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一種重載石英舟的制作方法

文檔序號(hào):12521360閱讀:402來(lái)源:國(guó)知局
一種重載石英舟的制作方法與工藝

本實(shí)用新型涉及石英舟,特別涉及一種重載石英舟。



背景技術(shù):

石英玻璃制品以其優(yōu)良的物理化學(xué)特性,被廣泛應(yīng)用于微電子產(chǎn)業(yè)集成電路芯片 制造業(yè)。石英舟是擴(kuò)散時(shí)的常用工具。擴(kuò)散是制造太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換核心部件-PN結(jié)的工藝環(huán)節(jié),是太陽(yáng)能電池制造的關(guān)鍵技術(shù)。由于石英材質(zhì)特性,其較脆,溫度升高硬度下降,因此石英舟無(wú)法在高溫時(shí)進(jìn)行重負(fù)荷承載。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型的目的是提供一種重載石英舟。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:一種重載石英舟,包括相對(duì)設(shè)置的側(cè)板、設(shè)置在所述側(cè)板之間的上槽棒和下槽棒,所述上槽棒和所述下槽棒均設(shè)有槽口,所述側(cè)板設(shè)有抓取通孔,所述上槽棒設(shè)有豎直的豎直支撐桿,所述下槽棒設(shè)有水平的水平支撐桿,所述水平支撐桿與所述豎直支撐桿連接處設(shè)有向下延伸的支腳,所述下槽棒中部設(shè)有水平的限位棒。

上述設(shè)計(jì)中通過(guò)連接上槽棒和下槽棒的水平支撐桿以及豎直支撐桿提高石英舟的整體強(qiáng)度,通過(guò)支架提高石英舟在所述限位棒便于拿取石英舟時(shí)對(duì)石英舟中部進(jìn)行支撐。

作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn),兩根所述下槽棒上的水平支撐桿鏡像設(shè)置,鏡像設(shè)置的水平支撐桿之間設(shè)有拱形連接橋,進(jìn)一步提高石英舟的強(qiáng)度。

作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn),所述上槽棒的槽口設(shè)置在所述上槽棒內(nèi)側(cè),所述上槽棒的槽口和所述下槽棒的槽口開(kāi)口處均設(shè)有夾角為60°的導(dǎo)向口,所述上槽棒的槽口頂面設(shè)有夾角為90°的上導(dǎo)口,便于石墨片材的插入以及防止撞傷石墨片材。

本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型通過(guò)連接上槽棒和下槽棒的水平支撐桿以及豎直支撐桿提高石英舟的整體強(qiáng)度,通過(guò)支架提高石英舟在所述限位棒便于拿取石英舟時(shí)對(duì)石英舟中部進(jìn)行支撐。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。

圖1是本實(shí)用新型的正面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型的側(cè)面示意圖。

圖3是本實(shí)用新型的下槽棒示意圖。

圖4是本實(shí)用新型的下槽棒俯視局部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本實(shí)用新型的下槽棒正面局部結(jié)構(gòu)示意圖。

在圖中1.下槽棒,2.限位棒,3.槽口,4.側(cè)板,5.上槽棒,6.水平支撐桿,7.豎直支撐桿,8.抓取通孔,9.連接橋,10.支腳,11.導(dǎo)向口,12.上導(dǎo)口。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖以及具體實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型,其中的示意性實(shí)施例以及說(shuō)明僅用來(lái)解釋本實(shí)用新型,但并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。

實(shí)施例:一種重載石英舟,包括相對(duì)設(shè)置的側(cè)板4、設(shè)置在所述側(cè)板4之間的上槽棒5和下槽棒1,所述上槽棒5和所述下槽棒1均設(shè)有槽口3,所述側(cè)板4設(shè)有抓取通孔8,所述上槽棒5設(shè)有豎直的豎直支撐桿7,所述下槽棒1設(shè)有水平的水平支撐桿6,所述水平支撐桿6與所述豎直支撐桿7連接處設(shè)有向下延伸的支腳10,所述下槽棒1中部設(shè)有水平的限位棒2。

上述設(shè)計(jì)中通過(guò)連接上槽棒5和下槽棒1的水平支撐桿6以及豎直支撐桿7提高石英舟的整體強(qiáng)度,通過(guò)支架提高石英舟在所述限位棒2便于拿取石英舟時(shí)對(duì)石英舟中部進(jìn)行支撐。

作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn),兩根所述下槽棒1上的水平支撐桿6鏡像設(shè)置,鏡像設(shè)置的水平支撐桿6之間設(shè)有拱形連接橋9,進(jìn)一步提高石英舟的強(qiáng)度。

作為本設(shè)計(jì)的進(jìn)一步改進(jìn),所述上槽棒5的槽口3設(shè)置在所述上槽棒5內(nèi)側(cè),所述上槽棒5的槽口3和所述下槽棒1的槽口3開(kāi)口處均設(shè)有夾角為60°的導(dǎo)向口11,所述上槽棒5的槽口3頂面設(shè)有夾角為90°的上導(dǎo)口12,便于石墨片材的插入以及防止撞傷石墨片材。

以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例,并非因此限制本實(shí)用新型的專(zhuān)利范圍,凡是利用本實(shí)用新型說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換,或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域,均同理包括在本實(shí)用新型的專(zhuān)利保護(hù)范圍內(nèi)。

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