技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了在經(jīng)調(diào)節(jié)壓力下使用氦的高溫工藝改進(jìn)。具體地，本發(fā)明涉及一種用于在用于處理材料諸如生長晶體的真空熔爐中減少多余的輔助反應(yīng)的方法。該工藝在熔爐腔室環(huán)境中執(zhí)行，其中容許氦氣以用于沖除雜質(zhì)的流率并且以用于在熱區(qū)中實現(xiàn)熱穩(wěn)定性的預(yù)定壓力進(jìn)入熔爐腔室，以減小熱流變化并且減小熱區(qū)中的溫度梯度。在冷卻期間，使用氦壓力來降低熱梯度從而增加冷卻速率。

技術(shù)研發(fā)人員：弗雷德里克·施密德;大衛(wèi)·B·喬伊斯;約翰·布羅萊特;丹尼爾·P·貝迪;萊安·費爾伯特
受保護(hù)的技術(shù)使用者：GTAT公司
技術(shù)研發(fā)日：2010.09.01
技術(shù)公布日：2017.07.14