本實(shí)用新型涉及氬氣回收技術(shù)領(lǐng)域，特別是指一種氣氛爐氬氣回收純化系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

氣氛爐在使用時(shí)經(jīng)常會(huì)向其爐膛內(nèi)通入氬氣，由于工件在高溫情況下會(huì)發(fā)生氧化，而通入氬氣主要為了起到抗氧化作用，同時(shí)在特殊的產(chǎn)品情況下通入氬氣，則是作為一種催化輔料的作用，而且，由于高純氬氣經(jīng)過實(shí)驗(yàn)后所排放的氬氣中， 含有微量的雜質(zhì)、碳粉塵、一氧化碳及二氧化碳等，對(duì)環(huán)境污染較大。為解決上述問題，就需要對(duì)排放出來的氬氣進(jìn)行回收再利用。

申請(qǐng)?zhí)枮?01210078306.X的專利公開了一種單晶硅生產(chǎn)中氬氣回收純化的方法與裝置，先對(duì)來自單晶爐回收的氬氣進(jìn)行粗除油，再經(jīng)壓縮冷卻后高精度除油除塵；接著通過高溫催化反應(yīng)使甲烷等烴類和一氧化碳同氧氣反應(yīng)生成水和二氧化碳，催化反應(yīng)中保證氧氣過量；再通過冷卻后在催化劑作用下使過量氧氣同加入的氫氣反應(yīng)生成水，經(jīng)過兩次催化反應(yīng)之后的氬氣經(jīng)過常溫吸附單元以便吸附水和二氧化碳；將上述氬氣冷卻后送入低溫精餾塔，使氬氣與氮?dú)夂蜌錃猱a(chǎn)生精餾分離，得到純液氬，再經(jīng)復(fù)熱后得到純氬產(chǎn)品。系統(tǒng)過于復(fù)雜，使用的設(shè)備價(jià)格高，經(jīng)濟(jì)成本非常高，對(duì)后續(xù)提純?cè)O(shè)備要求很高，且氫氣用量大，增加成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種氣氛爐氬氣回收純化系統(tǒng)，保證高效率的回收率，進(jìn)一步減少壓力容器中的氣體與外界空氣的接觸，高效的過濾系統(tǒng)和純化系統(tǒng)，有效保證氣體再次應(yīng)用，降低氬氣損耗，降低成本。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了以下的技術(shù)方案：一種氣氛爐氬氣回收純化系統(tǒng)，包括一用于儲(chǔ)存來自于氣氛爐被污染的氬氣的氬氣柜，所述氬氣柜與氣氛爐出口連接；

在所述氬氣柜之后依次相連有第一過濾器、低壓渦旋無油螺桿機(jī)、第二過濾器、干燥器、第一減壓閥組、內(nèi)循環(huán)純化系統(tǒng)；

所述內(nèi)循環(huán)純化系統(tǒng)包括純化器、依次連接于純化器之后的第二減壓閥組、緩沖罐、高壓壓縮機(jī)、儲(chǔ)氣瓶組，所述儲(chǔ)氣瓶組連接有一旁通管道，旁通管道上設(shè)有一旁通閥門和第三減壓閥組，所述第三減壓閥組與純化器連接；

所述儲(chǔ)氣瓶組與氣氛爐的進(jìn)氣閥連接。

其中，所述低壓渦旋無油螺桿機(jī)與第二過濾器之間設(shè)有溫度傳感器和壓力傳感器，所述高壓壓縮機(jī)與儲(chǔ)氣瓶組之間設(shè)有溫度傳感器和壓力傳感器，所述溫度傳感器和壓力傳感器均連接一控制柜。

其中，所述純化器包括至少一組吸附塔和催化塔，所述催化塔與第一減壓閥組及連接。

其中，所述第一減壓閥組、第三減壓閥組與催化塔之間均設(shè)有閥門。

其中，所述氣氛爐前端連接有補(bǔ)充氣源裝置。

其中，所述補(bǔ)充氣源裝置包括液氬罐和氣化器，液氬罐通過氣化器與氣氛爐連接。

本實(shí)用新型的有益效果在于：氬氣回收純化再次利用，保證了經(jīng)濟(jì)成本和氬氣過度消耗，為企業(yè)帶來良好效益。

本方案系統(tǒng)為全自動(dòng)運(yùn)行，可進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控和調(diào)試。

此氬氣回收系統(tǒng)保證了90%的回收率，有效降低氬氣損耗！

氬氣柜采用了水隔絕保護(hù)，減少氬氣和外界空氣接觸，大大減少氬氣使之泄露導(dǎo)致氣體純度迅速下降的故障。

高效率的純化器，保證了被污染的氣體再次提純利用。

采用德國過濾系統(tǒng)，使進(jìn)入爐體的氣體中的油含量非常微小，避免爐體進(jìn)行實(shí)驗(yàn)產(chǎn)生的影響和危害。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)-實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

如圖1所示的一種氣氛爐氬氣回收純化系統(tǒng)，包括一用于儲(chǔ)存來自于氣氛爐被污染的氬氣的氬氣柜，所述氬氣柜與氣氛爐出口連接；

在所述氬氣柜之后依次相連有第一過濾器、低壓渦旋無油螺桿機(jī)、第二過濾器、干燥器、第一減壓閥組、內(nèi)循環(huán)純化系統(tǒng)；

所述內(nèi)循環(huán)純化系統(tǒng)包括純化器、依次連接于純化器之后的第二減壓閥組、緩沖罐、高壓壓縮機(jī)、儲(chǔ)氣瓶組，所述儲(chǔ)氣瓶組連接有一旁通管道，旁通管道上設(shè)有一旁通閥門和第三減壓閥組，所述第三減壓閥組與純化器連接；

所述儲(chǔ)氣瓶組與氣氛爐的進(jìn)氣閥連接。

所述純化器包括至少一組吸附塔和催化塔，所述催化塔與第一減壓閥組及連接，一開一備，防止發(fā)生故障，交替使用。

所述低壓渦旋無油螺桿機(jī)與第二過濾器之間設(shè)有溫度傳感器和壓力傳感器，所述高壓壓縮機(jī)與儲(chǔ)氣瓶組之間設(shè)有溫度傳感器和壓力傳感器，所述溫度傳感器和壓力傳感器均連接一控制柜。實(shí)時(shí)將測得的數(shù)據(jù)傳給控制柜供工作人員查看。

所述第一減壓閥組、第三減壓閥組與催化塔之間均設(shè)有閥門，用于控制管路之間的開閉狀態(tài)。

所述氣氛爐前端連接有補(bǔ)充氣源裝置，所述補(bǔ)充氣源裝置包括液氬罐和氣化器，液氬罐通過氣化器與氣氛爐連接，用于給氣氛爐補(bǔ)充氬氣。

把氣氛爐出口被污染的氬氣源匯集回收到連接的氬氣柜儲(chǔ)存，同時(shí)打開氬氣柜出口連接第一過濾器，進(jìn)入低壓渦旋無油螺桿機(jī)的閥門，啟動(dòng)低壓渦旋無油螺桿機(jī)至待定壓力，通過第二過濾器和干燥器除掉大量水分和雜質(zhì)，同時(shí)通過第一減壓閥組減壓后進(jìn)入純化器提純，監(jiān)控氬氣源中的氮元素、氧元素和水露點(diǎn)是否達(dá)到設(shè)定值，然后減壓至常壓經(jīng)不銹鋼緩沖罐緩沖進(jìn)入高壓壓縮機(jī)，當(dāng)經(jīng)過純化器的氬氣源達(dá)不到設(shè)定要求值時(shí)，可先關(guān)閉進(jìn)入氣氛爐的進(jìn)氣閥，同時(shí)打開儲(chǔ)氣瓶組旁通至純化器的管道閥門，經(jīng)減壓至純化器入口需求的壓力，再次循環(huán)，直到氬氣源純度達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)后，再關(guān)閉旁通閥門，經(jīng)高壓壓縮機(jī)至儲(chǔ)氣瓶組儲(chǔ)存，最后通過儲(chǔ)氣瓶組干凈的氬氣源再次進(jìn)入氣氛爐，回收利用，以此循環(huán)。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。