本實用新型涉及晶體生長裝置領域,具體涉及一種藍寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機構。
背景技術:
籽晶夾具是藍寶石長晶制造的過程中一種重要而且是必需的部件,籽晶從最開始長晶準備工序到最終的長晶結(jié)束退火階段需要被很好地固定到籽晶夾具中,確保在制備過程中籽晶不會脫落掉入熔湯,最終順利完成藍寶石單晶的生長。目前常用的籽晶夾具多為捆綁式籽晶夾具,籽晶為長方體,在長方體一側(cè)開有多個凹槽,籽晶半嵌于籽晶夾具的下端,用鎢錸絲通過籽晶的凹槽以及籽晶夾具從而纏繞捆綁固定在一起。
這種捆綁式夾存在不足之處:其一,由于藍寶石長晶是在長時間高溫環(huán)境下進行,這樣使捆綁籽晶的鎢錸絲容易斷裂,使籽晶脫落掉入熔體;其二,采用人工捆綁,捆綁的質(zhì)量好壞不易控制;其三,當藍寶石晶體后期生長的晶體過重時,籽晶也容易在缺口的地方斷裂。
技術實現(xiàn)要素:
本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術中存在的上述問題,提供一種藍寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機構,無需在籽晶上開設凹槽即可對其進行有效夾持。
為實現(xiàn)上述技術目的,達到上述技術效果,本實用新型是通過以下技術方案實現(xiàn):
一種藍寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機構,包括套筒,所述套筒的下部設有用于卡接籽晶的凹槽,所述籽晶與套筒相抵的上端面為光滑面,所述套筒的上部設有至少一個與凹槽連通的負壓通孔,所述負壓通孔的上端口外設有負壓吸附組件;所述負壓吸附組件包括加熱套,所述加熱套內(nèi)裝設有受熱體積會變大的膨脹微球,所述加熱套的底部設有與負壓通孔所在區(qū)域面積配合的開口,側(cè)部設有單向氣閥,所述單向氣閥只能由加熱套內(nèi)部向外部排出氣體。
進一步地,所述套筒的外側(cè)設有轉(zhuǎn)動套。
進一步地,所述負壓通孔的直徑為1-3mm。
進一步地,所述膨脹微球的外殼是由丙烯睛共聚物支撐,內(nèi)部填充有易氣化的液態(tài)碳氫化合物。
進一步地,所述套筒為鉬筒。
本實用新型的有益效果是:
本實用新型結(jié)構簡單,利用負壓吸附組件對籽晶進行夾持,夾持效果安全可靠,無需在籽晶上開設凹槽,避免晶體后期因生長過重容易在缺口的地方斷裂情況的發(fā)生,保障了晶體生長的順利進行。
當然,實施本實用新型的任一產(chǎn)品并不一定需要同時達到以上所述的所有優(yōu)點。
附圖說明
為了更清楚地說明本實用新型實施例的技術方案,下面將對實施例描述所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為本實用新型所述藍寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機構的結(jié)構示意圖;
圖2為圖1中A處的局部放大示意圖;
附圖中,各標號所代表的部件列表如下:
1-套筒,2-籽晶,3-轉(zhuǎn)動套,4-負壓通孔,5-負壓吸附組件,501-加熱套,502-膨脹微球,503-開口,504-單向氣閥。
具體實施方式
下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
請參閱圖1-2所示,本實用新型為一種藍寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機構,包括套筒1,套筒1的下部設有用于卡接籽晶2的凹槽,籽晶2與套筒1相抵的上端面為光滑面,套筒1的上部設有至少一個與凹槽連通的負壓通孔4,負壓通孔4的上端口外設有負壓吸附組件5;負壓吸附組件5包括加熱套501,加熱套501內(nèi)裝設有受熱體積會變大的膨脹微球502,加熱套501的底部設有與負壓通孔4所在區(qū)域面積配合的開口503,側(cè)部設有單向氣閥504,單向氣閥504只能由加熱套501內(nèi)部向外部排出氣體。
其中,套筒1的外側(cè)設有轉(zhuǎn)動套3。
其中,負壓通孔4的直徑為1-3mm。
其中,膨脹微球501的外殼是由丙烯睛共聚物支撐,內(nèi)部填充有易氣化的液態(tài)碳氫化合物。
其中,套筒1為鉬筒。
本實施例的一個具體應用為:使用時,先將籽晶2光滑部插入套筒1的凹槽并保持緊密抵觸,然后對負壓吸附組件5的加熱套501進行加熱,膨脹微球502內(nèi)部的液態(tài)碳氫化合物受熱氣化,加熱套501內(nèi)部“高壓”氣體從單向氣閥504排出,而后加熱套501受冷或自然冷卻,負壓通孔4下端口利用內(nèi)部負壓牢牢吸附籽晶2,實現(xiàn)對籽晶2的有效夾持,而后利用轉(zhuǎn)動套3可進一步實現(xiàn)籽晶2的轉(zhuǎn)動等工序。
在本說明書的描述中,參考術語“一個實施例”、“示例”、“具體示例”等的描述意指結(jié)合該實施例或示例描述的具體特征、結(jié)構、材料過著特點包含于本實用新型的至少一個實施例或示例中。在本說明書中,對上述術語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且,描述的具體特征、結(jié)構、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結(jié)合。
以上公開的本實用新型優(yōu)選實施例只是用于幫助闡述本實用新型。優(yōu)選實施例并沒有詳盡敘述所有的細節(jié),也不限制該實用新型僅為所述的具體實施方式。顯然,根據(jù)本說明書的內(nèi)容,可作很多的修改和變化。本說明書選取并具體描述這些實施例,是為了更好地解釋本實用新型的原理和實際應用,從而使所屬技術領域技術人員能很好地理解和利用本實用新型。本實用新型僅受權利要求書及其全部范圍和等效物的限制。