技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
提供一種轉(zhuǎn)位缺陷可以被充分減低的金剛石基板的制造方法，以及高品質(zhì)的金剛石基板以及金剛石自立基板。所述金剛石基板的制造方法的特征在于：包括，將基底表面上圖案狀的金剛石設(shè)置的第一工序，從第一工序設(shè)置的圖案狀的金剛石使金剛石成長，第一工序設(shè)置的圖案狀的金剛石中的圖案間隙中使金剛石形成的第二工序，上述第一工序設(shè)置的圖案狀的金剛石去除，第二工序形成的金剛石構(gòu)成的圖案狀的金剛石形成的第三工序，從第三工序形成的圖案狀的金剛石使金剛石成長以及第三工序形成的圖案狀的金剛石中的圖案間隙中金剛石形成的第四工序。

技術(shù)研發(fā)人員：野口仁;白井省三;牧野俊晴;小倉政彥;加藤宙光;川島宏幸;桑原大輔;山崎聰;竹內(nèi)大輔;徳田規(guī)夫;豬熊孝夫;松本翼
受保護(hù)的技術(shù)使用者：信越化學(xué)工業(yè)株式會社;國立研究開發(fā)法人產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所;國立大學(xué)法人金沢大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.24
技術(shù)公布日：2017.09.05