本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料加工領(lǐng)域，尤其涉及一種用于單晶爐體的電極及其使用方法。本發(fā)明適用于單晶爐使用，還適用于多晶爐、擴(kuò)散爐、退火爐、合成爐、氧化爐等采用電極加熱的工業(yè)裝備或設(shè)備。

背景技術(shù)：

近年來，隨著國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，對半導(dǎo)體材料的質(zhì)量也提出了更加嚴(yán)格的要求，特別是對單晶產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)設(shè)備的要求。目前國內(nèi)各類單晶生產(chǎn)企業(yè)較多，現(xiàn)有單晶生產(chǎn)所用電極的機(jī)構(gòu)主要是利用鋼筋對電極固定片進(jìn)行焊接，從而使電極固定片與電極、隔緣片、爐體一同固定。當(dāng)需要更換電極、電極固定片或隔緣片時，通常采用切割鋼筋的方式進(jìn)行拆卸，這種方式不方便零部件的更換，而且增加了生產(chǎn)成本，不能達(dá)到及時更換的效果，從而影響單晶生產(chǎn)的效率。另外采用現(xiàn)有電極結(jié)構(gòu)，在運(yùn)輸過程中，容易造成電極受外力碰撞，造成爐內(nèi)部的擠壓，導(dǎo)致電熱絲偏移、變形，在通電過程中造成電熱絲變軟，受損等現(xiàn)象，影響爐體的正常使用。有些單晶生產(chǎn)企業(yè)不采用焊接固定電極的方式，直接將電極與爐體簡單處理，對爐體內(nèi)各部件易造成損失，從而增加了生產(chǎn)成本，制約了單晶生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)展。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有技術(shù)中電極固定方式存在的不足，本發(fā)明的目的在于：提供一種用于單晶爐體的電極及其使用方法，其具有：結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)計(jì)合理、使用方便、便于更換、可有效提高安裝效率，生產(chǎn)及維護(hù)成本低等優(yōu)點(diǎn)。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種用于單晶爐體的電極，該電極包括電極本體、隔緣片和電極固定片，其中，電極本體一部分設(shè)置在爐體內(nèi)，另一部分伸出爐體外；隔緣片固定設(shè)置在爐體上并與伸出爐體外的電極本體垂直相連；電極固定片上設(shè)置有一個豎向條形調(diào)節(jié)孔，所述電極本體上設(shè)置有與所述條形調(diào)節(jié)孔相適配的安裝孔，通過穿設(shè)于豎向條形調(diào)節(jié)孔和安裝孔的螺栓將其與電極本體、隔緣片三者緊固。

作為上述方案的進(jìn)一步優(yōu)化，所述電極固定片與電極本體平行設(shè)置，且電極本體和電極固定片兩者之一上設(shè)置有橫向、豎向或者斜向齒紋，另一者上設(shè)置有可與橫向、豎向或者斜向齒紋相嚙合的齒紋。

作為上述方案的進(jìn)一步優(yōu)化，所述螺栓包括端頭部和螺紋部，該端頭部與電極固定片接觸的部位設(shè)置有防滑部，該防滑部的橫截面為三角形齒狀。

作為上述方案的進(jìn)一步優(yōu)化，所述電極固定片上設(shè)置有插接部，所述隔緣片上設(shè)置有與插接部相配合的凹槽部；所述插接部為舌型插接部、楔形插接部或者梯形插接部。

本申請上述一種用于單晶爐體的電極的使用方法包括如下步驟：

1)將隔緣片通過可拆卸連接地方式固定在單晶爐體上；

2)將電極本體一部分安裝在單晶爐體內(nèi)，另一部分安裝在單晶爐體外，其中安裝在單晶爐體外的電極本體與隔緣片垂直相連；

3)將電極固定片上的條形調(diào)節(jié)孔與安裝孔的位置相對應(yīng)，再將螺栓依次穿設(shè)條形調(diào)節(jié)孔和安裝孔，通過上下移動電極固定片使得電極固定片與隔緣片相接觸，最后旋緊螺栓使得電極本體、隔緣片、電極固定片三者緊固連接；

4)當(dāng)需要更換電極時，通過旋擰螺栓使得電極本體、隔緣片、電極固定片三者分離，對相應(yīng)的被更換部件進(jìn)行更換，再重復(fù)上述步驟1)-3)安裝電極。

本發(fā)明存在如下有益效果：操作簡單，方便部件的及時更換，節(jié)約生產(chǎn)成本?？梢栽跔t體運(yùn)輸過程中，避免電極受外力碰撞向爐體內(nèi)部擠壓，造成加熱絲偏移，變形；在通電加熱過程中，爐體內(nèi)的加熱絲隨著溫度的提升而變軟，可以避免連接電極的電纜或鋁排向爐體內(nèi)部的擠壓，造成加熱絲在加溫過程中偏移﹑變形﹑受損，從而影響到爐體的正常使用。使用該電極可以避免在運(yùn)輸和使用過程中由于外力造成的損傷，保護(hù)爐體的正常使用。還具有廣泛的適用性，不僅適用于單晶爐使用，還適用于多晶爐、擴(kuò)散爐、退火爐、合成爐、氧化爐等采用電極加熱的工業(yè)裝備或設(shè)備。

附圖說明

附圖1為本發(fā)明一種用于單晶爐體的電極的主視結(jié)構(gòu)圖。

附圖2為本發(fā)明一種用于單晶爐體的電極的側(cè)視結(jié)構(gòu)圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖1-2對本發(fā)明一種用于單晶爐體的電極及其使用方法作以詳細(xì)說明。

一種用于單晶爐體的電極，該電極包括電極本體1、隔緣片2和電極固定片3，其中，電極本體一部分設(shè)置在爐體4內(nèi)，另一部分伸出爐體外；隔緣片固定設(shè)置在爐體上并與伸出爐體外的電極本體垂直相連；電極固定片上設(shè)置有一個豎向條形調(diào)節(jié)孔5，所述電極本體上設(shè)置有與所述條形調(diào)節(jié)孔相適配的安裝孔6，通過穿設(shè)于豎向條形調(diào)節(jié)孔和安裝孔的螺栓7將其與電極本體、隔緣片三者緊固。所述電極固定片與電極本體平行設(shè)置，且電極本體和電極固定片兩者之一上設(shè)置有橫向、豎向或者斜向齒紋，另一者上設(shè)置有可與橫向、豎向或者斜向齒紋相嚙合的齒紋。所述螺栓包括端頭部和螺紋部，該端頭部與電極固定片接觸的部位設(shè)置有防滑部，該防滑部的橫截面為三角形齒狀。所述電極固定片上設(shè)置有插接部，所述隔緣片上設(shè)置有與插接部相配合的凹槽部；所述插接部為舌型插接部、楔形插接部或者梯形插接部。

本發(fā)明上述一種用于單晶爐體的電極的使用方法包括如下步驟：

1)將隔緣片通過可拆卸連接地方式固定在單晶爐體上；

2)將電極本體一部分安裝在單晶爐體內(nèi)，另一部分安裝在單晶爐體外，其中安裝在單晶爐體外的電極本體與隔緣片垂直相連；

3)將電極固定片上的條形調(diào)節(jié)孔與安裝孔的位置相對應(yīng)，再將螺栓依次穿設(shè)條形調(diào)節(jié)孔和安裝孔，通過上下移動電極固定片使得電極固定片與隔緣片相接觸，最后旋緊螺栓使得電極本體、隔緣片、電極固定片三者緊固連接；

4)當(dāng)需要更換電極時，通過旋擰螺栓使得電極本體、隔緣片、電極固定片三者分離，對相應(yīng)的被更換部件進(jìn)行更換，再重復(fù)上述步驟1)-3)安裝電極。

本發(fā)明除了在本實(shí)施例中用于單晶爐使用，還用于了多晶爐、擴(kuò)散爐、退火爐、合成爐、氧化爐等多種采用電極加熱的工業(yè)裝備或設(shè)備，均取得了很好的效果。

上述的對實(shí)施例的描述是為便于該技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能理解和應(yīng)用本發(fā)明。熟悉本領(lǐng)域技術(shù)的人員顯然可以容易地對這些實(shí)施例做出各種修改，并把在此說明的一般原理應(yīng)用到其他實(shí)施例中而不必經(jīng)過創(chuàng)造性的勞動。因此，本發(fā)明不限于這里的實(shí)施例，本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明的揭示，不脫離本發(fā)明范疇所做出的改進(jìn)和修改都應(yīng)該在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。