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一種新型硅晶爐加熱結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):12826327閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種新型硅晶爐加熱結(jié)構(gòu),其特征在于:包括保溫筒(9),在保溫筒內(nèi)設(shè)有生長爐底座,在生長爐底座中心處設(shè)有支撐柱(5),生長爐底座上設(shè)有多個(gè)加熱電極(2),各個(gè)加熱電極環(huán)繞支撐柱均勻分布,在生長爐底座上還設(shè)有第一測(cè)溫器(1)和第二測(cè)溫器(7),位于生長爐底座上設(shè)有環(huán)形導(dǎo)軌(4),在環(huán)形導(dǎo)軌上配裝有半圓形的隔熱籠(3),在支撐柱的頂端設(shè)有高溫計(jì)(6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型硅晶爐加熱結(jié)構(gòu),其特征在于:保溫筒內(nèi)壁上附著有保溫氈。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型硅晶爐加熱結(jié)構(gòu),其特征在于:所述的第一測(cè)溫器和第二測(cè)溫器以支撐柱的中心成鏡像對(duì)稱。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型硅晶爐加熱結(jié)構(gòu),其特征在于:還包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)(8),驅(qū)動(dòng)電機(jī)設(shè)置在生長爐底座上,在隔熱籠的內(nèi)壁上設(shè)有齒條(3a),驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過驅(qū)動(dòng)齒輪與齒條連接。

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