本發(fā)明涉及單晶爐生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種單晶爐氣體供應(yīng)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。

單晶直徑在生長過程中可受到溫度，提拉速度與轉(zhuǎn)速，坩堝跟蹤速度與轉(zhuǎn)速，保護氣體的流速等因素的影響。其中溫度主要決定能否成晶，而速度將直接影響到晶體的內(nèi)在質(zhì)量，而這種影響卻只能在單晶拉出后通過檢測才能獲知。溫度分布合適的熱場，不僅單晶生長順利，而且品質(zhì)較高；如果熱場的溫度分布不是很合理,生長單晶的過程中容易產(chǎn)生各種缺陷,影響質(zhì)量，情況嚴重的出現(xiàn)變晶現(xiàn)象生長不出來單晶。因此在投資單晶生長企業(yè)的前期，一定要根據(jù)生長設(shè)備，配置出最合理的熱場，從而保證生產(chǎn)出來的單晶的品質(zhì)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明需要解決的技術(shù)問題是提供一種控制精度高的單晶爐氣體供應(yīng)系統(tǒng)。

為解決上述的技術(shù)問題，本發(fā)明的單晶爐氣體供應(yīng)系統(tǒng)，包括plc控制器，還包括傳感器單元，所述傳感器單元與plc控制器輸入端相連接，所述plc控制器輸出端分別與電磁閥、供氣泵和報警器相連接；所述plc控制器由電源供電，所述plc控制器的輸出端還連接有顯示燈，所述plc控制器輸入端還連接有起/停按鈕。

進一步的，所述傳感器單元包括流量傳感器和壓強傳感器，所述壓強傳感器與plc控制器輸入端相連接，所述流量傳感器通過a/d轉(zhuǎn)換器與plc控制器輸入端相連接。

進一步的，所述plc控制器通過rs232接口與上位管理機相連接。

進一步的，所述電源與plc控制器之間連接有手/自動切換模塊。

更進一步的，所述手/自動切換模塊包括手/自動切換按鈕，所述手/自動切換按鈕與繼電器控制端相連接；所述繼電器輸出端與電源相連接，所述電源與繼電器之間連接有電磁閥和供氣泵的并聯(lián)電路，所述電磁閥支路上設(shè)置有電磁閥開關(guān)，所述供氣泵支路上設(shè)置有供氣泵開關(guān)。

更進一步的，所述手/自動切換按鈕與手動指示燈相串聯(lián)，所述電磁閥與電磁閥指示燈相串聯(lián)，所述供氣泵與供氣泵指示燈相串聯(lián)。

采用上述結(jié)構(gòu)后，本發(fā)明可以通過plc控制器根據(jù)傳感數(shù)據(jù)自動實現(xiàn)對單晶爐的恒壓供氣，也可以切換到手動模式，自主的對單晶爐進行供氣，這樣手/自動配合提升了供氣效率，也滿足了不同單晶爐拉晶的差異需求。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本發(fā)明作進一步詳細的說明。

圖1為本發(fā)明單晶爐氣體供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)框圖。

圖2為本發(fā)明手/自動切換模塊的電路原理圖。

圖中：1為plc控制器，2為流量傳感器，3為壓強傳感器，4為起/停按鈕，5為a/d轉(zhuǎn)換器，6為電磁閥，7為供氣泵，8為報警器，9為rs232接口，10為上位管理機，11為電源，12為手/自動切換模塊，13為顯示燈，14為繼電器，15為手/自動切換按鈕，16為手動指示燈，17為電磁閥指示燈，18為電磁閥開關(guān)，19為供氣閥指示燈，20為供氣泵開關(guān)

具體實施方式

如圖1所示，本發(fā)明的單晶爐氣體供應(yīng)系統(tǒng)，包括plc控制器1，還包括傳感器單元，所述傳感器單元與plc控制器1輸入端相連接，所述plc控制器1輸出端分別與電磁閥6、供氣泵7和報警器8相連接。所述plc控制器1由電源11供電，所述plc控制器1的輸出端還連接有顯示燈13，所述plc控制器輸入端還連接有起/停按鈕4。

進一步的，所述傳感器單元包括流量傳感器2和壓強傳感器3，所述壓強傳感器3與plc控制器1輸入端相連接，所述流量傳感器2通過a/d轉(zhuǎn)換器5與plc控制器輸入端相連接。

進一步的，為了便于管理和上傳數(shù)據(jù)，所述plc控制器1通過rs232接口9與上位管理機10相連接。

進一步的，所述電源11與plc控制器1之間連接有手/自動切換模塊12。如圖2所示，所述手/自動切換模塊12包括手/自動切換按鈕15，所述手/自動切換按鈕15與繼電器14控制端相連接；所述繼電器14輸出端與電源相連接，所述電源11與繼電器14之間連接有電磁閥6和供氣泵7的并聯(lián)電路，所述電磁閥支路上設(shè)置有電磁閥開關(guān)18，所述供氣泵支路上設(shè)置有供氣泵開關(guān)20。

更進一步的，為了能夠更好的指示系統(tǒng)手/自動工作狀態(tài)，所述手/自動切換按鈕15與手動指示燈16相串聯(lián)；同樣，為了能夠更好的指示電磁閥、供氣泵工作狀態(tài)，所述電磁閥6與電磁閥指示燈17相串聯(lián)，所述供氣泵7與供氣泵指示燈19相串聯(lián)。

雖然以上描述了本發(fā)明的具體實施方式，但是本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員應(yīng)當理解，這些僅是舉例說明，可以對本實施方式作出多種變更或修改，而不背離本發(fā)明的原理和實質(zhì)，本發(fā)明的保護范圍僅由所附權(quán)利要求書限定。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及單晶爐生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種單晶爐氣體供應(yīng)系統(tǒng)，包括PLC控制器，還包括傳感器單元，所述傳感器單元與PLC控制器輸入端相連接，所述PLC控制器輸出端分別與電磁閥、供氣泵和報警器相連接；所述PLC控制器由電源供電，所述PLC控制器的輸出端還連接有顯示燈，所述PLC控制器輸入端還連接有起/停按鈕。采用上述結(jié)構(gòu)后，本發(fā)明可以通過PLC控制器根據(jù)傳感數(shù)據(jù)自動實現(xiàn)對單晶爐的恒壓供氣，也可以切換到手動模式，自主的對單晶爐進行供氣，這樣手/自動配合提升了供氣效率，也滿足了不同單晶爐拉晶的差異需求。

技術(shù)研發(fā)人員：張兆民
受保護的技術(shù)使用者：張兆民
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.26
技術(shù)公布日：2017.09.29