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一種生產(chǎn)高效多晶硅的引晶片及引晶方法與流程

文檔序號(hào):12545527閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種生產(chǎn)高效多晶硅的引晶片,其特征在于:包括陶瓷基片,和粘附在陶瓷基片表面的引晶顆粒,在引晶顆粒及陶瓷基片的表面涂布一層氮化硅涂層,所述引晶顆粒為石英顆粒、硅顆粒及碳化硅顆粒中的一種或幾種的混合物,引晶顆粒的粒徑大小為80-800μm,引晶顆粒的密度為150-16000個(gè)/cm2。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)高效多晶硅的引晶片,其特征在于:所述陶瓷基片采用石英、氮化硅、碳化硅和石墨的一種或幾種的混合材料制作而成,陶瓷基片的厚度為50-300μm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)高效多晶硅的引晶片,其特征在于:所述陶瓷基片為由二氧化硅、碳化硅、石墨和氮化硅的一種或幾種的混合材料制作而成。

4.一種利用權(quán)利要求1-3任一所述的引晶片生產(chǎn)高效多晶硅的引晶方法,其特征在于:包括如下步驟:

S1:在坩堝內(nèi)壁噴涂上厚度80-120μm的氮化硅涂層;

S2:將引晶片緊湊拼接鋪設(shè)坩堝底部,鋪設(shè)成單層或多層;

S3:將硅料裝入鋪設(shè)好引晶片的坩堝內(nèi),將坩堝放入鑄錠爐中,進(jìn)行高效多晶硅的生產(chǎn)。

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