本發(fā)明涉及tft玻璃基板技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種tft玻璃基板減薄處理工藝。
背景技術(shù)：
目前移動終端輕薄化要求日益高漲，智能手機、平板電腦等新興消費類電子產(chǎn)品的顯示屏往往只有0.4mm-0.6mm厚度。tft設(shè)備很難處理0.3mm以下的基板玻璃，而傳統(tǒng)的tft一般在0.5mm左右，加上中間填充液晶一般達(dá)到1.0mm-1.4mm左右，滿足顯示器件輕薄化需求最經(jīng)濟(jì)實惠的方法只能通過化學(xué)或物理方法進(jìn)行玻璃減薄。行業(yè)內(nèi)使用的tft玻璃基板薄化液主要成分為hf(氫氟酸)和純水、濃度在8％-15％之間，玻璃表面蝕刻效果不佳，其表面劃傷被放大、凹點及凸點比較難以控制，且氫氟酸具有劇毒，生產(chǎn)過程對操作員工的危害性較大，廢水、廢棄物處理困難，使用一到兩次之后，蝕刻液中會產(chǎn)生大量的粘稠粉末體，影響蝕刻液的利用率，且氫氟酸具有劇毒，生產(chǎn)過程對操作員工危害性較大。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明旨在提供了一種tft玻璃基板減薄處理工藝。
本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：
一種tft玻璃基板減薄處理工藝，包括以下步驟：
(1)對tft玻璃基板進(jìn)行外觀檢查,用uv膠水對tft玻璃基板四邊進(jìn)行封邊處理,用uv固化機固化uv膠水,清洗并去除邊緣溢膠；
(2)對tft玻璃基板表面進(jìn)行清洗，放入槽內(nèi)，用溫度為30℃純水浸泡8-12min，去除玻璃表面異物；
(3)用夾具把tft玻璃基板放入蝕刻液的槽內(nèi)，溫度加熱到30-32℃,對玻璃進(jìn)行蝕刻處理2-3h；
(4)用夾具把蝕刻好的tft玻璃基板放入清洗槽內(nèi)，用純水進(jìn)行清洗，放入第一槽內(nèi)，用溫度為30℃純水浸泡10-15min，再放入第二槽內(nèi)用溫度為45℃純水浸泡5-8min，再進(jìn)行品質(zhì)檢驗、物理拋光，終檢包裝入庫。
所述步驟(4)中純水為超純水，其純度≥99.99％。
所述步驟(3)中蝕刻液為質(zhì)量百分比為10-14％氫氟酸、9-16％氟化氫銨、8-14％硝酸、12-18％硫酸、15-22％鹽酸、7-9％尿素。
所述步驟(3)中蝕刻液的槽內(nèi)底部有用潔凈空氣將溶液循環(huán)攪動。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明用環(huán)保型玻璃蝕刻液能有效控制化學(xué)蝕刻過程中玻璃產(chǎn)生的凹點、劃傷缺陷的放大，軟化玻璃粉解決蝕刻過程中邊緣凸起問題，且安全、穩(wěn)定，有效滿足tft玻璃基板減薄品質(zhì)要求，滿足了客戶的需求，同時大大降低了蝕刻液的毒性，生產(chǎn)員工操作更加安全可靠，而且本發(fā)明新型環(huán)保蝕刻液在過濾后可以循環(huán)使用，對tft品質(zhì)要求具有很大的改善，特別是對玻璃在生產(chǎn)過程中出現(xiàn)的玻璃表面劃傷放大、凹點及凸點具有明顯改善。
具體實施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明實施例，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
實施例一種tft玻璃基板減薄處理工藝，包括以下步驟：
(1)對tft玻璃基板進(jìn)行外觀檢查,用uv膠水對tft玻璃基板四邊進(jìn)行封邊處理,用uv固化機固化uv膠水,清洗并去除邊緣溢膠；
(2)對tft玻璃基板表面進(jìn)行清洗，放入槽內(nèi)，用溫度為30℃純水浸泡8-12min，去除玻璃表面異物；
(3)用夾具把tft玻璃基板放入蝕刻液的槽內(nèi)，溫度加熱到30-32℃,對玻璃進(jìn)行蝕刻處理2-3h；
(4)用夾具把蝕刻好的tft玻璃基板放入清洗槽內(nèi)，用純水進(jìn)行清洗，放入第一槽內(nèi)，用溫度為30℃純水浸泡10-15min，再放入第二槽內(nèi)用溫度為45℃純水浸泡5-8min，再進(jìn)行品質(zhì)檢驗、物理拋光，終檢包裝入庫。
所述步驟(4)中純水為超純水，其純度≥99.99％。
所述步驟(3)中蝕刻液為質(zhì)量百分比為10-14％氫氟酸、9-16％氟化氫銨、8-14％硝酸、12-18％硫酸、15-22％鹽酸、7-9％尿素。
所述步驟(3)中蝕刻液的槽內(nèi)底部有用潔凈空氣將溶液循環(huán)攪動。
對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本發(fā)明不限于所述示范性實施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現(xiàn)本發(fā)明。因此，無論從哪一點來看，均應(yīng)將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是所述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個整體，各實施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實施方式。