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一種微波陶瓷材料及其制備方法與流程

文檔序號(hào):11766188閱讀:332來源:國知局
本發(fā)明涉及陶瓷材料
技術(shù)領(lǐng)域
,尤其是涉及一種微波陶瓷材料及其制備方法。
背景技術(shù)
:隨著一系列高新科技的快速發(fā)展,通信技術(shù)也在不斷地進(jìn)步,尤其是移動(dòng)通信、衛(wèi)星通信、全球衛(wèi)星定位系統(tǒng)(gps、藍(lán)牙技術(shù)以及無線局域網(wǎng))等現(xiàn)代通信得到了飛速發(fā)展,對(duì)高性能、高品質(zhì)化的微波介質(zhì)器件材料的需求量日益增加。國內(nèi)移動(dòng)通信市場(chǎng)發(fā)展速度位居世界第一,移動(dòng)電話用戶數(shù)目及網(wǎng)絡(luò)容量龐大,在gsm蜂窩通信系統(tǒng)中微波基地站發(fā)射機(jī)、接收機(jī)以及移動(dòng)電話均需要大量的諧振器、濾波器、振蕩器、介質(zhì)天線等微波介質(zhì)陶瓷材料。微波信號(hào)的頻率極高,波長(zhǎng)極短,信息容量大,有強(qiáng)方向性、穿透性和吸收能力,并且微波設(shè)備可實(shí)現(xiàn)通信的保密性,十分有利于在通信
技術(shù)領(lǐng)域
和軍事領(lǐng)域中的應(yīng)用。微波陶瓷作為現(xiàn)代通信中的一種關(guān)鍵材料,能夠應(yīng)用于微波頻段(主要是uhf、shf頻段)電路中作為介質(zhì)材料。由于微波介質(zhì)陶瓷介質(zhì)諧振器等微波元器件具有體積小、質(zhì)量輕、性能穩(wěn)定、價(jià)格便宜等優(yōu)點(diǎn),它克服了傳統(tǒng)的金屬諧振腔和金屬波導(dǎo)的體積與重量過大等缺點(diǎn),有利于微波電路的集成化、模塊化,在近二十多年來得到迅速的發(fā)展,而我國早已成為移動(dòng)通信用微波介質(zhì)元器件的最大市場(chǎng)。評(píng)價(jià)微波介質(zhì)陶瓷的性能主要有介電常數(shù)ε,品質(zhì)因子(q)與諧振頻率(f)的乘積qf值和諧振頻率溫度系數(shù)τf。其中,諧振頻率溫度系數(shù)是指諧振頻率的溫度穩(wěn)定性,隨著通信技術(shù)飛速發(fā)展帶來對(duì)微波介質(zhì)材料越來越高的要求,傳統(tǒng)近零單一的頻率溫度系數(shù)已不能很好地滿足要求,因此越來越寬的頻率溫度系數(shù)可調(diào)范圍愈顯其必要性?,F(xiàn)有技術(shù)在已有的高q值微波陶瓷材料中,a(b′1/3b″2/3)o3系列鈮鉭酸鹽微波陶瓷在很高的微波頻率下具有極低的介電損耗,qf值可達(dá)十萬以上,bazn1/3ta2/3o3即是其中一種典型材料,也是研究較多且比較成熟的典型高q值材料。但是極高的燒結(jié)溫度(>1600℃)使得該材料難于燒結(jié),而且在高溫?zé)Y(jié)過程中zn易于揮發(fā)導(dǎo)致材料的介電性能惡化,因此有關(guān)bazn1/3ta2/3o3的摻雜改性研究成為該領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。通過一系列助燒劑的摻雜可獲得穩(wěn)定高q值,然而面對(duì)市場(chǎng)上對(duì)高q值微波材料越來越寬的頻率溫度系數(shù)要求,要在現(xiàn)有微波介質(zhì)陶瓷中隨意調(diào)整其諧振頻率溫度系數(shù)且保持極高的品質(zhì)因子則顯得非常困難。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:有鑒于此,本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在于提供一種微波陶瓷材料,本發(fā)明提供的微波陶瓷材料低損耗、高q值,并且頻率溫度系數(shù)可調(diào)。本發(fā)明提供了一種微波陶瓷材料,包括:式(ⅰ)所示的固溶體和式(ii)所示的氧化物;(bazn1/3ta2/3o3)1-x·(baro3)x式(ⅰ);wmon式(ii);其中,r選自ti、sn和zr中的一種或多種;w選自v、mn、nb和ta中的一種或多種;0.01≤x≤0.05;1≤m≤2,2≤n≤5。優(yōu)選的,所述0.01≤x≤0.04。優(yōu)選的,所述式(ii)所示的氧化物占混合物的質(zhì)量百分比為0.1%~0.5%。本發(fā)明提供了一種如上述技術(shù)方案所述的微波陶瓷材料的制備方法,包括如下步驟:a)將baco3、zno、ta2o5、ro2按照比例混合,球磨,預(yù)燒,得到固溶體;所述baco3、zno、ta2o5和ro2的混合摩爾比為3:(1-x):(1-x):3x;b)將所述固溶體與wmon混合,球磨,烘干,得到混合物。優(yōu)選的,步驟a)所述球磨的轉(zhuǎn)速為1500r/min~1800r/min,所述球磨的時(shí)間為4h~8h。優(yōu)選的,步驟a)所述預(yù)燒的溫度為1200℃~1350℃;預(yù)燒的時(shí)間為2~6h。優(yōu)選的,步驟b)所述球磨的轉(zhuǎn)速為1500r/min~1800r/min,所述球磨的時(shí)間為4h~8h。優(yōu)選的,步驟b)所述烘干的溫度為90~98℃;烘干的時(shí)間為6~10h。本發(fā)明提供了一種微波陶瓷的制備方法,包括如下步驟:a)將baco3、zno、ta2o5、ro2按照比例混合,球磨,預(yù)燒,得到固溶體;所述baco3、zno、ta2o5和ro2的混合摩爾比為3:(1-x):(1-x):3x;b)將所述固溶體與wmon混合,球磨,烘干,得到混合物;c)將所述混合物與粘結(jié)劑混合烘干、壓制、燒結(jié)得到微波陶瓷。優(yōu)選的,步驟c)所述燒結(jié)的溫度為1560~1630℃;所述燒結(jié)的時(shí)間為4~10h。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明提供了一種微波陶瓷材料,包括:式(ⅰ)所示的固溶體和式(ii)所示的氧化物;(bazn1/3ta2/3o3)1-x·(baro3)x式(ⅰ);wmon式(ii);其中,r選自ti、sn和zr中的一種或多種;w選自v、mn、nb和ta中的一種或多種;0.01≤x≤0.05;1≤m≤2,2≤n≤5。本發(fā)明提供的微波陶瓷材料包括(bazn1/3ta2/3o3)1-x·(baro3)x的固溶體,再通過將wmon氧化物摻雜混合制備得到的陶瓷材料品質(zhì)因子q值高,頻率溫度系數(shù)可調(diào),制備要求的工藝條件低,損耗低,介電性能良好。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,本發(fā)明微波陶瓷材料制備得到的微波陶瓷介電常數(shù)εr為29~31,諧振頻率溫度系數(shù)τf為+0.5~+9ppm/℃,qf為110000~160000ghz。具體實(shí)施方式本發(fā)明提供了一種微波陶瓷材料,包括:式(ⅰ)所示的固溶體和式(ii)所示的氧化物;(bazn1/3ta2/3o3)1-x·(baro3)x式(ⅰ);wmon式(ii);其中,r選自ti、sn和zr中的一種或多種;w選自v、mn、nb和ta中的一種或多種;0.01≤x≤0.05;1≤m≤2,2≤n≤5。本發(fā)明所述的微波陶瓷材料為本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的微波陶瓷粉;為制備微波陶瓷的原料,其燒結(jié)之后可以用于制備微波陶瓷。本發(fā)明提供的微波陶瓷材料為式(ⅰ)所示的固溶體和式(ii)所示的氧化物的混合物。其中,(bazn1/3ta2/3o3)1-x·(baro3)x式(ⅰ);r選自ti、sn和zr中的一種或多種;0.01≤x≤0.05;優(yōu)選的,0.01≤x≤0.04;更優(yōu)選的,0.01≤x≤0.035;最優(yōu)選的,0.01≤x≤0.03。wmon式(ii);w選自v、mn、nb和ta中的一種或多種;1≤m≤2,2≤n≤5。其中,所述式(ii)所示的氧化物占混合物的質(zhì)量百分比優(yōu)選為0.1%~0.5%;更優(yōu)選為0.2%~0.4%。其中,式(ⅰ)所示的固溶體為鈣鈦礦材料,bazn1/3ta2/3o3為介電常數(shù)適中,損耗極低,諧振頻率溫度系數(shù)趨近于0;而baro3為諧振頻率溫度系數(shù)較高,損耗與介電常數(shù)適中。本發(fā)明通過特定的配比使得二者固溶,最終再通過wmon的摻雜,最終制備得到的陶瓷材料品質(zhì)因子q值高,頻率溫度系數(shù)可調(diào),制備要求的工藝條件低,損耗低,介電性能良好??梢杂糜谛畔⒐δ懿牧?br>技術(shù)領(lǐng)域
。本發(fā)明其中一部分實(shí)施例中,微波陶瓷材料為(bazn1/3ta2/3o3)0.99·(basno3)0.01和tio2的混合物;本發(fā)明其中一部分實(shí)施例中,微波陶瓷材料為(bazn1/3ta2/3o3)0.98·(bazro3)0.02和tio2的混合物;本發(fā)明其中一部分實(shí)施例中,微波陶瓷材料為(bazn1/3ta2/3o3)0.985·(batio3)0.015和tio2、v2o5的混合物;本發(fā)明其中一部分實(shí)施例中,微波陶瓷材料為(bazn1/3ta2/3o3)0.985·(batio3)0.0155和mno2、nb2o5的混合物;本發(fā)明其中一部分實(shí)施例中,微波陶瓷材料為(bazn1/3ta2/3o3)0.985·(batio3)0.015和nb2o5的混合物;本發(fā)明其中一部分實(shí)施例中,微波陶瓷材料為(bazn1/3ta2/3o3)0.97·(batio3)0.03和ta2o5的混合物。本發(fā)明提供了一種如上述技術(shù)方案所述的微波陶瓷材料的制備方法,包括如下步驟:a)將baco3、zno、ta2o5、ro2按照比例混合,球磨,預(yù)燒,得到固溶體;所述baco3、zno、ta2o5和ro2的混合摩爾比為3:(1-x):(1-x):3x;b)將所述固溶體與wmon混合,球磨,烘干,得到混合物。本發(fā)明提供的微波陶瓷材料的制備方法采用的原料是baco3、zno、ta2o5、ro2,由上述方法制備得到的微波陶瓷材料為式(ⅰ)所示的固溶體和式(ii)所示的氧化物的混合物。按照本發(fā)明,由于原料的含量、配比等不同,使得上述混合物的化學(xué)式和組成發(fā)生變化,得到不同的陶瓷材料。按照本發(fā)明,首先將baco3、zno、ta2o5、ro2按照比例混合。所述baco3、zno、ta2o5和ro2的混合摩爾比為3:(1-x):(1-x):3x;其中,0.01≤x≤0.05;優(yōu)選的,0.01≤x≤0.04;更優(yōu)選的,0.01≤x≤0.035;最優(yōu)選的,0.01≤x≤0.03。r選自ti、sn和zr中的一種或多種。本發(fā)明對(duì)于上述baco3、zno、ta2o5、ro2的來源不進(jìn)行限定,可以是市售?;旌虾笄蚰?,本發(fā)明對(duì)于所述球磨的具體方式不進(jìn)行限定,優(yōu)選在高能球磨機(jī)中球磨;所述球磨的轉(zhuǎn)速優(yōu)選為1500r/min~1800r/min,更優(yōu)選為1600r/min~1800r/min,最優(yōu)選為1600r/min~1700r/min,所述球磨的時(shí)間優(yōu)選為4h~8h;更優(yōu)選為4h~6h。通過所述球磨能夠?qū)⒃匣旌暇鶆?。球磨后?yōu)選為烘干、研磨粉碎、過篩。本發(fā)明對(duì)于所述烘干、研磨的具體方式不進(jìn)行限定,本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的即可。在本發(fā)明中,所述烘干的溫度優(yōu)選為80~98℃;更優(yōu)選為90~98℃;最優(yōu)選為95~98℃;所述烘干的時(shí)間優(yōu)選為6~10h;更優(yōu)選為6~8h。所述研磨的時(shí)間優(yōu)選為4小時(shí),過篩100目。研磨后經(jīng)預(yù)燒得到固溶體。本發(fā)明所述預(yù)燒結(jié)的溫度優(yōu)選為1200℃~1350℃;更優(yōu)選為1200℃~1300℃;所述預(yù)燒的時(shí)間優(yōu)選為2~6h;更優(yōu)選為2~5h。得到固溶體后,將所述固溶體與wmon混合,球磨,烘干,得到混合物。其中wmon占所述固溶體的質(zhì)量百分比優(yōu)選為0.1%~0.5%;更優(yōu)選為0.2%~0.4%。本發(fā)明對(duì)于所述混合方式不進(jìn)行限定,本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的即可?;旌现鬄榍蚰?,本發(fā)明對(duì)于所述球磨的具體方式不進(jìn)行限定,優(yōu)選在高能球磨機(jī)中球磨;所述球磨的轉(zhuǎn)速優(yōu)選為1500r/min~1800r/min,更優(yōu)選為1600r/min~1800r/min,最優(yōu)選為1600r/min~1700r/min,所述球磨的時(shí)間優(yōu)選為4h~8h;更優(yōu)選為4h~6h。球磨后為烘干,本發(fā)明對(duì)于所述烘干的具體方式不進(jìn)行限定,本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的即可。在本發(fā)明中,所述烘干的溫度優(yōu)選為80~98℃;更優(yōu)選為90~98℃;最優(yōu)選為95~98℃;所述烘干的時(shí)間優(yōu)選為6~10h;更優(yōu)選為6~8h。烘干后得到的即為微波陶瓷材料,可以進(jìn)一步燒結(jié)得到微波陶瓷。本發(fā)明提供了一種微波陶瓷的制備方法,包括如下步驟:a)將baco3、zno、ta2o5、ro2按照比例混合,球磨,預(yù)燒,得到固溶體;所述baco3、zno、ta2o5和ro2的混合比例為3:(1-x):(1-x):3x;b)將所述固溶體與wmon混合,球磨,烘干,得到混合物;c)將所述混合物與粘結(jié)劑混合烘干、壓制、燒結(jié)得到微波陶瓷。步驟a)和步驟b)上述已經(jīng)有清楚的描述,在此不再贅述。得到混合物后,將所述混合物與粘結(jié)劑混合烘干、壓制、燒結(jié)得到微波陶瓷。在本發(fā)明中,所述粘結(jié)劑包括但不限于聚乙烯醇;所述粘結(jié)劑的添加量?jī)?yōu)選為混合物重量的10%~15%;更優(yōu)選為11%~14%;最優(yōu)選為12%~13%?;旌虾鬄楹娓?,本發(fā)明對(duì)于所述烘干的具體方式不進(jìn)行限定,本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的即可。按照本發(fā)明,所述烘干的溫度優(yōu)選為80~98℃;更優(yōu)選為90~98℃;最優(yōu)選為95~98℃;所述烘干的時(shí)間優(yōu)選為6~10h;更優(yōu)選為6~8h。烘干后為壓制,本發(fā)明對(duì)于所述烘干的具體方式不進(jìn)行限定,本領(lǐng)域技術(shù)人員熟知的即可。優(yōu)選在壓機(jī)上壓制得到圓柱形坯體。得到坯體后,經(jīng)燒結(jié)得到微波陶瓷。按照本發(fā)明,所述燒結(jié)的溫度優(yōu)選為1560~1630℃;更優(yōu)選為1560~1620℃;最優(yōu)選為1560~1600℃;所述燒結(jié)的時(shí)間為優(yōu)選4~10h;更優(yōu)選為4~8h;最優(yōu)選為4~7h。本發(fā)明先合成(bazn1/3ta2/3o3)1-x-(baro3)x粉體,然后加入(wmon)y粉體進(jìn)行混合,把最終所得粉體加入聚乙烯醇混合均勻并壓制成圓柱狀坯體,然后在進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)成瓷,即可得到高品質(zhì)因數(shù)且頻率溫度系數(shù)可調(diào)的微波陶瓷。本發(fā)明制備得到的微波陶瓷,相對(duì)于傳統(tǒng)的bazn1/3ta2/3o3微波陶瓷,制備條件要求低,具有較低的燒結(jié)溫度和較短的燒結(jié)時(shí)間,并且無需后續(xù)熱處理工藝。同時(shí)本發(fā)明的微波陶瓷品質(zhì)因素更高、諧振頻率溫度系數(shù)可調(diào)、損耗更低,性能測(cè)試表明能夠獲得較好的微波介電性能:介電常數(shù)εr介于29~31,諧振頻率溫度系數(shù)τff介于+0.5~+9ppm/℃,品質(zhì)因子與諧振頻率的乘積qf介于100000~140000ghz??梢蕴娲鷅azn1/3ta2/3o3體系用于制備在溫度穩(wěn)定性方面有更多不同要求的一系列微波陶瓷。為了進(jìn)一步說明本發(fā)明,以下結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提供的微波陶瓷材料及其制備方法進(jìn)行詳細(xì)描述。實(shí)施例1將baco3、zno、ta2o5、sno2按照比例混合,在高能球磨機(jī)中1500r/min球磨6h球磨,98℃6h烘干,研磨,1200℃預(yù)燒結(jié),得到固溶體;所述baco3、zno、ta2o5和sno2的混合比例為3:0.99:0.99:0.03;將所述固溶體與0.3wt%tio2混合,1500r/min二次球磨6h,98℃6h烘干,得到混合物;將所述混合物與10%wt%聚乙烯醇粘結(jié)劑混合烘干,在壓制機(jī)上壓制成圓柱形坯體,再經(jīng)過1600℃燒結(jié)6h得到微波陶瓷。此時(shí),微波陶瓷的主要成分為(bazn1/3ta2/3o3)0.99·(basno3)0.01和tio2。經(jīng)測(cè)定,本發(fā)明實(shí)施例和比較例制備得到的微波陶瓷的性能數(shù)據(jù)如表1所示。實(shí)施例2將baco3、zno、ta2o5、sno2、zro2按照比例混合,在高能球磨機(jī)中1600r/min球磨6h球磨,95℃7h烘干,研磨,1200℃預(yù)燒結(jié),得到固溶體;所述baco3、zno、ta2o5和(sno2、zro2)的混合比例為3:0.98:0.98:0.06;將所述固溶體與0.3wt%tio2混合,1600r/min二次球磨6h,98℃6h烘干,得到混合物;將所述混合物與10%wt%聚乙烯醇粘結(jié)劑混合烘干,在壓制機(jī)上壓制成圓柱形坯體,再經(jīng)過1580℃燒結(jié)7h得到微波陶瓷。此時(shí),微波陶瓷的主要成分為(bazn1/3ta2/3o3)0.98·(bazro3)0.02和tio2。經(jīng)測(cè)定,本發(fā)明實(shí)施例和比較例制備得到的微波陶瓷的性能數(shù)據(jù)如表1所示。實(shí)施例3將baco3、zno、ta2o5、tio2和zro2按照比例混合,在高能球磨機(jī)中1800r/min球磨6h球磨,95℃7h烘干,研磨,1300℃預(yù)燒結(jié),得到固溶體;所述baco3、zno、ta2o5、(tio2和zro2)的混合比例為3:0.985:0.985:0.045;將所述固溶體與0.2wt%tio2和0.2wt%v2o5混合,1800r/min二次球磨6h,98℃6h烘干,得到混合物;將所述混合物與15%wt%聚乙烯醇粘結(jié)劑混合烘干,在壓制機(jī)上壓制成圓柱形坯體,再經(jīng)過1570℃燒結(jié)8h得到微波陶瓷。此時(shí),微波陶瓷的主要成分為(bazn1/3ta2/3o3)0.985·(batio3)0.015和tio2、v2o5。經(jīng)測(cè)定,本發(fā)明實(shí)施例和比較例制備得到的微波陶瓷的性能數(shù)據(jù)如表1所示。實(shí)施例4將baco3、zno、ta2o5、tio2按照比例混合,在高能球磨機(jī)中1800r/min球磨6h球磨,96℃8h烘干,研磨,1320℃預(yù)燒結(jié),得到固溶體;所述baco3、zno、ta2o5、tio2的混合比例為3:0.985:0.985:0.045;將所述固溶體與0.2wt%mno2和0.3wt%nb2o5混合,1800r/min二次球磨6h,98℃6h烘干,得到混合物;將所述混合物與15%wt%聚乙烯醇粘結(jié)劑混合烘干,在壓制機(jī)上壓制成圓柱形坯體,再經(jīng)過1610℃燒結(jié)8h得到微波陶瓷。此時(shí),微波陶瓷的主要成分為(bazn1/3ta2/3o3)0.985·(batio3)0.0155和mno2、nb2o5。經(jīng)測(cè)定,本發(fā)明實(shí)施例和比較例制備得到的微波陶瓷的性能數(shù)據(jù)如表1所示。實(shí)施例5將baco3、zno、ta2o5、tio2、sno2按照比例混合,在高能球磨機(jī)中1800r/min球磨6h球磨,96℃8h烘干,研磨,1320℃預(yù)燒結(jié),得到固溶體;所述baco3、zno、ta2o5、(tio2、sno2)的混合比例為3:0.985:0.985:0.045;將所述固溶體與0.2wt%nb2o5混合,1800r/min二次球磨6h,98℃6h烘干,得到混合物;將所述混合物與15%wt%聚乙烯醇粘結(jié)劑混合烘干,在壓制機(jī)上壓制成圓柱形坯體,再經(jīng)過1595℃燒結(jié)9h得到微波陶瓷。此時(shí),微波陶瓷的主要成分為(bazn1/3ta2/3o3)0.985·(batio3)0.015和nb2o5。經(jīng)測(cè)定,本發(fā)明實(shí)施例和比較例制備得到的微波陶瓷的性能數(shù)據(jù)如表1所示。實(shí)施例6將baco3、zno、ta2o5、tio2、sno2、zro2按照比例混合,在高能球磨機(jī)中1600r/min球磨6h球磨,96℃8h烘干,研磨,1320℃預(yù)燒結(jié),得到固溶體;所述baco3、zno、ta2o5、(tio2、sno2、zro2)的混合比例為3:0.97:0.97:0.09;將所述固溶體與0.2wt%nb2o5、0.4wt%ta2o5混合,1600r/min二次球磨6h,98℃6h烘干,得到混合物;將所述混合物與15%wt%聚乙烯醇粘結(jié)劑混合烘干,在壓制機(jī)上壓制成圓柱形坯體,再經(jīng)過1620℃燒結(jié)7h得到微波陶瓷。此時(shí),微波陶瓷的主要成分為(bazn1/3ta2/3o3)0.97·(batio3)0.03和ta2o5。經(jīng)測(cè)定,本發(fā)明實(shí)施例和比較例制備得到的微波陶瓷的性能數(shù)據(jù)如表1所示。比較例1將baco3、zno、ta2o5按照比例混合,在高能球磨機(jī)中1600r/min球磨6h球磨,96℃8h烘干,研磨,1320℃預(yù)燒結(jié),得到固溶體;將所述固溶體與15%wt%聚乙烯醇粘結(jié)劑混合烘干,在壓制機(jī)上壓制成圓柱形坯體,再經(jīng)過1700℃燒結(jié)7h得到微波陶瓷。此時(shí),微波陶瓷的主要成分為bazn1/3ta2/3o3。經(jīng)測(cè)定,本發(fā)明實(shí)施例和比較例制備得到的微波陶瓷的性能數(shù)據(jù)如表1所示。比較例2將baco3、zno、ta2o5按照比例混合,在高能球磨機(jī)中1600r/min球磨6h球磨,96℃8h烘干,研磨,1320℃預(yù)燒結(jié),得到固溶體;所述baco3、zno、ta2o5的混合比例為3:0.97:0.97;將所述固溶體與0.3wt%tio2混合,1600r/min二次球磨6h,98℃6h烘干,得到混合物;將所述混合物與15%wt%聚乙烯醇粘結(jié)劑混合烘干,在壓制機(jī)上壓制成圓柱形坯體,再經(jīng)過1670℃燒結(jié)7h得到微波陶瓷。此時(shí),微波陶瓷的主要成分為bazn1/3ta2/3o3和tio2。經(jīng)測(cè)定,本發(fā)明實(shí)施例和比較例制備得到的微波陶瓷的性能數(shù)據(jù)如表1所示。表1為本發(fā)明實(shí)施例和比較例制備得到的微波陶瓷的性能數(shù)據(jù)實(shí)施例εrτf(ppm/℃)qf(ghz)實(shí)施例129+0.5100000實(shí)施例230.5+1125000實(shí)施例329+2115000實(shí)施例430+3.5105000實(shí)施例530+5135000實(shí)施例629.5+7120000比較例128+185000比較例229+2.590000以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本
技術(shù)領(lǐng)域
的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾,這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。當(dāng)前第1頁12
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