本發(fā)明涉及用于通過金剛石刻劃尖(diamondpoint)對玻璃基板、硅晶片等脆性材料基板進(jìn)行刻劃的刻劃頭單元。

背景技術(shù)：

以往，為了對玻璃基板、硅晶片進(jìn)行刻劃，應(yīng)用使用了刻劃輪、單晶金剛石制成的金剛石刻劃尖的刻劃工具。對玻璃基板主要使用相對于基板進(jìn)行滾動的刻劃輪，但考慮到刻劃后的基板的強(qiáng)度提高等優(yōu)點(diǎn)，也探討了作為固定刃的金剛石刻劃尖的使用。專利文獻(xiàn)1、2提出了用于對藍(lán)寶石晶片、氧化鋁晶片等硬度高的基板進(jìn)行刻劃的刻劃尖切割器。在上述的專利文獻(xiàn)中，使用在棱錐的棱線上設(shè)置有切割尖(cutpoint)的工具、或前端成為圓錐的工具。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2003-183040號公報

專利文獻(xiàn)2：日本特開2005-079529號公報

在利用使用了金剛石刻劃尖的刻劃工具作為工具來對玻璃基板進(jìn)行刻劃的情況下，存在金剛石刻劃尖的壽命短、在刻劃了幾十米的階段就產(chǎn)生損傷的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明是為了解決以上那樣的課題而完成的，其目的在于提供在切斷脆性材料基板時能夠提高使用了金剛石刻劃尖的刻劃工具的耐久性、延長壽命且減少更換頻率的刻劃頭單元。

為解決該課題，本發(fā)明的刻劃頭單元以規(guī)定的載荷將刻劃工具的刻劃尖按壓至脆性材料基板，通過使所述刻劃尖與所述脆性材料基板相對地移動來進(jìn)行刻劃，其中，所述刻劃頭單元具備：刻劃工具，其具有使用了金剛石的一個或多個刻劃尖；工具保持件，其安裝于所述刻劃頭單元且固定所述刻劃工具；潤滑劑保持件，其上下移動自如地安裝于所述刻劃頭單元；潤滑劑涂布構(gòu)件，其由固體潤滑劑構(gòu)成，安裝于所述潤滑劑保持件的下端，將潤滑劑涂布在刻劃預(yù)定線上；以及按壓機(jī)構(gòu)，其將所述潤滑劑保持件按壓至所述脆性材料基板。

在此，所述潤滑劑涂布構(gòu)件也可以為具有軸芯的圓柱狀的固體潤滑輪。

在此，所述刻劃頭單元也可以具有沿著刻劃預(yù)定線進(jìn)行脆性材料基板的異物去除的異物去除機(jī)構(gòu)。

在此，所述異物去除機(jī)構(gòu)也可以具備異物去除保持件，其安裝于所述刻劃頭；以及異物去除構(gòu)件，其設(shè)置于所述異物去除保持件的下端。

在此，所述按壓機(jī)構(gòu)也可以為將所述潤滑劑保持件按壓至脆性材料基板的空氣加壓單元。

在此，所述按壓機(jī)構(gòu)也可以為將所述潤滑劑保持件按壓至脆性材料基板的彈簧加壓單元。

發(fā)明效果

根據(jù)具有這樣的特征的本發(fā)明，首先向脆性材料基板的刻劃預(yù)定線涂布潤滑劑，由具有金剛石刻劃尖的刻劃工具進(jìn)行刻劃。因此，可得到金剛石刻劃尖不易磨損、能夠大幅提高耐久性這樣的效果。尤其是，由于使用固體潤滑劑作為潤滑劑，因此能夠精度良好地僅在刻劃預(yù)定線的附近涂布潤滑劑。因此，防止?jié)櫥瑒┫蚧迳系牟恍枰牟课桓街?，并且能夠容易地進(jìn)行后工序中的潤滑劑的去除等。另外，在涂布潤滑劑前對刻劃預(yù)定線進(jìn)行清潔的情況下，最初附著于脆性材料基板的異物、或者在刻劃中產(chǎn)生的異物不會卷入脆性材料基板與刻劃工具，從而可得到能夠進(jìn)一步減小刻劃尖的損傷這樣的效果。

附圖說明

圖1是示出本發(fā)明的實施方式的在工具保持件上使用的刻劃工具的一例的俯視圖以及側(cè)視圖。

圖2是本實施方式的工具保持件的立體圖。

圖3是示出本發(fā)明的第一實施方式的刻劃頭單元的一例的主視圖以及側(cè)視圖。

圖4是在本發(fā)明的第一實施方式的刻劃頭單元中，僅示出涂布潤滑劑的潤滑劑保持件及其周邊部分的側(cè)視圖。

圖5是示出本發(fā)明的實施方式的玻璃基板的切斷方法的流程圖。

圖6是本發(fā)明的實施方式的玻璃基板的俯視圖。

圖7是本發(fā)明的實施方式的玻璃基板的刻劃預(yù)定線的放大圖。

圖8是在本發(fā)明的實施方式的刻劃方法中形成的溝槽線、以及裂紋線的剖視圖。

圖9是示出本實施方式的玻璃基板的溝槽線與輔助線的圖。

圖10是示出本發(fā)明的第二實施方式的刻劃頭單元的主視圖以及側(cè)視圖。

附圖標(biāo)記說明：

10多尖金剛石工具；

11基體；

12貫通孔；

13a～13d棱線；

14a～14d第一傾斜面；

15a～15d第二傾斜面；

20工具保持件；

21工具保持件主體；

22a保持件保持部；

22b工具保持部；

23a、23b、24a、24b貫通孔；

25厚度調(diào)節(jié)槽；

26a、26b、26c、31a、31b、31c傾斜面；

27螺紋槽；

28工具保持槽；

30保持件壓塊；

33厚度調(diào)節(jié)銷；

34螺釘；

40a、40b刻劃頭單元；

41頂板；

42氣缸；

43引導(dǎo)機(jī)構(gòu)；

44滑動部；

45板；

50、53支承板；

51異物去除保持件；

52海綿；

54滑動部；

55l字狀塊；

56潤滑劑保持件；

57固體潤滑輪；

58、60支承板；

59下降端限位件；

61空氣加壓單元；

62彈簧加壓單元；

70玻璃基板；

p1～p8刻劃尖；

sl1～sl6刻劃預(yù)定線；

tl1～tl6溝槽線；

al輔助線；

cl1～cl6裂紋線。

具體實施方式

接下來，對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行說明。首先，圖1是示出本實施方式的刻劃頭單元的由工具保持件保持的刻劃工具、即多尖金剛石工具(以下僅稱為金剛石工具)10的一例的俯視圖以及側(cè)視圖。該金剛石工具10將具有一定厚度且由旋轉(zhuǎn)對稱的任意數(shù)量的邊構(gòu)成的多邊形的棱柱作為基體。在該實施方式中，一定厚度的四棱柱的基體11由單晶金剛石構(gòu)成，且在其中心具有貫通孔12。在基體11上，與穿過貫通孔12的軸(圖1的(a)中為與紙面垂直的軸)平行的棱線13a～13d均等地形成于四邊形的外周面。

在本實施方式中，如圖1所示，對基體11以從四周的角部的四棱柱的兩底面朝向外周面所交叉的棱線倒角的方式進(jìn)行研磨。即，如圖1的(b)所示，從基體11的右側(cè)的底面的四個角朝向基體11的棱線進(jìn)行研磨而形成第一傾斜面14a～14d。此時，以使基體11的底面的夾著棱線的邊與傾斜面所成的角相等的方式，即以傾斜面成為以棱線的一端為頂點(diǎn)的等腰三角形的方式進(jìn)行研磨。這樣的傾斜面可以通過激光加工或機(jī)械加工而容易地形成。另外，也可以在激光加工之后進(jìn)一步進(jìn)行機(jī)械研磨，使之成為更精密的研磨面。這樣一來，能夠以各棱線13a～13d與第一傾斜面14a～14d的交點(diǎn)為頂點(diǎn)，如圖1的(b)所示那樣在對基體進(jìn)行側(cè)視觀察時在右側(cè)形成四個刻劃尖p1～p4。此時基體11的傾斜面14a～14d成為頂面。在此，頂面是指與形成棱線的兩個外周面接觸且共有棱線的一端的面。

接下來，從基體11的另一方的底面同樣地朝向基體11的外周進(jìn)行研磨而形成第二傾斜面15a～15d。此時，以第一傾斜面與第二傾斜面的研磨范圍的合計不超過基體的厚度的方式進(jìn)行研磨，使得在第一傾斜面與第二傾斜面之間殘留有棱線。這樣一來，能夠以各棱線13a～13d與第二傾斜面15a～15d的交點(diǎn)為頂點(diǎn)，如圖1的(b)所示那樣在對基體進(jìn)行側(cè)視觀察時在左側(cè)形成四個刻劃尖p5～p8。這樣，通過使棱線13a～13d的兩端為刻劃尖p1～p8，能夠?qū)λ倪呅蔚慕饎偸ぞ?0在外周形成八處刻劃尖。

接下來，對工具保持件進(jìn)行說明。圖2是示出工具保持件的組裝的立體圖。如圖2所示，構(gòu)成工具保持件20的主要部分的工具保持件主體21包括長方體狀的保持件保持部22a、以及具有在保持件保持部22a的前端切去長方體的上半部分而成的形狀的工具安裝部22b。如圖2所示，保持件保持部22a設(shè)置有用于將工具保持件固定于刻劃頭單元的安裝用的貫通孔23a、23b以及24a、24b。并且，工具安裝部22b具有在接近保持件保持部22a的位置處切出的與長度方向垂直的厚度調(diào)節(jié)槽25。如圖2所示，在前端部具有從左右切出的傾斜面26a、26b和從下方切出的傾斜面26c。另外，在工具安裝部22b的大致中央部分設(shè)置有垂直于中心軸的螺紋槽27。在工具安裝部22b的表面，沿著工具保持件主體21的長度方向的中心軸且具有一定深度的工具保持槽28穿過螺紋槽27而形成，工具保持槽28在前端部朝向外側(cè)而以約90°的角度開放。換言之，工具保持槽28隨著朝向前端而寬度變寬，槽的內(nèi)壁的延長線相交的角度為90°。厚度調(diào)節(jié)槽25與工具保持槽28具有相同的深度。在此，工具保持槽28的呈90°開放的區(qū)域為對前述的四邊形的金剛石工具10進(jìn)行保持且使其前端部分向外部突出的保持區(qū)域。

而且，在該工具安裝部22b的上部安裝有保持件壓塊30。保持件壓塊30呈大致長方體狀且安裝于工具安裝部22b的凹處而構(gòu)成長方體狀的工具保持件20。在保持件壓塊30的前端部左右設(shè)置有與工具安裝部22b的傾斜面26a、26b對應(yīng)的傾斜面31a、31b，在上表面設(shè)置有與傾斜面26c對應(yīng)的傾斜面31c。另外，在中央部分設(shè)置有貫通孔32。

在將金剛石工具10保持于工具保持件20的情況下，首先，將具有與金剛石工具10的厚度相同的直徑的厚度調(diào)節(jié)銷33作為厚度調(diào)節(jié)構(gòu)件而插入到厚度調(diào)節(jié)槽25中，接下來，在將金剛石工具10嵌入工具保持槽28并使其一部分突出的狀態(tài)下蓋上保持件壓塊30，通過緊固螺釘34而進(jìn)行固定。這樣一來，保持件壓塊30的下表面始終與工具安裝部22b的面平行地接觸，因此能夠?qū)⒔饎偸ぞ?0可靠地固定在前端。

圖3是示出將具有金剛石工具10的工具保持件20安裝于刻劃頭單元的狀態(tài)的主視圖以及側(cè)視圖?？虅濐^單元40a構(gòu)成為板狀的頂板41自身通過未圖示的滑動機(jī)構(gòu)而整體地上下移動。而且，在該頂板41上固定有刻劃載荷用的氣缸42。氣缸42的下端的桿42a伸縮自如地突出。而且如圖3的(b)所示，在頂板41的桿42a的下方設(shè)置有引導(dǎo)機(jī)構(gòu)43和滑動部44，并以規(guī)定的載荷將滑動部44向下方按壓。引導(dǎo)機(jī)構(gòu)43將滑動部44保持為上下移動。在滑動部44設(shè)置有l(wèi)字狀的板45。板45與滑動部44一起上下移動自如，但下限由限位件46限制。而且，通過使螺釘47a、47b穿過貫通孔23b、24b而將工具保持件20沿傾斜方向固定在該板45上。而且，能夠通過使刻劃頭單元40a沿箭頭a方向移動來進(jìn)行刻劃。

另外，在頂板41的右端的支承板50上設(shè)置有異物去除保持件51。如圖3的(b)所示，板狀的支承板50以使異物去除保持件51在側(cè)視觀察時與金剛石工具位于同一位置的方式從頂板41向左方向突出。異物去除保持件51與工具保持件同樣地為長方體狀且平行地固定于頂板41，且在前端安裝有海綿52。海綿52是在使刻劃頭單元40a沿箭頭a方向移動時，在即將刻劃之前接觸基板而將附著于刻劃預(yù)定線的異物進(jìn)行去除的異物去除構(gòu)件。在此，異物去除部51與其前端的柔軟的異物去除構(gòu)件即海綿52構(gòu)成安裝于刻劃頭單元40a的異物去除機(jī)構(gòu)。

接下來，對與異物去除保持件51相鄰的潤滑劑保持件進(jìn)行說明。圖4是僅選出潤滑劑保持件及其周邊部分而示出的側(cè)視圖，省略了氣缸42、滑動部44、板45、金剛石工具10以及支承部50與異物去除保持件51等。于是，如圖4所示，支承板53與支承板50同樣地以突出的方式安裝于頂板41。在支承板53的左端形成有引導(dǎo)機(jī)構(gòu)53a，滑動部54以及安裝于該滑動部54的l字狀塊55構(gòu)成為沿該引導(dǎo)機(jī)構(gòu)53a上下移動自如。在該l字狀塊55的下方通過螺紋緊固而安裝有潤滑劑保持件56。潤滑劑保持件56與異物去除保持件51同樣地為長方體狀，且在下端安裝有固體潤滑輪57。固體潤滑輪57是潤滑劑涂布構(gòu)件，為圓柱狀，且軸芯旋轉(zhuǎn)自如地保持于潤滑劑保持件56，通過沿刻劃方向移動而旋轉(zhuǎn)，從而在即將刻劃之前在刻劃預(yù)定線上涂布潤滑劑。

另外，如圖4所示，在頂板41上以橫向突出的方式設(shè)置有支承板58，且在其前端設(shè)置有下降端限位件59。下降端限位件59通過與l字狀塊55的一端抵接來進(jìn)行限制，使得l字狀塊55不會過度下降。另外，在頂板41上，在l字狀塊55的上方設(shè)置有支承板60，且在其上部設(shè)置有空氣加壓單元61?？諝饧訅簡卧?1通過以前端的突出部將l字狀塊55朝向下方按壓，從而將潤滑劑保持件56的下方的固體潤滑輪57按壓至脆性材料基板。由支承板60保持的空氣加壓單元61構(gòu)成按壓潤滑劑保持件56的按壓機(jī)構(gòu)。

作為構(gòu)成固體潤滑輪57的固體潤滑劑，使用蠟(wax)、石油系烴等在常溫下為固體的潤滑劑?；蛘咭部梢詾楣腆w的潤滑劑與在常溫下為液體的潤滑劑、粉末狀的固體潤滑劑或其它成分的混合物。作為粉末狀的固體潤滑劑，例如優(yōu)選使用石墨、二硫化鉬、二硫化鎢等。

接下來，針對使用本實施方式的刻劃頭單元40a來切斷脆性材料基板即玻璃基板的方法，利用圖5的流程圖、圖6的玻璃基板的俯視圖進(jìn)行說明。首先，在步驟s1中，準(zhǔn)備具有平坦的表面sf的玻璃基板70。在刻劃玻璃基板70時，將傾斜安裝的工具保持件20的金剛石工具10的一個刻劃尖p1以與玻璃基板70接觸的方式進(jìn)行固定，將刻劃頭單元40a在玻璃基板70的一邊70a的附近按下并使之沿圖示的箭頭a方向移動，從而使刻劃頭單元40a滑動至切斷預(yù)定線的接近另一邊70b的位置處。當(dāng)像這樣使刻劃頭單元40a移動時，通過安裝于異物去除保持件51的海綿52將刻劃預(yù)定線的異物去除。即，如圖5的步驟s2所示，沿刻劃預(yù)定線進(jìn)行清潔。此時如圖7的(a)中的刻劃預(yù)定線sil1的放大圖所示，以將刻劃預(yù)定線sil1包含在中央的方式對規(guī)定寬度的線進(jìn)行清潔。通過這樣對刻劃預(yù)定線進(jìn)行清潔，從而在刻劃中異物不會被卷入玻璃基板70與刀尖之間，能夠減少金剛石工具的刻劃尖的損傷。

接下來，如圖7的(b)所示，與對刻劃預(yù)定線sil1進(jìn)行清潔后的部分重疊地，潤滑劑保持件56的固體潤滑輪57接觸玻璃面，固體潤滑輪57在被空氣加壓單元61從上部施加有載荷的狀態(tài)下移動，從而固體潤滑輪57滾動而較薄地涂布潤滑劑(步驟s3)。然后，通過由保持件20保持的刻劃頭的金剛石工具進(jìn)行刻劃，從而如圖6所示，沿刻劃預(yù)定線sil1形成溝槽線tl1(步驟s4)。此時，金剛石工具10不滾動而以相同的刻劃尖進(jìn)行刻劃。實際上，通過移動刻劃頭單元40a使得步驟s2～s4幾乎同時進(jìn)行。這樣一來，通過潤滑劑的潤滑效果，能夠大幅減少金剛石工具的刻劃尖的磨損，從而能夠?qū)崿F(xiàn)長壽命化。例如在不涂布潤滑劑的情況下，金剛石工具的刻劃尖刻劃幾十米就產(chǎn)生磨損，然而在涂布潤滑劑的情況下，能夠在幾千米的范圍內(nèi)保持耐久性。再者，由于通過固體潤滑輪57的滾動來涂布潤滑劑，因此能夠精度良好地僅向刻劃預(yù)定線及其附近涂布潤滑劑。由此，抑制潤滑劑附著于基板上的刻劃預(yù)定線以外的部位，并且能夠容易地進(jìn)行后工序中的潤滑劑的去除等。

如示出圖6的(b)的圓形部分的剖面的圖8的(a)所示那樣，溝槽線是指通過刻劃而在玻璃基板70的表面sf僅形成有基于塑性變形的槽、而在厚度方向上不產(chǎn)生裂紋的線。因此，與形成使裂紋產(chǎn)生的通常的刻劃線的情況相比，能夠采用更低的載荷等，以更寬的刻劃條件進(jìn)行用于溝槽線形成的刻劃。另外，在本實施方式中，邊70a成為刻劃上游側(cè)，邊70b成為下游側(cè)。

同樣地，沿玻璃基板70的表面sf的刻劃預(yù)定線sil2～sil6而使刻劃頭單元40a從左向右移動。由此，通過異物去除保持件51的海綿52去除刻劃預(yù)定線的異物，通過潤滑劑保持件56的固體潤滑輪57涂布潤滑劑，進(jìn)而通過金剛石工具10進(jìn)行刻劃。這樣，與溝槽線t1平行地進(jìn)一步形成五條溝槽線tl2～tl6。

接下來，如圖9所示，以與各溝槽線交叉的方式形成輔助線al1。輔助線al1優(yōu)選形成于各溝槽線的下游側(cè)、即接近邊70b的位置。如圖1所示，輔助線al1可以使用具有金剛石的刀尖的刻劃工具形成，也可以通過使刻劃輪滾動而形成。在本實施方式中，輔助線為形成有裂紋的裂紋線。

若這樣形成輔助線al1，則玻璃基板70沿輔助線al1被切斷。此時如圖8的(b)所示那樣，從已形成的溝槽線tl1～tl6與輔助線al1交叉的位置產(chǎn)生裂紋，裂紋向各溝槽線tl1～tl6的上游側(cè)伸展(步驟s5)。從而，溝槽線tl1～tl6變化成為在其下方伴有裂紋的裂紋線cl1～cl6。

然后在圖5的步驟s6中，通過沿該裂紋線cl1～cl6切斷玻璃基板70，能夠?qū)⒉ＡЩ?0切斷為所希望的形狀。

而且，雖然固體潤滑輪57在涂布潤滑劑時逐漸磨損而其直徑變小，但由于l字狀塊55上下移動自如，從上部通過空氣加壓單元61對l字狀塊55進(jìn)行按壓，因此始終能夠以規(guī)定的載荷將固體潤滑輪57按壓至玻璃面上而涂布潤滑劑。

在本實施方式中，通過形成輔助線并沿輔助線分離來產(chǎn)生裂紋，但也可以設(shè)為不伴有輔助線的分離的工序。在該情況下，在形成輔助線時沿溝槽線形成裂紋。另外，不形成輔助線，而進(jìn)行在溝槽線的終端使金剛石工具向反方向滑動而形成裂紋的工序、或者延長溝槽線而使金剛石工具通過基板的端部的工序等，由此也能夠沿溝槽線使裂紋產(chǎn)生。

在與基板接觸的刻劃尖p1因磨損而劣化的情況下，從刻劃頭單元將工具保持件拆下后旋轉(zhuǎn)180°來調(diào)換前后，由此能夠使用刻劃尖p5?；蛘邔⒔饎偸ぞ?0暫時從工具保持件20拆下后旋轉(zhuǎn)90°并再次固定于工具保持件20，從而使其它的刻劃尖、例如刻劃尖p2與玻璃基板70接觸而同樣地進(jìn)行刻劃預(yù)定線的清潔、潤滑劑涂布以及刻劃。

接下來，對具有異物去除、涂布潤滑劑功能的刻劃頭單元的其他實施方式進(jìn)行說明。圖10示出了第二實施方式的刻劃頭單元，對與前述的第一實施方式相同的部分用相同的附圖標(biāo)記表示。如圖10所示，在第二實施方式的刻劃頭單元40b中，在支承板60上代替空氣加壓單元61而設(shè)置有使用了彈簧的彈簧加壓單元62。彈簧加壓單元62是將l字狀塊55從上方朝向下方按壓的按壓機(jī)構(gòu)。在該情況下，也能夠?qū)⒐腆w潤滑輪57按壓至玻璃面，即使在固體潤滑輪57逐漸磨損的情況下也通過彈簧進(jìn)行加壓，因此能夠始終以大致相同的壓力按壓潤滑輪而向玻璃面涂布潤滑劑。在該情況下，能夠通過比空氣加壓單元更簡單的結(jié)構(gòu)取得同樣的效果。

需要說明的是，如圖1所示，在前述的各實施方式中使用具有金剛石制的多個刻劃尖的刻劃工具，但可以使用在多邊形的外周從板厚方向或外周方向研磨而形成多個刻劃尖的刻劃工具，或者也可以使用四棱錐臺形、圓錐形狀的刻劃工具。

在此，如圖5所示，在形成溝槽線后形成輔助線，但也可以包括在形成溝槽線后通過擦拭等將涂布于刻劃預(yù)定線的潤滑劑去除的步驟。

并且，在結(jié)束一定距離的刻劃之后，也可以對金剛石工具的刻劃尖部分進(jìn)行清潔。在清潔中，可以向刀尖的刻劃尖部分吹送空氣，也可以從刻劃尖部分抽吸空氣。并且可以對刻劃尖部分進(jìn)行超聲波清洗，也可以通過海綿等將潤滑劑、異物去除來進(jìn)行清潔。在去除潤滑劑的情況下，可以在基板的端部設(shè)置刮墊，使刻劃工具在該刮墊上通過來進(jìn)行清潔。

在前述的各實施方式中，作為異物去除構(gòu)件而使用海綿，但也可以使用實現(xiàn)與此相同功能的柔軟的構(gòu)件、例如毛氈等。

另外，在前述的實施方式中，在刻劃前使用固體潤滑輪作為潤滑劑涂布構(gòu)件來涂布潤滑劑，但潤滑劑涂布構(gòu)件只要是固體的潤滑劑，其形狀不限定于輪狀，也可以是圓柱或棱柱、圓錐或棱錐等任意的形狀。在非輪狀的情況下，潤滑劑涂布構(gòu)件通過在基板上滑動來涂布潤滑劑。

另外，在前述的各實施方式中，通過移動刻劃頭單元來刻劃基板，但也可以通過固定刻劃頭單元并移動基板來進(jìn)行異物去除、潤滑劑涂布以及刻劃。

另外，在前述的實施方式中，在一個刻劃頭單元40a中設(shè)置有工具保持件、異物去除機(jī)構(gòu)以及潤滑劑涂布機(jī)構(gòu)，但也可以將異物去除機(jī)構(gòu)或潤滑劑涂布機(jī)構(gòu)設(shè)置在與設(shè)置有工具保持件的刻劃頭單元不同的刻劃頭單元。再者，在前述的實施方式中通過移動刻劃頭單元40a使得步驟s2～s4大致同時進(jìn)行，但也可以對刻劃預(yù)定線逐步地進(jìn)行步驟s2～s4。

工業(yè)實用性

本發(fā)明在通過具有金剛石刻劃尖的刻劃工具對脆性材料基板進(jìn)行刻劃的情況下，能夠?qū)⒔饎偸虅澕獾哪p抑制在最小限度，能夠有效地應(yīng)用于使用了金剛石刻劃尖的刻劃裝置中。