技術(shù)總結(jié)
本實用新型的碳化硅單晶生長室的對中裝置，用于準(zhǔn)確對中坩堝中心位置，包括：定位環(huán)體、定位支架、定位管和光源，定位環(huán)體為中空的錐形環(huán)狀結(jié)構(gòu)，且上部環(huán)體的直徑大于下部環(huán)體直徑，所述定位環(huán)體的上部環(huán)體側(cè)壁與爐體法蘭接觸；定位支架包括至少兩個支桿，且位于所述定位環(huán)體的內(nèi)腔中，所述支桿的一端與定位環(huán)體的內(nèi)壁固定連接，另一端與所述定位管的外壁固定連接，所述定位管位于坩堝的正上方，所述光源設(shè)置于所述定位管的內(nèi)部，且所述光源的外徑小于定位管的內(nèi)徑。該裝置結(jié)構(gòu)簡便、并能快速準(zhǔn)確地對中坩堝中心位置的裝置，保證頂部測溫儀采集的數(shù)據(jù)精確可信，達到精準(zhǔn)控制碳化硅生長溫度的目的。

技術(shù)研發(fā)人員：牛曉龍;楊昆;高宇;鄭清超
受保護的技術(shù)使用者：河北同光晶體有限公司
文檔號碼：201621345257
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.09
技術(shù)公布日：2017.06.13