本發(fā)明涉及太陽能電池板制造設備技術領域，具體為一種減壓擴散爐爐口的密封裝置。

背景技術：

在光伏行業(yè)中，高溫擴散爐主要用于對硅片進行摻雜形成pn結。隨著對太陽能電池片質量的要求越來越高，傳統(tǒng)的常壓高溫擴散爐的摻雜均勻性已經無法滿足電池片的質量要求，因此低壓擴散爐應運而生，然而低壓擴散工藝需要在低于常壓的環(huán)境下進行，爐門的密封性能直接影響生產質量。

現有技術中的爐門密封裝置，多數都是靠爐門密封圈與石英爐的擠壓，依靠密封圈的自身變形達到密封的目的，無法達到密封要求，因此加強爐門的密封性非常必要。

技術實現要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種減壓擴散爐爐口的密封裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。所述減壓擴散爐爐口的密封裝置具有增強爐門密封性的特點。

為實現上述目的，本發(fā)明提供如下技術方案：

一種減壓擴散爐爐口的密封裝置，包括石英管及爐門，所述爐門包括由螺栓連接的內層及外層，內層與外層在圓周連接處設有冷卻腔，所述內層在圓周處設有外圈及內圈，所述外圈及內圈之間設有放置槽，外圈靠近放置槽一側裝有密封圈，外圈另一側且靠近密封圈處設有卡槽，內層與外層在端面連接處設有回水腔，所述回水腔與冷卻腔連通，冷卻腔處設有進水口，回水腔處設有出水口，所述外層的端蓋中間設有圓柱，所述端蓋上繞圓柱還設有多個支撐桿，所述支撐桿活動連接支撐爪，支撐爪的一端卡接于卡槽，另一端活動鏈接塊，所述塊設于圓管上，所述圓管套設在圓桿上，所述圓桿的一端與圓柱螺紋連接，另一端設有方形塊。

優(yōu)選的，所述卡槽內設有軟膠墊。

優(yōu)選的，所述支撐爪卡接于卡槽的一端設有凸起，另一端設有沉孔，塊位于沉孔內。

優(yōu)選的，所述沉孔內裝有彈簧，所述彈簧靠近沉孔孔口的一端連接塊。

優(yōu)選的，所述支撐爪上在與支撐桿連接處設有方形槽，方形槽的長度大于支撐桿的寬度。

優(yōu)選的，所述支撐桿的端部設有通孔并位于方形槽內，銷穿過通孔及方形槽連接支撐爪。

優(yōu)選的，所述外圈及內圈之間放置槽的槽寬與石英管的厚度匹配，槽寬大于石英管的厚度。

優(yōu)選的，所述圓柱中心凹槽的底部設有貫通的小孔。

優(yōu)選的，所述內圈上設有多個插槽，靠近石英管處插入隔熱板，靠近爐門處插入導熱板。

與現有技術相比，本發(fā)明的有益效果是：本石英管放入放置槽并緊貼密封圈，向外旋出圓桿，支撐爪抓住在爐門外圈的卡槽內，并壓緊卡槽；卡槽靠近密封圈，支撐爪壓緊卡槽后，使密封圈進一步壓緊，加強爐門的密封性，避免在負壓狀態(tài)下，外接污染源進入石英管內，影響電池片的擴散質量；另一方面冷卻腔冷卻后的水進入回水腔，提高爐門端蓋的溫度，縮小爐門與石英管之間的溫差，保證石英管內部的熱平衡。

附圖說明

圖1為本發(fā)明結構示意圖；

圖2為本發(fā)明支撐爪打開示意圖；

圖3為本發(fā)明爐門側視圖；

圖4為本發(fā)明a-a剖視圖。

圖中：1石英管、2爐門、21內圈、22卡槽、23冷卻腔、24支撐桿、25圓柱、201內層、202外層、231回水腔、3隔熱板、4密封圈、5軟膠墊、6支撐爪、61凸起、62沉孔、7圓桿、72方形塊、8圓管、81塊、9彈簧、10螺母、11導熱板、12進水口、13出水口、14螺栓。

具體實施方式

下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

請參閱圖1-4，本發(fā)明提供一種技術方案：

一種減壓擴散爐爐口的密封裝置，包括石英管1及爐門2，爐門2包括由螺栓14連接的內層201及外層202，內層201與外層202在圓周連接處設有冷卻腔23，內層201在圓周處設有外圈及內圈21，外圈及內圈21之間設有放置槽，外圈靠近放置槽一側裝有密封圈4，外圈另一側且靠近密封圈4處設有卡槽22，內層201與外層202在端面連接處設有回水腔231，回水腔231與冷卻腔23連通，冷卻腔23處設有進水口12，回水腔231處設有出水口13，所述外層202的端蓋中間設有圓柱25，端蓋上繞圓柱25還設有多個支撐桿24，支撐桿24通過銷連接支撐爪6，支撐爪6的一端設有凸起61，另一端設有沉孔62，塊81位于沉孔62內，塊81設于圓管8上，圓管8套設在圓桿7上，圓桿7的一端與圓柱25螺紋連接，另一端設有方形塊72且在圓管8與方形塊72之間還設有螺紋。

卡槽22內設有軟膠墊5，向外旋出圓桿7，支撐爪6上的凸起61抓住在爐門2外圈的卡槽22內，軟膠墊5可保護爐門2，避免凸起61與爐門2剛性接觸，損壞爐門2。

支撐桿24的端部及支撐爪6上設有用于銷連接的通孔，支撐爪6上設有方形槽，方形槽的兩側設有孔。支撐爪6上方形槽的長度大于支撐桿24的長度，使旋出或旋入圓桿7時，支撐爪6與支撐桿24相對轉動使，兩者之間不會卡滯。

沉孔62內裝有彈簧9，彈簧9靠近沉孔62孔口的一端連接塊81。向外旋出圓桿7時，支撐爪6關閉時，壓縮彈簧9。

外圈及內圈21之間放置槽的槽寬大小取決于石英管1的厚度，槽寬大于石英管1的厚度。

圓柱25中心凹槽的底部設有貫通的小孔，圓桿7向凹槽內旋入時，避免凹槽內部形成高壓使圓桿7無法旋入。

內圈21上設有多個插槽，靠近石英管1處插入隔熱板3，靠近爐門2處插入導熱板11。冷卻腔23中的水熱交換后進入回水腔231，與導熱板11熱交換，提高爐門2端蓋的溫度，減少隔熱板3兩側爐門2與石英管1內的溫度差，穩(wěn)定石英管1內的溫度平衡。

本實施例中，向外旋出圓桿7時，支撐爪6抓住在爐門2外圈的卡槽22內，并壓緊卡槽22；卡槽22靠近密封圈4，支撐爪6壓緊卡槽22后，使密封圈4進一步壓緊，加強爐門2的密封性，避免在負壓狀態(tài)下，外接污染源進入石英管1內，影響電池片的擴散質量；另一方面冷卻腔23冷卻后的水進入回水腔231，提高爐門2端蓋的溫度，縮小爐門2與石英管1之間的溫差，保證石英管1內部的熱平衡。

本實施例實施后產生的效果如下，

1、電池片方阻均勻性改善：

方阻的大小是由擴散到硅片中磷原子量來決定。均勻性計算公式：(rmax-rmin)/(rmax+rmin)。均勻性越好，說明擴散的越均勻，均勻性數值越小均勻性越好。通過測試5組電池片四周的4個點和中心點的方阻值，來計算方阻的均勻性，并提供5組現有技術的5組電池片作為對照，數據得出如下表。

由表中數據看出本實施例加強爐門2的密封性，并穩(wěn)定石英管1內的溫度平衡，電池片的方阻均勻性明顯好轉。

2、效率提升：

因石英管1內溫度平衡及爐門2的密封性變好，電池片的擴散環(huán)境好轉，電池片的平均轉換效率也有所提升，由之前的18.233％提升為18.274％。

盡管已經示出和描述了本發(fā)明的實施例，對于本領域的普通技術人員而言，可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由所附權利要求及其等同物限定。