本發(fā)明屬于功能材料領域，具體涉及一種低溫下制備六方相bmn薄膜/粉體的方法。

背景技術：

復合鈣鈦礦結構ba(b'l/3b"2/3)o3(b'＝zn,mg,ni,co等；b"＝ta,nb)體系由于具有其他體系無可比擬的優(yōu)異性能，是研究的最廣泛的一類低損耗微波介電陶瓷，其中鈮鎂酸鋇ba(mg1/3nb2/3)o3(bmn)一直是研究的熱點，取得了最廣泛的研究，并且被商業(yè)化生產(chǎn)應用到無線通訊設備中。尤其是具有六方相結構的鈮鎂酸鋇ba(mg1/3nb2/3)o3陶瓷陶瓷擁有良好的頻率溫度穩(wěn)定性、高的品質(zhì)因數(shù)和適中的介電常數(shù)，并作為介質(zhì)諧振器、介質(zhì)濾波器、介質(zhì)天線等器件廣泛的應用在無線移動通訊、衛(wèi)星通信、衛(wèi)星定位導航、雷達等眾多領域。

研究發(fā)現(xiàn)，陶瓷材料的本征和非本征損耗都是影響其品質(zhì)因子的重要因素。提高b位的有序度，使其各種缺陷(疇界、空間電荷等)減少，從而降低ba(b'l/3b"2/3)o3化合物陶瓷微波介電損耗。因此，提高bmn陶瓷的1:2有序度可以降低損耗，從而提高其介電性能。在過去的研究中，采用固相合成法制備bmn陶瓷，必須要到1400℃才能獲得純鈣鈦礦相的bmn陶瓷。同時采用改進燃燒合成法制備bmn粉體，至少要在800℃下才能得到純鈣鈦礦結構的bmn粉體。但是就bmn薄膜而言，由于基底限制，薄膜的生長會受到基底晶格失配，籽晶成核等復雜因素的影響，退火溫度不能太高，因此，能在低溫下制備六方相的bmn薄膜很有意義。

通常情況下制備介電薄膜的方法主要有物理法和化學法兩種，物理法比如磁控濺射、脈沖激光沉積，雖然物理方法不易引入雜質(zhì)、污染少，但是設備昂貴，且通常需要原材料易于蒸發(fā)和濺射，有一定的局限性?；瘜W法主要是溶膠凝膠法和金屬有機溶液沉積法，優(yōu)點是可以高精度的薄膜成分控制，可以大面積成膜，較低的設備要求。其缺點是所用的原材料金屬醇鹽，價格十分昂貴，而且極易水解，制備過程要求極其苛刻。而且溶劑多為乙酸、乙二醇甲醚和2-氧基乙醇等有機溶劑，對環(huán)境和人的身體健康有很大的危害。而且其制備的bmn薄膜沒有發(fā)現(xiàn)具有六方相的結構。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術的不足，目的在于提供一種低溫下制備六方相bmn薄膜/粉體的方法。

為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用的技術方案為：

一種低溫下制備六方相bmn薄膜/粉體的方法，包括如下步驟：

(1)制備過氧-nb-檸檬酸溶液；

(2)采用水溶液凝膠法制備bmn前驅(qū)體溶液：a.將堿式碳酸鎂加入到檸檬酸中，40℃～60℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，攪拌至澄清，得到mg-ca前驅(qū)體溶液；b.將碳酸鋇加入到檸檬酸中，40℃～60℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，攪拌至澄清，得到ba-ca前驅(qū)體溶液；c.將ba-ca前驅(qū)體溶液加入到過氧-nb-檸檬酸溶液中，40℃～60℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，得到ba-nb-ca前驅(qū)體溶液；d.將mg-ca前驅(qū)體溶液加入到ba-nb-ca前驅(qū)體溶液，再加入適量檸檬酸，40℃～60℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，繼續(xù)攪拌1h，過濾，然后再向濾液中加入乙醇胺作為穩(wěn)定劑，40℃～60℃加熱攪拌1h，得到bmn前驅(qū)體溶液；

(3)將bmn前驅(qū)體液煅燒后制備得到六方相bmn粉體；或?qū)mn前驅(qū)體液采用旋涂法制備得到六方相bmn薄膜。

上述方案中，步驟(1)所述過氧-nb-檸檬酸溶液的制備方法包括如下步驟：稱取nb2o5和koh，混合研磨后倒入坩堝，以每分鐘5℃的速率升溫至550℃，保溫2.5h，慢慢加水溶解，轉(zhuǎn)移至燒杯中靜置一天一夜，過濾取上清液，并加入鹽酸調(diào)節(jié)ph值1～2，靜置一段時間，加超純水抽濾，完全去除cl^-1，得到鈮酸膠體(nb2o5·5h2o)，然后加入檸檬酸，雙氧水，在65℃下加熱攪拌5～10h，得到過氧-nb-檸檬酸溶液。

上述方案中，步驟(1)所述nb2o5與koh的摩爾比為1：20。

上述方案中，步驟(1)中，按摩爾比計，所述nb：檸檬酸：h2o2＝1：4～6：10～15。

上述方案中，步驟(2)中所述堿式碳酸鎂和檸檬酸的摩爾比為1:5；所述碳酸鋇和檸檬酸的摩爾比為1:2。

上述方案中，步驟(2)所述bmn前驅(qū)體溶液中，按摩爾比計，檸檬酸：(ba²⁺+mg²⁺+nb⁵⁺)為3～5：1，ba²⁺：mg²⁺：nb⁵⁺＝3：1：2。

上述方案中，步驟(2)所述bmn前驅(qū)體溶液中，按摩爾比計，所述乙醇胺：(ba²⁺+mg²⁺+nb⁵⁺)＝1：1。

上述方案中，所述六方相bmn粉體的制備方法為：將bmn前驅(qū)體溶液在80℃烘箱內(nèi)放置一天一夜，去除溶液內(nèi)水分，然后在600℃下煅燒2h，得到六方相bmn粉體。

上述方案中，所述六方相bmn薄膜的制備方法為：(1)將bmn前驅(qū)體溶液滴于基片上，用臺式勻膠機使溶液均勻地涂覆在基片上，然后分別放在180℃熱板上干燥2min、380℃熱板上干燥2min；(2)干燥后的薄膜分別在600℃熱分解10min，即完成一層薄膜的涂覆；(3)重復步驟(1)、(2)直至達到所需薄膜的厚度為止；(4)最后將薄膜于650℃退火1h，得到六方相bmn薄膜。

上述方案中，六方相bmn薄膜的制備過程中，所述bmn前驅(qū)體溶液的濃度為0.05～0.3mol/l；所述基片為pt/ti/sio2/si(100)。

本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明采用成本低、易制備、無污染的水溶液凝膠法來制備bmn薄膜/粉體，在600℃下煅燒得到六方相的bmn粉體，在650℃下退火得到六方相的bmn薄膜，極大地降低了退火溫度，實現(xiàn)了低溫制備六方相的bmn薄膜/粉體；所制備的六方相bmn薄膜/粉體與立方相的bmn薄膜/粉體相比，b位1:2有序度高，介電性能增強，品質(zhì)因子隨著b位1:2有序度的增加而增加；六方相的bmn薄膜/粉體由于其具有較低的介電損耗、非常高的品質(zhì)因數(shù)和近零的諧振頻率溫度系數(shù)等優(yōu)秀的介電性能，可以成為介電諧振器、介電濾波器、微波電容器等微波元器件的關鍵材料，廣泛的應用于微波和無線通訊領域。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例1制得的bmn粉體的xrd圖譜。

圖2為本發(fā)明實施例1制得的bmn粉體的差熱分析圖譜。

圖3為本發(fā)明實施例1制得的bmn粉體的拉曼分析圖譜。

圖4為本發(fā)明實施例3制得的bmn薄膜的fesem圖譜。

圖5為本發(fā)明實施例5制得的bmn薄膜的xrd圖譜。

圖6為本發(fā)明實施例5制得的bmn薄膜的拉曼分析圖譜。

圖7為本發(fā)明實施例5制得的bmn薄膜的介電常數(shù)和介電損耗隨頻率的變化圖譜。

具體實施方式

為了更好地理解本發(fā)明，下面結合實施例進一步闡明本發(fā)明的內(nèi)容，但本發(fā)明的內(nèi)容不僅僅局限于下面的實施例。

實施例1

一種低溫下制備六方相bmn粉體的方法，包括如下步驟：

(1)配制過氧-nb-檸檬酸溶液：按摩爾比1：20稱取0.02molnb2o5和0.4molkoh，將兩者混合研磨，并以每分鐘5℃的速率加熱至550℃保溫2.5h使其共熔，冷卻至室溫后加水溶解，靜置過濾取上清液，加鹽酸調(diào)節(jié)ph值在1～2，超純水洗去cl^-1，得到鈮酸膠體(nb2o5·5h2o)；按照nb：檸檬酸：h2o2＝1：4：10的比例依次加入檸檬酸和雙氧水，并用超純水定容值200ml，在65℃下加熱攪拌，6h之后得到澄清的過氧-nb-檸檬酸溶液，然后蒸發(fā)濃縮到100ml，稱取適量的前驅(qū)體溶液，煅燒，確定nb的實際含量；

(2)根據(jù)ba(mg1/3nb2/3)o3的化學計量比稱取0.00017mol的堿式碳酸鎂(4mgco3mg(oh)2·5h2o)和0.0025mol的碳酸鋇，計算0.0017mol的nb所需的過氧-nb-檸檬酸溶液的容量并量取，將堿式碳酸鎂加入到檸檬酸中(堿式碳酸鎂和檸檬酸的摩爾比為1:5)，40℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，攪拌至澄清，得到mg-ca前驅(qū)體溶液；將碳酸鋇加入到檸檬酸中(碳酸鋇和檸檬酸的摩爾比為1:2)，40℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，攪拌至澄清，得到ba-ca前驅(qū)體溶液；將ba-ca前驅(qū)體溶液加入到過氧-nb-檸檬酸溶液中，40℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，得到ba-nb-ca前驅(qū)體溶液；將mg-ca前驅(qū)體溶液加入到ba-nb-ca前驅(qū)體溶液，再加入適量的ca，使檸檬酸：(ba²⁺+mg²⁺+nb⁵⁺)為3：1，加入氨水調(diào)節(jié)ph在7～8之間，并在40℃下加熱攪拌30min，加入乙醇胺0.3g，40℃下加熱攪拌1小時，加超純水定容至25ml，就得到25ml的0.1mol/l的bmn前驅(qū)體溶液；

(3)將得到的bmn前驅(qū)體溶液，分別在500℃、550℃、600℃、650℃、700℃下煅燒2小時，得到bmn粉體。

本實施例制備所得bmn粉體進行xrd測試，結果如圖1所示，可以看到在550℃就可以得到完全鈣鈦礦結構的bmn晶相，進行差熱分析如圖所示2所示，在595℃有一個放熱峰，將其與拉曼分析和xrd分析比較得出，此峰應該是立方相bmn晶體向六方相bmn晶體轉(zhuǎn)變的峰。對其進行拉曼光譜分析如圖所示3所示，bmn粉體在600℃以上的拉曼峰對應六方結構的ba基復合鈣鈦礦的活性模。因此可以得出在600℃時得到六方相的bmn粉體。

實施例2

一種低溫下制備六方相bmn薄膜的方法，包括如下步驟：

(1)配制過氧-nb-檸檬酸溶液：按摩爾比1：20稱取0.02molnb2o5和0.4molkoh，將兩者混合研磨，并以每分鐘5℃的速率加熱至550℃保溫2.5h使其共熔，冷卻至室溫后加水溶解，靜置過濾取上清液，加鹽酸調(diào)節(jié)ph值在1～2，超純水洗去cl^-1，得到鈮酸膠體(nb2o5·5h2o)；按照nb：檸檬酸：h2o2＝1：5：10的比例依次加入檸檬酸和雙氧水，并用超純水定容值200ml，在65℃下加熱攪拌，6h之后得到澄清的過氧-nb-檸檬酸溶液，然后蒸發(fā)濃縮到100ml，稱取適量的前驅(qū)體溶液，煅燒，確定nb的實際含量；

(2)根據(jù)ba(mg1/3nb2/3)o3的化學計量比稱取0.00017mol的堿式碳酸鎂(4mgco3mg(oh)2·5h2o)和0.0025mol的碳酸鋇，計算0.0017mol的nb所需的過氧-nb-檸檬酸溶液的容量并量取，將堿式碳酸鎂加入到檸檬酸中(堿式碳酸鎂和檸檬酸的摩爾比為1:5)，40℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，攪拌至澄清，得到mg-ca前驅(qū)體溶液；將碳酸鋇加入到檸檬酸中(碳酸鋇和檸檬酸的摩爾比為1:2)，40℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，攪拌至澄清，得到ba-ca前驅(qū)體溶液；將ba-ca前驅(qū)體溶液加入到過氧-nb-檸檬酸溶液中，40℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，得到ba-nb-ca前驅(qū)體溶液；將mg-ca前驅(qū)體溶液加入到ba-nb-ca前驅(qū)體溶液，再加入適量的ca，使檸檬酸：(ba²⁺+mg²⁺+nb⁵⁺)為4：1，加入氨水調(diào)節(jié)ph在7～9之間，并在40℃下加熱攪拌30min，加入乙醇胺0.3g，40℃下加熱攪拌1小時，加超純水定容至25ml，就得到25ml的0.1mol/l的bmn前驅(qū)體溶液；

(3)將步驟(2)所得的bmn前驅(qū)體溶液滴于pt/ti/sio2/si(100)基片上，用臺式勻膠機使溶液均勻地涂覆在基片上，然后分別在180℃、380℃下各干燥2min；

(4)將步驟(3)干燥后的薄膜在600℃下熱分解10min，即完成一層的旋涂；

(5)重復步驟(3)和(4)制備多層薄膜；

(6)將制備出來的多層薄膜在650℃下退火1h，得到相應的bmn薄膜。

本實施例制備的薄膜采用agilent4294阻抗分析儀1m頻率檢測得到的介電常數(shù)和介電損耗分別為28.5和0.041。

實施例3

一種低溫下制備六方相bmn薄膜的方法，包括如下步驟：

(1)配制過氧-nb-檸檬酸溶液：按摩爾比1：20稱取0.02molnb2o5和0.4molkoh，將兩者混合研磨，并以每分鐘5℃的速率加熱至550℃保溫2.5h使其共熔，冷卻至室溫后加水溶解，靜置過濾取上清液，加鹽酸調(diào)節(jié)ph值在1～2，超純水洗去cl^-1，得到鈮酸膠體(nb2o5·5h2o)；按照nb：檸檬酸：h2o2＝1：6：10的比例依次加入檸檬酸和雙氧水，并用超純水定容值200ml，在65℃下加熱攪拌，6h之后得到澄清的過氧-nb-檸檬酸溶液，然后蒸發(fā)濃縮到100ml，稱取適量的前驅(qū)體溶液，煅燒，確定nb的實際含量；

(2)根據(jù)ba(mg1/3nb2/3)o3的化學計量比稱取0.00017mol的堿式碳酸鎂(4mgco3mg(oh)2·5h2o)和0.0025mol的碳酸鋇，計算0.0017mol的nb所需的過氧-nb-檸檬酸溶液的容量并量取，將堿式碳酸鎂加入到檸檬酸中(堿式碳酸鎂和檸檬酸的摩爾比為1:5)，40℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，攪拌至澄清，得到mg-ca前驅(qū)體溶液；將碳酸鋇加入到檸檬酸中(碳酸鋇和檸檬酸的摩爾比為1:2)，40℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，攪拌至澄清，得到ba-ca前驅(qū)體溶液；將ba-ca前驅(qū)體溶液加入到過氧-nb-檸檬酸溶液中，40℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，得到ba-nb-ca前驅(qū)體溶液；將mg-ca前驅(qū)體溶液加入到ba-nb-ca前驅(qū)體溶液，再加入適量的ca，使檸檬酸：(ba²⁺+mg²⁺+nb⁵⁺)為5：1，加入氨水調(diào)節(jié)ph在7～8之間，并在40℃下加熱攪拌30min，加入乙醇胺0.3g，40℃下加熱攪拌1小時，加超純水定容至25ml，就得到25ml的0.1mol/l的bmn前驅(qū)體溶液；

(3)將步驟(2)所得的bmn前驅(qū)體溶液滴于pt/ti/sio2/si(100)基片上，用臺式勻膠機使溶液均勻地涂覆在基片上，然后分別在180℃、380℃下各干燥2min；

(4)將步驟(3)干燥后的薄膜在600℃下熱分解10min，即完成一層的旋涂；

(5)重復步驟(3)和(4)制備多層薄膜；

(6)將制備出來的多層薄膜在650℃下退火1h，得到相應的bmn薄膜。

本實施例制備的bmn薄膜sem圖譜如圖4所示，可以看出薄膜均勻致密，有少量氣孔。

實施例4

一種低溫下制備六方相bmn薄膜的方法，包括如下步驟：

(1)配制過氧-nb-檸檬酸溶液：按摩爾比1：20稱取0.02molnb2o5和0.4molkoh，將兩者混合研磨，并以每分鐘5℃的速率加熱至550℃保溫2.5h使其共熔，冷卻至室溫后加水溶解，靜置過濾取上清液，加鹽酸調(diào)節(jié)ph值在1～2，超純水洗去cl^-1，得到鈮酸膠體(nb2o5·5h2o)；按照nb：檸檬酸：h2o2＝1：6：10的比例依次加入檸檬酸和雙氧水，并用超純水定容值200ml，在65℃下加熱攪拌，6h之后得到澄清的過氧-nb-檸檬酸溶液，然后蒸發(fā)濃縮到100ml，稱取適量的前驅(qū)體溶液，煅燒，確定nb的實際含量；

(2)根據(jù)ba(mg1/3nb2/3)o3的化學計量比稱取0.00025mol的堿式碳酸鎂(4mgco3mg(oh)2·5h2o)和0.00375mol的碳酸鋇，計算0.0025mol的nb所需的過氧-nb-檸檬酸溶液的容量并量取，將堿式碳酸鎂加入到檸檬酸中(堿式碳酸鎂和檸檬酸的摩爾比為1:5)，40℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，攪拌至澄清，得到mg-ca前驅(qū)體溶液；將碳酸鋇加入到檸檬酸中(碳酸鋇和檸檬酸的摩爾比為1:2)，40℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，攪拌至澄清，得到ba-ca前驅(qū)體溶液；將ba-ca前驅(qū)體溶液加入到過氧-nb-檸檬酸溶液中，40℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，得到ba-nb-ca前驅(qū)體溶液；將mg-ca前驅(qū)體溶液加入到ba-nb-ca前驅(qū)體溶液，再加入適量的ca，使檸檬酸：(ba²⁺+mg²⁺+nb⁵⁺)為4：1，加入氨水調(diào)節(jié)ph在7～8之間，并在40℃下加熱攪拌30min，加入乙醇胺0.45g，40℃下加熱攪拌1小時，加超純水定容至25ml，就得到25ml的0.15mol/l的bmn前驅(qū)體溶液；

(3)將步驟(2)所得的bmn前驅(qū)體溶液滴于pt/ti/sio2/si(100)基片上，用臺式勻膠機使溶液均勻地涂覆在基片上，然后分別在180℃、380℃下各干燥2min；

(4)將步驟(3)干燥后的薄膜在600℃下熱分解10min，即完成一層的旋涂；

(5)重復步驟(3)和(4)制備多層薄膜；

(6)將制備出來的多層薄膜在650℃下退火1h，得到相應的bmn薄膜。

本實施例制備的薄膜采用agilent4294阻抗分析儀1m頻率檢測得到的介電常數(shù)和介電損耗分別為30.2和0.037。

實施例5

一種低溫下制備六方相bmn薄膜的方法，包括如下步驟：

(1)配制過氧-nb-檸檬酸溶液：按摩爾比1：20稱取0.02molnb2o5和0.4molkoh，將兩者混合研磨，并以每分鐘5℃的速率加熱至550℃保溫2.5h使其共熔，冷卻至室溫后加水溶解，靜置過濾取上清液，加鹽酸調(diào)節(jié)ph值在1～2，超純水洗去cl^-1，得到鈮酸膠體(nb2o5·5h2o)；按照nb：檸檬酸：h2o2＝1：5：10的比例依次加入檸檬酸和雙氧水，并用超純水定容值200ml，在65℃下加熱攪拌，6h之后得到澄清的過氧-nb-檸檬酸溶液，然后蒸發(fā)濃縮到100ml，稱取適量的前驅(qū)體溶液，煅燒，確定nb的實際含量；

(2)根據(jù)ba(mg1/3nb2/3)o3的化學計量比稱取0.00083mol的堿式碳酸鎂(4mgco3mg(oh)2·5h2o)和0.0025mol的碳酸鋇，計算0.0017mol的nb所需的過氧-nb-檸檬酸溶液的容量并量取，將堿式碳酸鎂加入到檸檬酸中(堿式碳酸鎂和檸檬酸的摩爾比為1:5)，40℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，攪拌至澄清，得到mg-ca前驅(qū)體溶液；將碳酸鋇加入到檸檬酸中(碳酸鋇和檸檬酸的摩爾比為1:2)，40℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，攪拌至澄清，得到ba-ca前驅(qū)體溶液；將ba-ca前驅(qū)體溶液加入到過氧-nb-檸檬酸溶液中，40℃加熱攪拌條件下，調(diào)節(jié)ph值7～9，得到ba-nb-ca前驅(qū)體溶液；將mg-ca前驅(qū)體溶液加入到ba-nb-ca前驅(qū)體溶液，再加入適量的ca，使檸檬酸：(ba²⁺+mg²⁺+nb⁵⁺)為3：1，加入氨水調(diào)節(jié)ph在7～8之間，并在40℃下加熱攪拌30min，加入乙醇胺0.3g，40℃下加熱攪拌1小時，加超純水定容至25ml，就得到25ml的0.1mol/l的bmn前驅(qū)體溶液；

(3)將步驟(2)所得的bmn前驅(qū)體溶液滴于pt/ti/sio2/si(100)基片上，用臺式勻膠機使溶液均勻地涂覆在基片上，然后分別在180℃、380℃下各干燥2min；

(4)將步驟(3)干燥后的薄膜在600℃下熱分解10min，即完成一層的旋涂；

(5)重復步驟(3)和(4)制備多層薄膜；

(6)將制備出來的多層薄膜在550℃、600℃、650℃、700℃、750℃、800℃下退火1h，得到相應的bmn薄膜。

本實施例制備所得不同退火溫度的bmn薄膜的xrd圖譜如圖5所示，說明在550℃時就可以得到完全鈣鈦礦結構的bmn晶相。圖6表示是bmn薄膜的拉曼分析，發(fā)現(xiàn)在650℃下拉曼峰對應六方結構的ba基復合鈣鈦礦的活性模，說明在650℃下得到六方相的bmn薄膜。并且根據(jù)圖6發(fā)現(xiàn)，隨著熱處理的溫度越高，散射峰的數(shù)量增加、峰強增強、半高寬變窄，說明熱處理的溫度升高更多立方相結構的bmn氧八面體發(fā)生扭曲，轉(zhuǎn)變?yōu)榱较嘟Y構的bmn晶體，b位陽離子1：2有序度增加。采用agilent4294阻抗分析儀得到的介電常數(shù)和介電損耗隨頻率的變化情況如圖7所示，圖7說明了隨著退火溫度的上升，b位有序度的增加，薄膜質(zhì)量的提升，介電常數(shù)增加，介電損耗降低。因此可以看出薄膜的介電性能隨b位陽離子有序度的增加而增加。

顯然，上述實施例僅僅是為清楚地說明所作的實例，而并非對實施方式的限制。對于所屬領域的普通技術人員來說，在上述說明的基礎上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而因此所引申的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護范圍之內(nèi)。