1.一種多坩堝液相外延SiC晶體的承載裝置,其特征在于:具體結(jié)構(gòu)如下:
包括腔體(1),所述腔體(1)內(nèi)設(shè)置有至少兩個坩堝(2),所述坩堝(2)底部外側(cè)連接有石墨繩(3),所述的坩堝(2)底部連接有SiC籽晶(4),所述坩堝為石墨坩堝。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載裝置,其特征在于:所述的腔體(1)底部設(shè)置有轉(zhuǎn)軸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的承載裝置,其特征在于:所述的坩堝(2)沿腔體(1)外壁四周環(huán)繞設(shè)置。