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保溫罩的制作方法

文檔序號:12703533閱讀:314來源:國知局
保溫罩的制作方法與工藝

本實用新型涉及直拉法晶體生長制造領(lǐng)域,尤其涉及一種保溫罩。



背景技術(shù):

在直拉法晶體生長過程中,保溫罩是構(gòu)建穩(wěn)態(tài)溫場、保證晶體生長環(huán)境穩(wěn)定的重要組件。由于高溫的生長環(huán)境以及溫度梯度的存在,保溫罩的開裂不可避免。目前,直拉法生長所采用的保溫罩一般為模具整體高壓成型,烘干燒結(jié)成型,如圖1所示,此類保溫罩使用過程中會產(chǎn)生開裂,如圖2所示,必定會對晶體生長環(huán)境造成較大影響,進而影響晶體的質(zhì)量。并且,模具壓制限定了保溫罩的幾何尺寸與形狀,無法滿足不同產(chǎn)品對保溫罩尺寸形狀的需求。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本實用新型提供的一種保溫罩,能減少保溫罩開裂對晶體生長的影響,提高晶體生產(chǎn)質(zhì)量。

本實用新型所采用的技術(shù)方案是:一種保溫罩,包括多層直徑不同的保溫管件和粘結(jié)層,根據(jù)所需保溫罩的尺寸,選取若干不同直徑的保溫管件,依次相套,每層間隙中用保溫粘結(jié)料填實后再次燒結(jié)成型。

進一步的,所述保溫管件為氧化鋯粉末預(yù)燒結(jié)制成。

進一步的,所述粘接層采用的是氧化鋯粉末粘接材料。

采用上述技術(shù)方案后,本實用新型的有益效果為:本實用新型提供的保溫罩大幅降低了開裂對溫場的影響,使晶體生長過程更加穩(wěn)定;同時,可以根據(jù)生產(chǎn)需要選擇不同尺寸的保溫管,增加了保溫罩的適用性,降低了加工的成本。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中保溫罩的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是現(xiàn)有技術(shù)中保溫罩開裂的截面圖;

圖3是本實用新型實施例的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖4是本實用新型實施例的截面圖;

圖5是本實用新型實施例開裂的截面圖。

其中,1-保溫管件,2-粘結(jié)層。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步的詳細(xì)說明。一種保溫罩,如圖3所示,包括多層直徑不同的保溫管件1和粘結(jié)層2,根據(jù)所需保溫罩的尺寸,選取三個不同直徑保溫管件1層層嵌套,所述保溫管件1由氧化鋯粉末預(yù)燒結(jié)制成,所述保溫管件1之間的空隙中填充粘結(jié)材料,通過燒結(jié)成型,形成粘結(jié)層2,保溫罩的截面圖如圖4所示。

在直拉法晶體制造過程中,高溫使得保溫罩開裂,但由于多層結(jié)構(gòu),各保溫管件1開裂時裂縫處在不同位置,如圖5所示,這種結(jié)構(gòu)大幅降低了開裂對溫場的影響,使晶體生長過程更加穩(wěn)定。同時,可以根據(jù)生產(chǎn)需要選擇不同尺寸的保溫管,增加了保溫罩的適用性,降低了加工的成本。

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