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單晶預裝料夾具的制作方法

文檔序號:11542483閱讀:355來源:國知局
單晶預裝料夾具的制造方法與工藝

本實用新型涉及單晶及半導體加工領域,特別涉及一種單晶預裝料夾具。



背景技術:

單晶爐在停爐后,由于爐體剛打開后溫度較高,爐體溫度在400攝氏度左右,人員無法進行裝料工作;傳統(tǒng)做法是用風機吹爐內熱場,等爐內冷卻2小時,即溫度降至50攝氏度左右,再進行裝料工作;這樣的操作方法,增加了爐臺閑置時間,同時增大了對硅料的污染,影響產品質量。



技術實現(xiàn)要素:

針對現(xiàn)有技術的不足,本實用新型所要解決的技術問題是提供一種單晶預裝料夾具,加緊坩堝后由吊車調至爐內,不受高溫影響,減少爐臺閑置時間,且不會因為人員關系對硅料污染。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:

一種單晶預裝料夾具,夾合住坩堝,單晶預裝料夾具包括吊爪、固定圈、固定支架、轉動扳手、活動架、復位彈簧,吊爪固定在固定圈上部,至少兩個固定支架固定在固定圈的下部,活動架包括長臂和固定在長臂一端的坩堝卡扣,長臂的另一端與固定支架軸連接,坩堝卡扣內側固定有向外突出的固定銷,坩堝外壁有與固定銷相匹配的插孔,固定銷插入插孔中,坩堝卡扣內側的形狀與坩堝外壁的形狀相匹配,且緊密接觸,從而夾具能將坩堝夾起移動,固定支架與長臂軸連接,且向下延伸一段垂直向下段,轉動扳手包括轉軸、支起突出和把手,轉抽設置在固定支架垂直向下段,轉抽兩端與固定支架軸連接,且轉抽中間固定有弧形的支起突出,轉軸的一端穿過固定支架延伸成把手,處于拉伸狀態(tài)的復位彈簧一端與固定支架連接,且另一端與長臂連接,把手帶動轉軸旋轉的時候,支起突出隨轉軸一起旋轉至與長臂接觸,支起突出將長臂頂起,即長臂向遠離固定支架方向運動,支起突出隨轉軸一起旋轉至與長臂分離時,復位彈簧將長臂拉至與固定支架接觸。

最優(yōu)的,所述固定圈與坩堝形狀一致,三個或者三個以上的固定支架均勻分布在固定圈上,固定支架焊接在固定圈上。

最優(yōu)的,所述吊爪包括圓柱形的固定扣和至少三個爪,固定扣與固定圈的中心在一條直線上,長條狀的爪一端與固定扣焊接固定,且另一端與固定圈焊接固定,固定扣距離固定圈所在平面的距離大于10厘米。

最優(yōu)的,所述固定支架中部為有條形貫穿孔,貫穿孔連通內側和外側,即連通靠近坩堝一側和遠離坩堝一側,固定支架側視為P型,即上部厚度大于下部厚度,且靠近坩堝一側長度大于遠離坩堝一側,固定支架上部的貫穿孔中容納長臂,長臂的兩端軸連接固定支架,固定支架下部貫穿孔中容納轉抽,轉軸和長臂并排布置,轉軸位于內側,即靠近坩堝一側,長臂位于外側,即遠離坩堝一側。

最優(yōu)的,所述轉軸的一端穿過固定支架延伸且向遠離坩堝一側彎折成把手,把手端部外側套裝有防燙隔熱層。

最優(yōu)的,所述固定支架內側,即靠近坩堝一側焊接有彈簧固定塊A,彈簧固定塊A長度與固定支架寬度相匹配,所述長臂外側,即遠離坩堝一側焊接有彈簧固定塊B,彈簧固定塊B長度與長臂寬度相匹配,彈簧固定塊A和彈簧固定塊B的兩端設置有環(huán)形固定扣,所述復位彈簧的一端勾住彈簧固定塊A的環(huán)形固定扣,且另一端勾住彈簧固定塊B的環(huán)形固定扣,兩個復位彈簧分別設置在固定支架和長臂的兩側。

最優(yōu)的,所述固定圈至坩堝卡扣底部的距離為471.11毫米,所述坩堝卡扣為長度是143.07毫米的長條狀,坩堝卡扣上固定有兩個固定銷。

由上述技術方案可知,本實用新型提供的單晶預裝料夾具在裝料作業(yè)時,直接利用夾具及行車將需要裝的料安全吊入爐內,不需要等待爐體降溫,有效的提高了爐臺的利用率,同時不需要工作人員在車間內裝料,極大的減少了硅料的污染,從而有效的降低成本及提高了產品質量。

附圖說明

附圖1是單晶預裝料夾具的結構示意圖。

附圖2是附圖1中的局部放大圖。

附圖3是單晶預裝料夾具的的局部剖視圖。

圖中:吊爪10、固定扣11、爪12、固定圈20、固定支架30、轉動扳手40、轉軸41、支起突出42、把手43、活動架50、長臂51、坩堝卡扣52、復位彈簧60。

具體實施方式

結合本實用新型的附圖,對實用新型實施例的技術方案做進一步的詳細闡述。

參照附圖1所示,用于夾合住坩堝的單晶預裝料夾具,包括吊爪10、固定圈20、固定支架30、轉動扳手40、活動架50、復位彈簧60。

吊爪10固定在固定圈20上部,吊爪10包括圓柱形的固定扣11和至少三個爪12,固定扣11與固定圈20的中心在一條直線上,長條狀的爪12一端與固定扣11焊接固定,且另一端與固定圈20焊接固定,固定扣11距離固定圈20所在平面的距離大于10厘米。

固定圈20與坩堝形狀一致,三個或者三個以上的固定支架30均勻分布在固定圈20上,固定支架30焊接在固定圈20上,相對于吊爪10固定支架30固定在固定圈20的下部。所述固定支架30中部為有條形貫穿孔,貫穿孔連通內側和外側,即連通靠近坩堝一側和遠離坩堝一側,固定支架30側視為P型,即上部厚度大于下部厚度,且靠近坩堝一側長度大于遠離坩堝一側。

活動架50包括長臂51和固定在長臂51一端的坩堝卡扣52,長臂51的另一端位于固定支架30上部的貫穿孔中,且兩端軸連接固定支架30,坩堝卡扣52內側固定有向外突出的固定銷,坩堝外壁有與固定銷相匹配的插孔,固定銷插入插孔中,坩堝卡扣52內側的形狀與坩堝外壁的形狀相匹配,且緊密接觸,從而夾具能將坩堝夾起移動坩堝卡扣52為長度是143.07毫米的長條狀,坩堝卡扣52上固定有兩個固定銷,固定圈20至坩堝卡扣52底部的距離為471.11毫米。

轉動扳手40包括轉軸41、支起突出42和把手43,轉抽設置在固定支架30垂直向下段,轉抽兩端與固定支架30軸連接,且轉抽中間固定有弧形的支起突出42,轉軸41的一端穿過固定支架30延伸且向遠離坩堝一側彎折成把手43,把手43端部外側套裝有防燙隔熱層,轉軸41和長臂51并排布置,轉軸41位于內側,即靠近坩堝一側,長臂51位于外側,即遠離坩堝一側。

處于拉伸狀態(tài)的復位彈簧60一端與固定支架30連接,且另一端與長臂51連接,固定支架30內側,即靠近坩堝一側焊接有彈簧固定塊A,彈簧固定塊A長度與固定支架30寬度相匹配,所述長臂51外側,即遠離坩堝一側焊接有彈簧固定塊B,彈簧固定塊B長度與長臂51寬度相匹配,彈簧固定塊A和彈簧固定塊B的兩端設置有環(huán)形固定扣11,所述復位彈簧60的一端勾住彈簧固定塊A的環(huán)形固定扣11,且另一端勾住彈簧固定塊B的環(huán)形固定扣11,兩個復位彈簧60分別設置在固定支架30和長臂51的兩側。

吊車夾緊單晶預裝料夾具的吊爪10,單晶預裝料夾具坩堝卡扣52的固定銷,固定銷插入坩堝外壁的插孔中,坩堝卡扣52內側的形狀與坩堝外壁的形狀相匹配,處于拉伸狀態(tài)的復位彈簧60使坩堝卡扣52與坩堝緊密接觸,從而夾具能夾緊坩堝,從而吊車移動坩堝,把手43帶動轉軸41旋轉的時候,支起突出42隨轉軸41一起旋轉至與長臂51接觸,支起突出42將長臂51頂起,即長臂51向遠離固定支架30方向運動,從而使固定銷從坩堝外壁的插孔中出來,即可以將單晶預裝料夾具與坩堝分離。

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