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臥式分體式硅料酸洗除雜裝置的制作方法

文檔序號:12520365閱讀:247來源:國知局
臥式分體式硅料酸洗除雜裝置的制作方法

本實用新型涉及工程機械技術領域,尤其涉及一種臥式分體式硅料酸洗除雜裝置。



背景技術:

制備單晶硅所用到的原料為硅料。由于硅料中含有金屬和金屬氧化物等雜質,在制備單晶硅的過程中,會影響單晶硅的純度。因此需要對硅料進行酸洗,去除硅料中的雜質。傳統(tǒng)的硅料酸洗除雜是將硅料放入含酸液的酸洗池中靜止浸泡,這種方法是最簡易且節(jié)約成本的方式。但靜止過程中硅料的表面和酸反應、酸的處理能力需要長時間慢慢釋放。為了減少酸洗時間,一般會在酸洗池中增加攪拌裝置攪拌酸液,縮短浸泡時間并能起到均勻處理的作用?,F(xiàn)有技術的硅料酸洗設備是立式結構,攪拌裝置插入盛酸和硅料的料斗中進行攪拌。酸洗完成后,將酸排出料斗,然后再將硅料從料斗中取出。這種立式酸洗裝置存在以下問題:1. 經過酸洗的硅料取出過程效率低下,影響硅料酸洗時間;2. 攪拌裝置攪拌不充分,導致硅料酸洗不均勻;3. 攪拌過程阻力大,攪拌裝置的功耗大。



技術實現(xiàn)要素:

有鑒于此,有必要提供一種結構簡單、高效的臥式分體式硅料酸洗除雜裝置。

一種臥式分體式硅料酸洗除雜裝置,包括雙用料斗、攪拌裝置、驅動裝置、環(huán)保罩,雙用料斗的上端的開口與環(huán)保罩下端的開口相對應,以使環(huán)保罩下端與雙用料斗的上端接觸后,由雙用料斗與環(huán)保罩構成的圓柱狀的攪拌空間內,攪拌裝置的一端穿過環(huán)保罩的側壁與驅動裝置的一端固定連接;所述雙用料斗的上端敞開且開口呈矩形,雙用料斗包括酸水洗槽、吊裝濾袋、支撐架、行走輪,吊裝濾袋設置在酸水洗槽中,支撐架的上端與酸水洗槽的下端固定連接,支撐架的下端設置行走輪,以方便雙用料斗移動,酸水洗槽和吊裝濾袋為相匹配的半圓柱形,酸水洗槽和吊裝濾袋的上端的開口為矩形,吊裝濾袋的上端設置吊耳,以使外界的起吊設備將吊裝濾袋吊離開;所述攪拌裝置包括攪拌轉軸、攪拌葉片,攪拌轉軸設置在雙用料斗與環(huán)保罩構成的圓柱狀的攪拌空間的軸線上,攪拌葉片的一端與攪拌轉軸固定連接,攪拌葉片的延長線垂直指向攪拌轉軸的軸線;環(huán)保罩的頂端設置廢氣排放口,廢氣排放口與外界的廢氣管道密封連接,以防止腐蝕性的廢氣污染環(huán)境,環(huán)保罩固定在外界車間的屋頂或者地面上。

優(yōu)選的,所述攪拌葉片為桿狀,攪拌葉片的頂端為楔形且水平方向設置兩個攪拌頭,且將攪拌葉片分排沿著攪拌轉軸的延伸方向排列設置,每排中的攪拌葉片數(shù)量相同,同一排中的攪拌葉片的長度相同,相鄰排中的攪拌葉片的長度不同,以對硅料進行分層攪拌,排與排之間的間距相同,相鄰兩排錯開排布,每排至少設置一個攪拌葉片,同一排的攪拌葉片的間距相同;相鄰排的攪拌葉片的頂端的楔形角度相差15度。

優(yōu)選的,所述攪拌葉片均與攪拌轉軸的上半圓柱體面固定連接,在將雙用料斗從環(huán)保罩下移出時,所述攪拌裝置的攪拌葉片位于環(huán)保罩所圍成的空間內,使得雙用料斗不受攪拌葉片的阻擋而順利移出。

優(yōu)選的,所述酸水洗槽的底部設置排液槽,排液槽的上方設置支撐格柵,排液槽的底部設置排液口,排液口上設置排液閥門,當酸水洗槽需要排液時,打開排液閥門。

優(yōu)選的,所述驅動裝置包括電機、電機罩、電機支架,電機的下端與電機支架的上端固定連接,電機罩設置在電機支架上并將電機罩住,電機的轉軸穿過環(huán)保罩與攪拌裝置固定連接。

優(yōu)選的,所述環(huán)保罩的側壁上設置觀察窗,以隨時查看攪拌裝置的運行情況。

優(yōu)選的,所述環(huán)保罩的側壁上設置進酸口,以方便向臥式分體式硅料酸洗除雜裝置內加酸液。

優(yōu)選的,所述環(huán)保罩的下方的地面上設置導軌,導軌上設置定位塊,以使雙用料斗停止行進后其上端的開口與環(huán)保罩的下端的開口相對應,行走輪沿著導軌行進,行走輪觸碰到定位塊時停止行進。

優(yōu)選的,設置五排攪拌葉片,其中第三排的攪拌葉片的長度是900mm,第二排中的攪拌葉片及第四排的攪拌葉片的長度均為750mm,第一排的攪拌葉片及第五排的攪拌葉片的長度均為600mm。

有益效果:上述臥式分體式硅料酸洗除雜裝置通過設置雙用料斗,裝卸料和過濾過程都非常方便高效,同時在攪拌過程中有環(huán)保罩的保護,能夠有效防止酸液濺出,產生的腐蝕性廢氣通過保護罩上方的廢氣口排向外界的排氣管道,能夠防止廢氣在車間聚集從而危害相關工作人員。在加硅料的過程中,由于可以由外界的起吊設備將裝有硅料的吊裝濾袋放入酸水洗槽中,因此可以省去人工將硅料倒入或運出酸水洗槽的流程,避免人近距離接觸酸水洗槽從而影響人的健康。

附圖說明

圖1為臥式分體式硅料酸洗除雜裝置的運行狀態(tài)的結構示意圖。

圖2為臥式分體式硅料酸洗除雜裝置的分散狀態(tài)的結構示意圖。

圖3為臥式分體式硅料酸洗除雜裝置的運行狀態(tài)的剖視圖。

圖4為臥式分體式硅料酸洗除雜裝置的吊裝濾袋的結構示意圖。

圖5為臥式分體式硅料酸洗除雜裝置的攪拌裝置的結構示意圖。

圖6為臥式分體式硅料酸洗除雜裝置的攪拌裝置的局部放大圖。

圖7為臥式分體式硅料酸洗除雜裝置的雙用料斗的運行狀態(tài)圖。

圖8為臥式分體式硅料酸洗除雜裝置的支撐格柵的結構示意圖。

圖中:雙用料斗10、酸水洗槽101、支撐格柵1011、排液槽1012、排液閥門1013、吊裝濾袋102、吊耳1021、支撐架103、行走輪104、攪拌裝置20、攪拌轉軸201、攪拌葉片202、攪拌頭2021、楔形面2022、驅動裝置30、電機301、電機罩302、電機支架303、環(huán)保罩40、廢氣排放口401、觀察窗402、導軌50、定位塊401。

具體實施方式

請參看圖1、圖2及圖3,臥式分體式硅料酸洗除雜裝置包括雙用料斗10、攪拌裝置20、驅動裝置30、環(huán)保罩40,雙用料斗10的上端的開口與環(huán)保罩40下端的開口相對應,以使環(huán)保罩40下端與雙用料斗10的上端接觸后,由雙用料斗10與環(huán)保罩40構成圓柱狀的攪拌空間,攪拌裝置20設置在雙用料斗10與環(huán)保罩40構成的圓柱狀的攪拌空間內,攪拌裝置20的一端穿過環(huán)保罩40的側壁與驅動裝置30的一端固定連接;所述雙用料斗10的上端敞開且開口呈矩形,雙用料斗10包括酸水洗槽101、吊裝濾袋102、支撐架103、行走輪104,吊裝濾袋102設置在酸水洗槽101中,支撐架103的上端與酸水洗槽101的下端固定連接,支撐架103的下端設置行走輪104,以方便雙用料斗10移動,酸水洗槽101和吊裝濾袋102為相匹配的半圓柱形,酸水洗槽101和吊裝濾袋102的上端的開口為矩形,請參看圖4,吊裝濾袋102的上端設置吊耳1021,以使外界的起吊設備將吊裝濾袋102吊離開;所述攪拌裝置20包括攪拌轉軸201、攪拌葉片202,攪拌轉軸201設置在雙用料斗10與環(huán)保罩40構成的圓柱狀的攪拌空間的軸線上,攪拌葉片202的一端與攪拌轉軸201固定連接,攪拌葉片202的延長線垂直指向攪拌轉軸201的軸線;環(huán)保罩40的頂端設置廢氣排放口401,廢氣排放口401用于與外界的廢氣管道密封連接,以防止腐蝕性的廢氣污染環(huán)境,環(huán)保罩40通過設置在環(huán)保罩40四周的固定柱固定在外界車間的屋頂或者地面上。所述雙用料斗10、攪拌裝置20的表面采用耐腐蝕材料涂覆處理、環(huán)保罩40由耐腐蝕材料制成,以防止臥式分體式硅料酸洗除雜裝置不被酸腐蝕。

請參看圖5和圖6,所述攪拌葉片202為桿狀,攪拌葉片202的頂端為楔形且水平方向設置兩個攪拌頭2021,攪拌頭2021相正對的垂直設置在攪拌葉片202上,攪拌葉片202的數(shù)量根據(jù)實際情況來設置,且將攪拌葉片202分排沿著攪拌轉軸201的延伸方向排列設置,每排中的攪拌葉片202數(shù)量相同,同一排中的攪拌葉片202的長度相同,相鄰排中的攪拌葉片202的長度不同,排與排之間的間距相同,相鄰兩排錯開排布,每排至少設置一個攪拌葉片202,同一排的攪拌葉片202的間距相同,排數(shù)為奇數(shù),能夠成對且相互對稱的排中的攪拌葉片202的長度相同。例如,設置五排攪拌葉片202,其中第三排的攪拌葉片202的長度是900mm,第二排中的攪拌葉片202及第四排的攪拌葉片202的長度均為750mm,第一排的攪拌葉片202及第五排的攪拌葉片202的長度均為600mm。

由于硅料一般為塊狀或者片狀,桿狀的攪拌葉片202能夠將插入硅料間的縫隙中,使硅料能夠被攪拌起來。攪拌葉片202的頂端為楔形,因此更容易插入硅料且攪拌葉片202的頂端不容易被硅料磨損變形;在本實施方式中,相鄰排的攪拌葉片202的頂端的楔形角度相差15度,以使不同排的攪拌葉片202間的楔形互成角度,進而達到充分攪拌的硅料的目的。攪拌葉片202的頂端的兩側設置攪拌頭2021能夠將硅料更有效的攪動。

所述攪拌葉片202均與攪拌轉軸201的上半圓柱體面固定連接,如此,在將雙用料斗10從環(huán)保罩40下移出時,所述攪拌裝置20的攪拌葉片202位于環(huán)保罩40所圍成的空間內,使得雙用料斗10不受攪拌葉片202的阻擋,而順利移出。

請參看圖7和圖8,所述酸水洗槽101的底部設置排液槽1012,排液槽1012的上方設置支撐格柵1011,排液槽1012的底部設置排液口,排液口上設置排液閥門1013,以控制酸水洗槽101中酸液的排放。酸水洗槽101中的酸經過支撐格柵1011進入排液槽1012,再從排液口流出。

所述驅動裝置30包括電機301、電機罩302、電機支架303,電機301的下端與電機支架303的上端固定連接,電機罩302設置在電機支架303上并將電機罩302住,電機301的轉軸穿過環(huán)保罩40與攪拌裝置20固定連接。

所述環(huán)保罩40的側壁上設置觀察窗402,以隨時查看攪拌裝置20的運行情況。所述環(huán)保罩40的側壁上設置進酸口,以方便向臥式分體式硅料酸洗除雜裝置內加酸液。所述環(huán)保罩40的下方的地面上設置導軌50,導軌50上設置定位塊501,以使雙用料斗10停止行進后其上端的開口與環(huán)保罩40的下端的開口相對應,行走輪104沿著導軌50行進,行走輪104觸碰到定位塊501時停止行進。

臥式分體式硅料酸洗除雜裝置的運行過程如下:

吊裝濾袋102裝入硅料,然后外界的起吊設備將吊裝濾袋102吊入至酸水洗槽101中;雙用料斗10行進至環(huán)保罩40下方時停止前進,環(huán)保罩40和雙用料斗10組成一個相對密封的空間;通過所述環(huán)保罩40的側壁上的進酸口將酸加入到酸水洗槽101中;驅動裝置30開啟,帶動攪拌裝置20對硅料進行攪拌。酸洗完成后,雙用料斗10沿軌道退出,打開排液閥門1013以將酸液排出,通過吊裝濾袋102實現(xiàn)酸液與硅料的分離,再利用外界的起吊設備將盛裝有除雜后的硅料的吊裝濾袋102吊走進行下一個工序。

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