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一種單晶爐及其水冷組件的制作方法

文檔序號(hào):12826314閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種單晶爐及其水冷組件,其包括上爐室、下?tīng)t室和位于下?tīng)t室內(nèi)的加熱系統(tǒng),還包括設(shè)置于上爐室內(nèi)的上水冷套和設(shè)置于下?tīng)t室內(nèi)的下水冷套;上水冷套包括上法蘭以及與上法蘭焊接的帶有夾層的筒體,下水冷套包括下法蘭、帶有夾層的錐形筒、用于連接下法蘭與錐形筒的支撐管和兩個(gè)水冷管,本實(shí)用新型的單晶爐內(nèi)水冷組件,冷卻水通過(guò)上水冷套及下水冷套帶走熱系統(tǒng)內(nèi)部多余的熱量,改善熱場(chǎng)內(nèi)部的溫度梯度,降低結(jié)晶面處的溫度,有效提高晶體長(zhǎng)晶速度,進(jìn)而提高產(chǎn)品產(chǎn)能,降低單位生產(chǎn)成本。

技術(shù)研發(fā)人員:劉英江;趙京通;李永哲;李潤(rùn)飛;張松;高志民
受保護(hù)的技術(shù)使用者:河北晶龍陽(yáng)光設(shè)備有限公司
文檔號(hào)碼:201621130590
技術(shù)研發(fā)日:2016.10.18
技術(shù)公布日:2017.07.07

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