本發(fā)明屬于功能材料領(lǐng)域,涉及在功能化的fto/glass基板表面制備lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜,具體為bi0.97-xlaxsr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3多鐵薄膜,x=0.03~0.18。
背景技術(shù):
多鐵材料是指在一定溫度范圍內(nèi)同時(shí)具有鐵電性、鐵磁性或鐵彈性中兩種或兩種以上的材料。bifeo3(bfo)是少數(shù)的單相多鐵材料之一,具有扭曲的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)(屬于r3c點(diǎn)群),由立方結(jié)構(gòu)沿(111)方向拉伸而形成的一種偏離理想鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的斜六方結(jié)構(gòu),在室溫下同時(shí)具有鐵電有序和反鐵磁有序,由于具有較高的鐵電相變溫度(tc=1103k)和磁相變溫度(tn=643k),在磁電傳感器,自旋電子器件,存儲(chǔ)器等方面有廣泛的應(yīng)用前景而得到關(guān)注。
目前用于制備bifeo3薄膜的方法有很多,但是bifeo3薄膜中鉍元素的易揮發(fā)以及部分fe3+向fe2+的轉(zhuǎn)變,使薄膜中產(chǎn)生較多的氧空位,從而導(dǎo)致bifeo3薄膜存在著嚴(yán)重的漏電現(xiàn)象和較大的矯頑場(chǎng),磁性較弱,難以極化,很難獲得較高的剩余極化值,因此在實(shí)際應(yīng)用中受到限制。此外,bifeo3薄膜中存在弱鐵磁性,使其難以滿足新一代存儲(chǔ)器件和其它多功能器件所需要強(qiáng)磁電耦合。為改善bifeo3薄膜的多鐵性能,最為常見的辦法就是離子摻雜。
目前,還沒有關(guān)于bi0.97-xlaxsr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3多鐵薄膜及其制備方法的相關(guān)報(bào)道。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明的目的在于提供一種lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜及其制備方法,該方法設(shè)備要求簡(jiǎn)單,實(shí)驗(yàn)條件容易達(dá)到,摻雜量容易控制,制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜為bi0.97-xlaxsr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3多鐵薄膜,可改善bifeo3基薄膜的多鐵性能。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
一種lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜,所述lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜為bi0.97-xlaxsr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜,x=0.03~0.18,其結(jié)構(gòu)為三方結(jié)構(gòu),空間群為r3c:h和r3m:r共存。
所述lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜在700kv/cm電場(chǎng)下的剩余極化值為191~230μc/cm2,矯頑場(chǎng)為222~274kv/cm。
所述lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜在1khz頻率下的介電常數(shù)為488~774。
所述的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的制備方法,包括以下步驟:
步驟1:按摩爾比為(1.02-x):x:0.03:0.94:0.04:0.02將硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷溶于乙二醇甲醚中,攪拌均勻后加入醋酸酐,繼續(xù)攪拌均勻,得到前驅(qū)液;其中x=0.03~0.15;
步驟2:將前驅(qū)液旋涂在fto/glass基片上,得到濕膜,濕膜經(jīng)勻膠后在190~210℃下烘烤得干膜,再于540~550℃下在空氣中退火,得到晶態(tài)bi0.97-xlaxsr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜;
步驟3:將晶態(tài)bi0.97-xlaxsr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜冷卻至室溫,重復(fù)步驟2直到達(dá)到所需厚度,即得到lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜。
所述步驟1中前驅(qū)液中金屬離子的總濃度為0.2~0.4mol/l。
所述前驅(qū)液中乙二醇甲醚和醋酸酐的體積比為(2.5~3.5):1。
所述步驟2進(jìn)行前先將fto/glass基片清洗干凈,然后在紫外光下照射,使fto/glass基片表面達(dá)到原子清潔度。
所述步驟2中勻膠時(shí)的勻膠轉(zhuǎn)速為3600~4200r/min,勻膠時(shí)間為12~18s。
所述步驟2中勻膠后的烘烤時(shí)間為6~8min。
所述步驟2中的退火時(shí)間為20~25min。
相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明具有以下有益效果:
本發(fā)明提供的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的制備方法,采用溶膠-凝膠法,以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5%),以乙二醇甲醚和乙酸酐為溶劑,配制前驅(qū)液,再用旋涂法和層層退火的工藝制備了bi0.97-xlaxsr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜,即lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜。本發(fā)明選擇稀土元素la和堿土金屬sr摻雜a位,過渡金屬mn和co摻雜b位,通過a、b位共摻雜的方式,使薄膜具有良好的介電和鐵電性能。在a位上摻雜稀土元素可以抑制bi的揮發(fā),減少氧空位,進(jìn)而減小漏電流,有效提高薄膜的鐵電性能;二價(jià)堿金屬離子可以補(bǔ)償氧空位造成的電荷不平衡,有效地抑制fe3+離子的價(jià)態(tài)波動(dòng);在b位上摻雜過渡金屬離子可以抑制fe3+向fe2+轉(zhuǎn)換,減少氧空位的產(chǎn)生,磁性離子的摻雜能夠提高薄膜的磁性能。通過a、b位共摻雜可以有效的抑制bi的揮發(fā),減少薄膜中fe2+、氧空位的含量和缺陷的產(chǎn)生,從而增強(qiáng)薄膜在外加電場(chǎng)下的極化強(qiáng)度,有效改善了薄膜的鐵電性能。本發(fā)明采用溶膠-凝膠工藝,相比于其他制備薄膜的方法,該方法設(shè)備要求簡(jiǎn)單,實(shí)驗(yàn)條件易于實(shí)現(xiàn),成本低廉,反應(yīng)容易進(jìn)行,工藝過程溫度低,制備過程及摻雜量容易控制,化學(xué)組分精確可控,適宜在大的表面和形狀不規(guī)則的表面上制備薄膜,很容易均勻定量地?fù)饺胍恍┪⒘吭?,可以在短時(shí)間內(nèi)獲得原子或分子水平的均勻性,本發(fā)明制備的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜均勻性較好,具有高剩余極化值、低矯頑場(chǎng)和高介電常數(shù),有效地提高了薄膜的鐵電和介電性能。
本發(fā)明制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的致密度高、晶粒尺寸均勻,其化學(xué)結(jié)構(gòu)式為bi0.97-xlaxsr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3,x=0.03~0.18,該薄膜屬于三方結(jié)構(gòu),空間群為r3c:h(23.34%~72.74%)和r3m:r(27.26%~76.66%)共存,該薄膜具有高剩余極化值、低矯頑場(chǎng)和高介電常數(shù),能夠改善bifeo3基薄膜的多鐵性能。
進(jìn)一步的,本發(fā)明制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜在電場(chǎng)為700kv/cm、la含量x分別為0.03、0.06、0.09、0.18時(shí),其剩余極化強(qiáng)度依次為230μc/cm2、209μc/cm2、215μc/cm2、191μc/cm2,矯頑場(chǎng)依次為274kv/cm、271kv/cm、265kv/cm、222kv/cm,為高剩余極化值(191~230μc/cm2)和低矯頑場(chǎng)(222~274kv/cm)的多鐵薄膜。并且本發(fā)明制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜在頻率為1khz、la摻雜量x為0.03、0.06、0.09、0.18時(shí),其介電常數(shù)分別為488、689、653、774,為高介電常數(shù)多鐵薄膜。
附圖說明
圖1是本發(fā)明制備的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的xrd精修圖;
圖2是本發(fā)明制備的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的介電常數(shù)和介電損耗與測(cè)試頻率的關(guān)系圖;
圖3是本發(fā)明制備的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的電滯回線。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和本發(fā)明優(yōu)選的具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步描述,原料均為分析純。
實(shí)施例1
步驟1:將fto/glass基片分別用洗潔精、丙酮、無水乙醇清洗干凈封存在無水乙醇中備用;
步驟2:以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5%),按摩爾比為0.99:0.03:0.03:0.94:0.04:0.02(x=0.03)溶于乙二醇甲醚中,攪拌30min,再加入醋酸酐,攪拌90min,得到金屬離子總濃度為0.3mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液;其中乙二醇甲醚和醋酸酐的體積比為3:1;
步驟3:將fto/glass基片用去離子水洗凈后用n2吹干,再用紫外光照射儀照射潔凈的fto/glass基片40min,使fto/glass基片表面達(dá)到原子清潔度,然后將前驅(qū)液旋涂在fto/glass基片上,其勻膠轉(zhuǎn)速為3700r/min,勻膠時(shí)間為16s,得到濕膜,濕膜在200℃下烘烤7min得干膜,再在545℃下在空氣中退火21min,即得晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜;
步驟4:將晶態(tài)bi0.94la0.03sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜冷卻至室溫,重復(fù)步驟2直到達(dá)到所需厚度,即得到lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜。
xrd測(cè)定實(shí)施例1制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的物相組成結(jié)構(gòu),如圖1所示,該薄膜屬于三方結(jié)構(gòu),空間群為r3c:h和r3m:r共存,沒有雜質(zhì)的出現(xiàn)。sem測(cè)定實(shí)施例1制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的微觀形貌。用radiantmultiferroic鐵電分析儀測(cè)試實(shí)施例1制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的鐵電性能,如圖2所示,頻率為1khz,電場(chǎng)為700kv/cm時(shí),該薄膜的剩余極化值為230μc/cm2,矯頑場(chǎng)為274kv/cm。用agilente4980a精密lcr表測(cè)試實(shí)施例1制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的介電性能,如圖3所示,頻率為1khz時(shí),該薄膜的介電常數(shù)為488。
實(shí)施例2
步驟1:將fto/glass基片分別用洗潔精、丙酮、無水乙醇清洗干凈封存在無水乙醇中備用;
步驟2:以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5%),按摩爾比為0.96:0.06:0.03:0.94:0.04:0.02(x=0.06)溶于乙二醇甲醚中,攪拌30min,再加入醋酸酐,攪拌90min,得到金屬離子總濃度為0.3mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液;其中乙二醇甲醚和醋酸酐的體積比為3:1;
步驟3:將fto/glass基片用去離子水洗凈后用n2吹干,再用紫外光照射儀照射潔凈的fto/glass基片40min,使fto/glass基片表面達(dá)到原子清潔度,然后將前驅(qū)液旋涂在fto/glass基片上,其勻膠轉(zhuǎn)速為3900r/min,勻膠時(shí)間為15s,得到濕膜,濕膜在200℃下烘烤6.5min得干膜,再在545℃下在空氣中退火24min,即得晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜;
步驟4:將晶態(tài)bi0.91la0.06sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜冷卻至室溫,重復(fù)步驟2直到達(dá)到所需厚度,即得到lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜。
xrd測(cè)定實(shí)施例2制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的物相組成結(jié)構(gòu),如圖1所示,該薄膜屬于三方結(jié)構(gòu),空間群為r3c:h和r3m:r共存,沒有雜質(zhì)的出現(xiàn)。sem測(cè)定實(shí)施例2制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的微觀形貌。用radiantmultiferroic鐵電分析儀測(cè)試實(shí)施例2制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的鐵電性能,如圖2所示,頻率為1khz,電場(chǎng)為700kv/cm時(shí),該薄膜的剩余極化值為209μc/cm2,矯頑場(chǎng)為271kv/cm。用agilente4980a精密lcr表測(cè)試實(shí)施例2制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的介電性能,如圖3所示,頻率為1khz時(shí),該薄膜的介電常數(shù)為689。
實(shí)施例3
步驟1:將fto/glass基片分別用洗潔精、丙酮、無水乙醇清洗干凈封存在無水乙醇中備用;
步驟2:以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5%),按摩爾比為0.93:0.09:0.03:0.94:0.04:0.02(x=0.0.09)溶于乙二醇甲醚中,攪拌30min,再加入醋酸酐,攪拌90min,得到金屬離子總濃度為0.3mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液;其中乙二醇甲醚和醋酸酐的體積比為3:1;
步驟3:將fto/glass基片用去離子水洗凈后用n2吹干,再用紫外光照射儀照射潔凈的fto/glass基片40min,使fto/glass基片表面達(dá)到原子清潔度,然后將前驅(qū)液旋涂在fto/glass基片上,其勻膠轉(zhuǎn)速為3800r/min,勻膠時(shí)間為15s,得到濕膜,濕膜在200℃下烘烤7.5min得干膜,再在545℃下在空氣中退火23min,即得晶態(tài)bi0.88la0.09sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜;
步驟4:將晶態(tài)bi0.88la0.09sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜冷卻至室溫,重復(fù)步驟2直到達(dá)到所需厚度,即得到lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜。
xrd測(cè)定實(shí)施例3制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的物相組成結(jié)構(gòu),如圖1所示,該薄膜屬于三方結(jié)構(gòu),空間群為r3c:h和r3m:r共存,沒有雜質(zhì)的出現(xiàn)。sem測(cè)定實(shí)施例3制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的微觀形貌。用radiantmultiferroic鐵電分析儀測(cè)試實(shí)施例3制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的鐵電性能,如圖2所示,頻率為1khz,電場(chǎng)為700kv/cm時(shí),該薄膜的剩余極化值為215μc/cm2,矯頑場(chǎng)為265kv/cm。用agilente4980a精密lcr表測(cè)試實(shí)施例3制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的介電性能,如圖3所示,頻率為1khz時(shí),該薄膜的介電常數(shù)為653。
實(shí)施例4
步驟1:將fto/glass基片分別用洗潔精、丙酮、無水乙醇清洗干凈封存在無水乙醇中備用;
步驟2:以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5%),按摩爾比為0.90:0.12:0.03:0.94:0.04:0.02(x=0.12)溶于乙二醇甲醚中,攪拌30min,再加入醋酸酐,攪拌90min,得到金屬離子總濃度為0.2mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液;其中乙二醇甲醚和醋酸酐的體積比為2.5:1;
步驟3:將fto/glass基片用去離子水洗凈后用n2吹干,再用紫外光照射儀照射潔凈的fto/glass基片35min,使fto/glass基片表面達(dá)到原子清潔度,然后將前驅(qū)液旋涂在fto/glass基片上,其勻膠轉(zhuǎn)速為3600r/min,勻膠時(shí)間為18s,得到濕膜,濕膜在190℃下烘烤8min得干膜,再在540℃下在空氣中退火25min,即得晶態(tài)bi0.85la0.12sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜;
步驟4:將晶態(tài)bi0.85la0.12sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜冷卻至室溫,重復(fù)步驟2直到達(dá)到所需厚度,即得到lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜。
實(shí)施例5
步驟1:將fto/glass基片分別用洗潔精、丙酮、無水乙醇清洗干凈封存在無水乙醇中備用;
步驟2:以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5%),按摩爾比為0.87:0.15:0.03:0.94:0.04:0.02(x=0.15)溶于乙二醇甲醚中,攪拌30min,再加入醋酸酐,攪拌90min,得到金屬離子總濃度為0.4mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液;其中乙二醇甲醚和醋酸酐的體積比為3.5:1;
步驟3:將fto/glass基片用去離子水洗凈后用n2吹干,再用紫外光照射儀照射潔凈的fto/glass基片45min,使fto/glass基片表面達(dá)到原子清潔度,然后將前驅(qū)液旋涂在fto/glass基片上,其勻膠轉(zhuǎn)速為4200r/min,勻膠時(shí)間為12s,得到濕膜,濕膜在210℃下烘烤6min得干膜,再在550℃下在空氣中退火20min,即得晶態(tài)bi0.82la0.15sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜;
步驟4:將晶態(tài)bi0.82la0.15sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜冷卻至室溫,重復(fù)步驟2直到達(dá)到所需厚度,即得到lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜。
實(shí)施例6
步驟1:將fto/glass基片分別用洗潔精、丙酮、無水乙醇清洗干凈封存在無水乙醇中備用;
步驟2:以硝酸鉍、硝酸鑭、硝酸鍶、硝酸鐵、醋酸錳和硝酸鈷為原料(硝酸鉍過量5%),按摩爾比為0.84:0.18:0.03:0.94:0.04:0.02(x=0.18)溶于乙二醇甲醚中,攪拌30min,再加入醋酸酐,攪拌90min,得到金屬離子總濃度為0.3mol/l的穩(wěn)定的前驅(qū)液;其中乙二醇甲醚和醋酸酐的體積比為3:1;
步驟3:將fto/glass基片用去離子水洗凈后用n2吹干,再用紫外光照射儀照射潔凈的fto/glass基片40min,使fto/glass基片表面達(dá)到原子清潔度,然后將前驅(qū)液旋涂在fto/glass基片上,其勻膠轉(zhuǎn)速為4000r/min,勻膠時(shí)間為14s,得到濕膜,濕膜在200℃下烘烤7min得干膜,再在545℃下在空氣中退火22min,即得晶態(tài)bi0.79la0.18sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜;
步驟4:將晶態(tài)bi0.79la0.18sr0.03fe0.94mn0.04co0.02o3薄膜冷卻至室溫,重復(fù)步驟2直到達(dá)到所需厚度,即得到lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜。
xrd測(cè)定實(shí)施例6制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的物相組成結(jié)構(gòu),如圖1所示,該薄膜屬于三方結(jié)構(gòu),空間群為r3c:h和r3m:r共存,沒有雜質(zhì)的出現(xiàn)。sem測(cè)定實(shí)施例6制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的微觀形貌。用radiantmultiferroic鐵電分析儀測(cè)試實(shí)施例6制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的鐵電性能,如圖2所示,頻率為1khz,電場(chǎng)為700kv/cm時(shí),該薄膜的剩余極化值為191μc/cm2,矯頑場(chǎng)為222kv/cm。用agilente4980a精密lcr表測(cè)試實(shí)施例6制得的lasrmnco共摻鐵酸鉍多鐵薄膜的介電性能,如圖3所示,頻率為1khz時(shí),該薄膜的介電常數(shù)為774。
以上所述內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明所作的進(jìn)一步詳細(xì)說明,不是全部或唯一的實(shí)施方式,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員通過閱讀本發(fā)明說明書而對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案采取的任何等效的變換,均為本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。