脫重處理得到的塔頂輕組分作為第一脫輕塔再沸器的熱源換熱后進入第二脫輕塔進行第二次脫輕處理，第一次脫重處理得到的塔底重組分一部分作為再沸氣返回，一部分作為重雜采出。

第二脫輕塔中的物料經(jīng)第二次脫輕處理采出的塔頂輕組分經(jīng)第二脫輕塔再沸器降溫后作為原料返回第一脫輕塔，第二次脫輕處理采出的塔釜重組分一部分作為再沸氣返回，一部分進入第二脫重塔進行第二次脫重處理。

第二脫重塔中的物料經(jīng)第二次脫重處理采出的塔頂輕組組分經(jīng)第二脫輕塔再沸器降溫后作為熱源為進料預熱器供熱后作為三氯氫硅產(chǎn)品采出，第二脫重塔中的塔底物料一部分作為再沸氣返回，一部分返回第一脫輕塔作為進料參與反應。

作為本發(fā)明優(yōu)選的技術方案，所述第一脫輕塔的塔頂溫度為40～50℃，例如40℃、42℃、44℃、46℃、48℃或50℃等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為43～45℃。

優(yōu)選地，所述第一脫輕塔的塔釜溫度為55～65℃，例如55℃、57℃、60℃、63℃或65℃等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為57～60℃。

作為本發(fā)明優(yōu)選的技術方案，所述第一脫輕塔的塔頂壓力為200～400kPa，例如200kPa、230kPa、250kPa、270kPa、300kPa、330kPa、350kPa、370kPa或400kPa等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為250～300kPa。

優(yōu)選地，所述第一脫輕塔全塔的壓力降小于30kPa，例如27kPa、25kPa、23kPa、20kPa、17kPa或15kPa等以及更小的壓力值，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。

優(yōu)選地，所述第一脫輕塔的塔頂輕組分一部分返回塔頂回流，其回流進料比為1.0～5.0，例如1.0、2.0、3.0、4.0或5.0等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為3.0～4.0。

作為本發(fā)明優(yōu)選的技術方案，所述第一脫重塔的塔頂溫度為60～70℃，例如60℃、62℃、64℃、66℃、68℃或70℃等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為63～65℃。

優(yōu)選地，所述第一脫重塔的塔釜溫度為70～80℃，例如70℃、72℃、74℃、76℃、78℃或80等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為73～75℃。

作為本發(fā)明優(yōu)選的技術方案，所述第一脫重塔的塔頂壓力為300～500kPa，例如300kPa、330kPa、350kPa、370kPa、400kPa、430kPa、450kPa、470kPa或500kPa等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為350～400kPa。

優(yōu)選地，所述第一脫重塔全塔的壓力降小于30kPa，例如27kPa、25kPa、23kPa、20kPa、17kPa或15kPa等以及更小的壓力值，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。

優(yōu)選地，所述第一脫重塔的塔頂輕組分一部分返回塔頂回流，其回流進料比為1.0～5.0，例如1.0、2.0、3.0、4.0或5.0等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為3.0～4.0。

作為本發(fā)明優(yōu)選的技術方案，所述第二脫輕塔的塔頂溫度為75～85℃，例如75℃、77℃、80℃、83℃或85℃等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為77～80℃。

優(yōu)選地，所述第二脫輕塔的塔釜溫度為85～100℃，例如85℃、87℃、90℃、93℃、95℃、97℃或100℃等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為90～95℃。

優(yōu)選地，所述第二脫輕塔的塔頂壓力為400～600kPa，例如400kPa、430kPa、450kPa、470kPa、500kPa、530kPa、550kPa、570kPa或600kPa等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為450～500kPa。

優(yōu)選地，所述第二脫輕塔全塔的壓力降小于50kPa，例如49kPa、45kPa、40kPa、35kPa、30kPa、25kPa或20kPa等以及更小壓力值，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。

優(yōu)選地，所述第二脫輕塔的塔頂輕組分一部分返回塔頂回流，其回流進料比為5.0～10.0，例如5.0、6.0、7.0、8.0、9.0或10.0等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為7.0～8.0。

作為本發(fā)明優(yōu)選的技術方案，所述第二脫重塔的塔頂溫度為90～110℃，例如90℃、93℃、95℃、97℃、100℃、103℃、105℃、107℃或110℃等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為95～100℃。

優(yōu)選地，所述第二脫重塔的塔釜溫度為100～120℃，103℃、105℃、107℃、110℃、113℃、115℃、117℃或120℃等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為105～110℃。

優(yōu)選地，所述第二脫重塔的塔頂壓力為700～900kPa，例如700kPa、750kPa、800kPa、850kPa、900kPa等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為750～800kPa。

優(yōu)選地，所述第二脫重塔的全塔壓力降小于50kPa，例如49kPa、45kPa、40kPa、35kPa、30kPa、25kPa或20kPa等以及更小壓力值，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。

優(yōu)選地，所述第二脫重塔的塔頂輕組分一部分返回塔頂回流，其回流進料比為5.0～10.0，例如5.0、6.0、7.0、8.0、9.0或10.0等，但并不僅限于所列舉的數(shù)值，該數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用，進一步優(yōu)選為7.0～8.0。

作為本發(fā)明優(yōu)選的技術方案，所述三氯氫硅產(chǎn)品為電子級三氯氫硅，其產(chǎn)品純度為9N以上，硼磷雜質(zhì)含量低于1ppb(wt)。

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明具有以下有益效果：

(1)本發(fā)明所述系統(tǒng)將第一脫輕塔、第一脫重塔、第二脫輕塔和第二脫重塔的塔頂蒸汽中的熱量進行充分的回收利用，整個工藝流程充分利用了精餾系統(tǒng)內(nèi)部的熱量，節(jié)約了蒸汽和冷卻水的消耗，同時也降低了裝置成本；

(2)本發(fā)明采用四效耦合的精餾工藝，通過對工藝條件進行優(yōu)化(如精餾塔溫度、壓力以及塔壓降)，以獲得產(chǎn)品為電子級的三氯氫硅，其雜質(zhì)硼磷的含量均低于1ppb(wt)；并且整個工藝過程考慮了原料的預熱，對整體工藝內(nèi)的熱量耦合；

(3)本發(fā)明所述系統(tǒng)中的四個精餾塔采用高效規(guī)整填料，全塔壓降小，塔頂塔底溫差小，有利于實現(xiàn)四效耦合提純?nèi)葰涔璁a(chǎn)品。

附圖說明

圖1是本發(fā)明所述利用四效耦合精餾提純?nèi)葰涔璧南到y(tǒng)的結構示意圖；

其中，1-第一脫輕塔，2-第一脫重塔，3-第二脫輕塔，4-第二脫重塔，5-進料預熱器，6-第一脫輕塔再沸器，7-第一脫重塔再沸器，8-第二脫輕塔再沸器，9-第二脫重塔再沸器，10-熱泵壓縮機。

具體實施方式

為更好地說明本發(fā)明，便于理解本發(fā)明的技術方案，下面對本發(fā)明進一步詳細說明。但下述的實施例僅僅是本發(fā)明的簡易例子，并不代表或限制本發(fā)明的權利保護范圍，本發(fā)明保護范圍以權利要求書為準。

如圖1所示，本發(fā)明具體實施例部分提供了一種利用四效耦合精餾提純?nèi)葰涔璧南到y(tǒng)，其特征在于，所述第一脫輕塔1、第一脫重塔2、第二脫輕塔3、第二脫重塔4、進料預熱器5、第一脫輕塔再沸器6、第一脫重塔再沸器7、第二脫輕塔再沸器8、第二脫重塔再沸器9和熱泵壓縮機10；其中，第一脫輕塔1的塔頂蒸汽出口依次經(jīng)熱泵壓縮機10和第二脫重塔再沸器9與輕雜儲罐相連，第一脫輕塔1的塔底物料出口與第一脫重塔2的進料口相連；第一脫重塔2的塔頂蒸汽出口經(jīng)第一脫輕塔再沸器6與第二脫輕塔3的進料口相連；第二脫輕塔3的塔頂蒸汽出口經(jīng)第一脫重塔再沸器7與第一脫輕塔1的進料口相連，第二脫輕塔3的塔底物料出口與第二脫重塔4的進料口相連；第二脫重塔4的塔頂蒸汽出口依次經(jīng)第二脫輕塔再沸器8和進料預熱器5與產(chǎn)品儲罐相連，第二脫重塔4的塔底物料出口與第一脫重塔2的進料口相連。

以下為本發(fā)明典型但非限制性實施例：

實施例1：

本實施例提供了一種利用四效耦合精餾提純?nèi)葰涔璧南到y(tǒng)，其特征在于，所述第一脫輕塔1、第一脫重塔2、第二脫輕塔3、第二脫重塔4、進料預熱器5、第一脫輕塔再沸器6、第一脫重塔再沸器7、第二脫輕塔再沸器8、第二脫重塔再沸器9和熱泵壓縮機10；其中，第一脫輕塔1的塔頂蒸汽出口依次經(jīng)熱泵壓縮機10和第二脫重塔再沸器9與輕雜儲罐相連，第一脫輕塔1的塔底物料出口與第一脫重塔2的進料口相連；第一脫重塔2的塔頂蒸汽出口經(jīng)第一脫輕塔再沸器6與第二脫輕塔3的進料口相連；第二脫輕塔3的塔頂蒸汽出口經(jīng)第一脫重塔再沸器7與第一脫輕塔1的進料口相連，第二脫輕塔3的塔底物料出口與第二脫重塔4的進料口相連；第二脫重塔4的塔頂蒸汽出口依次經(jīng)第二脫輕塔再沸器8和進料預熱器5與產(chǎn)品儲罐相連，第二脫重塔4的塔底物料出口與第一脫重塔2的進料口相連。

其中，所述第一脫輕塔1的塔底物料出口經(jīng)第一脫輕塔再沸器6與第一脫輕塔1塔底再沸氣入口相連；所述第一脫重塔2的塔底物料出口經(jīng)第一脫重塔再沸器7與第一脫重塔2塔底再沸氣入口相連；所述第一脫重塔2的塔底物料出口與重雜儲罐相連；所述第二脫輕塔3的塔底物料出口經(jīng)第二脫輕塔再沸器8與第二脫輕塔3塔底再沸氣入口相連；第二脫重塔4的塔底物料出口經(jīng)第二脫重塔再沸器9與第二脫重塔4塔底再沸氣入口相連。

實施例2：

本實施例提供了實施例1中所述系統(tǒng)的處理方法，所述方法如下：

待處理原料經(jīng)第一脫輕塔1進行第一次脫輕處理，得到的塔頂輕組分依次經(jīng)熱泵壓縮機10加熱升溫，并在第二脫重塔再沸器9與第二脫重塔4塔底物料換熱后作為輕雜采出，得到的重組分一部分作為再沸氣返回，一部分進入第一脫重塔2進行第一次脫重處理；

其中，所述第一脫輕塔1的塔頂溫度為43～45℃，塔釜溫度為57～60℃，塔頂壓力為250～270kPa，第一脫輕塔1全塔的壓力降小于30kPa，其回流進料比為3.0～4.0。

第一次脫重處理得到的塔頂輕組分作為第一脫輕塔再沸器6的熱源換熱后進入第二脫輕塔3進行第二次脫輕處理，第一次脫重處理得到的塔底重組分一部分作為再沸氣返回，一部分作為重雜采出；

其中，所述第一脫重塔2的塔頂溫度為63～65℃，塔釜溫度為73～75℃，塔頂壓力為350～370kPa，全塔的壓力降小于30kPa，回流進料比為3.0～4.0。

第二脫輕塔3中的物料經(jīng)第二次脫輕處理采出的塔頂輕組分經(jīng)第二脫輕塔再沸器8降溫后作為原料返回第一脫輕塔1，第二次脫輕處理采出的塔釜重組分一部分作為再沸氣返回，一部分進入第二脫重塔4進行第二次脫重處理；

其中，所述第二脫輕塔3的塔頂溫度77～80℃，塔釜溫度為90～95℃，塔頂壓力為450～470kPa，全塔的壓力降小于50kPa，回流進料比為7.0～8.0。

第二脫重塔4中的物料經(jīng)第二次脫重處理采出的塔頂輕組組分經(jīng)第二脫輕塔再沸器8降溫后作為熱源為進料預熱器5供熱后作為三氯氫硅產(chǎn)品采出，第二脫重塔4中的塔底物料一部分作為再沸氣返回，一部分返回第一脫輕塔1作為進料參與反應；

其中，第二脫重塔4的塔頂溫度為95～100℃，塔釜溫度為105～110℃，塔釜溫度為750～770kPa，全塔壓力降小于50kPa，回流進料比為7.0～8.0。

本實施例制得的三氯氫硅產(chǎn)品為電子級三氯氫硅，其產(chǎn)品純度為9N以上，硼磷雜質(zhì)含量低于1ppb(wt)。

實施例3：

本實施例提供了實施例1中所述系統(tǒng)的處理方法，所述方法除了所述第一脫輕塔1的塔頂溫度為40～43℃，塔釜溫度為55～57℃，塔頂壓力為200～230kPa，第一脫輕塔1全塔的壓力降小于20kPa，其回流進料比為1.0～2.0；所述第一脫重塔2的塔頂溫度為60～63℃，塔釜溫度為70～73℃，塔頂壓力為300～330kPa，全塔的壓力降小于20kPa，回流進料比為1.0～2.0；所述第二脫輕塔3的塔頂溫度75～77℃，塔釜溫度為85～87℃，塔頂壓力為400～430kPa，全塔的壓力降小于50kPa，回流進料比為5.0～6.0；第二脫重塔4的塔頂溫度為90～93℃，塔釜溫度為100～103℃，塔釜溫度為700～730kPa，全塔壓力降小于40kPa，回流進料比為5.0～6.0外，其他物料用量與制備過程均與實施例2中相同。

本實施例制得的三氯氫硅產(chǎn)品為電子級三氯氫硅，其產(chǎn)品純度為9N以上，硼磷雜質(zhì)含量低于1ppb(wt)。

實施例4：

本實施例提供了實施例1中所述系統(tǒng)的處理方法，所述方法除了所述第一脫輕塔1的塔頂溫度為48～50℃，塔釜溫度為63～65℃，塔頂壓力為300～330kPa，第一脫輕塔1全塔的壓力降小于20kPa，其回流進料比為4.0～5.0；所述第一脫重塔2的塔頂溫度為68～70℃，塔釜溫度為78～80℃，塔頂壓力為380～400kPa，全塔的壓力降小于30kPa，回流進料比為4.0～5.0；所述第二脫輕塔3的塔頂溫度83～℃，塔釜溫度為83～85℃，塔頂壓力為570～600kPa，全塔的壓力降小于50kPa，回流進料比為9.0～10.0；第二脫重塔4的塔頂溫度為107～110℃，塔釜溫度為115～120℃，塔釜溫度為780～800kPa，全塔壓力降小于50kPa，回流進料比為9～10，其他物料用量與制備過程均與實施例2中相同。

本實施例制得的三氯氫硅產(chǎn)品為電子級三氯氫硅，其產(chǎn)品純度為9N以上，硼磷雜質(zhì)含量低于1ppb(wt)。

綜合實施例1-4的結果可以看出，本發(fā)明所述系統(tǒng)將第一脫輕塔、第一脫重塔、第二脫輕塔和第二脫重塔的塔頂蒸汽中的熱量進行充分的回收利用，整個工藝流程充分利用了精餾系統(tǒng)內(nèi)部的熱量，節(jié)約了蒸汽和冷卻水的消耗，同時也降低了裝置成本；本發(fā)明采用四效耦合的精餾工藝，通過對工藝條件進行優(yōu)化(如精餾塔溫度、壓力以及塔壓降)，以獲得產(chǎn)品為電子級的三氯氫硅，其雜質(zhì)硼磷的含量均低于1ppb(wt)；并且整個工藝過程考慮了原料的預熱，對整體工藝內(nèi)的熱量耦合；本發(fā)明所述系統(tǒng)中的四個精餾塔采用高效規(guī)整填料，全塔壓降小，塔頂塔底溫差小，有利于實現(xiàn)四效耦合提純?nèi)葰涔璁a(chǎn)品。