本發(fā)明屬于大規(guī)模制備一維納米線技術領域,更具體地說,涉及一種硅納米線的制備方法。
背景技術:
隨著人口和經濟的不斷增長,自然資源日益枯竭,人們越來越關注新能源的開發(fā)與利用,尤其是清潔可再生的太陽能。在太陽能轉化方面,半導體材料有著得天獨厚的優(yōu)勢,能夠高效轉化太陽能。近年來,隨著技術的不斷發(fā)展,人們發(fā)現(xiàn)硅材料作為一種性能優(yōu)良、儲量豐富的半導體材料,具有很大的發(fā)掘空間。隨著納米技術領域的不斷探索,具有一維納米結構的材料如硅納米線,越來越多引起人們的研究興趣。一維的硅納米線具備納米材料特有的納米效應,如量子尺寸效應、小尺寸效應、表面效應等,使其在傳感器、電子器件等領域具有良好的應用前景。如何簡單、低成本的制備硅納米線成為一項重要課題。
目前硅納米線的制備方法主要分為兩大類:“自下而上”(bottom-up)以及“自上而下”(top-down)。自下而上的方法主要是依靠納米技術,利用催化生長納米線,該方法可以一次性制備大量的硅納米線,但是難以實現(xiàn)定位生長。主要的操作方法包括化學氣相沉積(cvd)法(journalofmaterialsscienceletters,2001,20:89-91)、等離子體增強化學氣相沉積法(journalofcrystalgrowth,2003,247:13-16)等。自上而下的方法主要是通過對硅材料進行刻蝕過程,從而得到一定的線狀結構。cn102815701a和cn103337455a公開了一種用氫氟酸-硝酸銀和氫氟酸-雙氧水為刻蝕液的金輔助化學刻蝕法制備硅納米線。cn101117208a公開了一種采用等離子體刻蝕硅納米線的方法。tian等人通過電子束曝光定義硅納米線寬度,通過干法和濕法刻蝕硅襯底,得到了懸空的硅納米線,并進一步制備了晶體管(ieeeinternationalelectrondevicesmeeting,2007),singh等人采用交替式掩膜光刻剪裁技術和干法刻蝕得到了長度不同,寬度在40-50nm的硅納米線,并得到了硅納米線圍欄器件(ieeeinternationalelectrondevicesmeeting,2006)。另外lu等人報道了氣-液-固(vls)法制備硅納米線的方法并研究了其直徑的依附性關系。硅納米線的制備還包括了其他一些方法,但是總的來說,化學氣相沉積法設備成熟,但是納米線的分布范圍較大,相比于其他方法產量較低。激光燒蝕法純度高、產量大,但是設備昂貴生產成本較高。有機溶液生長方法制備硅納米線,表現(xiàn)出很好的化學選擇性及可控性,但由于有機溶劑毒性大,對環(huán)境污染很大,不符合現(xiàn)代工業(yè)的環(huán)保要求,不適于工業(yè)化生產。模板法工序復雜,且浪費嚴重,且實質上并不是依靠硅的自組裝生長而是依靠模板的堆積生長。
以上報道的這些制備方法普遍存在原料成本高、設備要求高、污染嚴重、批量生產困難等問題。因此,需要提供一種操作簡單、能耗少、適合大規(guī)模制備的硅納米線制備方法。
技術實現(xiàn)要素:
針對現(xiàn)有技術存在的原料成本高、設備要求高、污染嚴重、批量生產困難等缺陷,本發(fā)明的目的在于提供一種硅納米線材料及其制備方法,所述硅納米線材料的制備方法工藝簡單、過程清潔并且生產成本低廉,設備簡單,無需添加金屬催化劑、無需生長模板,適用于大規(guī)模的生產,具有廣闊的應用前景。
為達到上述目的,本發(fā)明采用的技術方案為一種大規(guī)模制備硅納米線的方法,包括以下步驟:
(1)以酸洗石棉為原料,分別用低濃度及高濃度酸液進行酸化預處理,除去鈣、鎂雜質,制備得到二氧化硅納米線;
(2)將步驟(1)制備得到的二氧化硅納米線與鎂粉進行充分混合,在手套箱中密封于反應釜內,在氬氣保護下通過鎂熱反應將二氧化硅納米線還原為硅納米線;
(3)將步驟(2)制備得到的硅納米線浸入鹽酸中,以去除氧化鎂雜質,多次離心清洗干燥后得到硅納米線。
進一步,上述步驟(1)中所述的酸洗石棉為未經處理的商業(yè)酸洗石棉。
進一步,上述步驟(1)中所述的酸化預處理包括兩步,首先采用低濃度酸在常溫下酸化1-10h,然后與高濃度酸在80-120℃下酸化1-6h。
進一步,上述步驟(1)中所述低濃度酸的濃度為0.2-0.4m,高濃度酸的濃度為2-4m。
進一步,上述步驟(1)中所述低濃度酸可以為鹽酸、硫酸、乙酸、硝酸中的一種或幾種混合后的酸液。
進一步,上述步驟(1)中所述高濃度酸為鹽酸、硫酸、乙酸、硝酸中的一種或幾種混合后的酸液。
進一步,上述步驟(2)中所述鎂熱反應時,鎂與的二氧化硅的摩爾比為1.8~2.2:1。
進一步,上述步驟(2)中所述鎂熱反應溫度為600-700℃,升溫速率為1-10°每分鐘,反應時間為4-10h,保護氣體為氬氣。
進一步,上述步驟(3)中所述鹽酸的濃度為0.5-5m,反應時間為6-12h。
進一步,上述步驟(3)中所制備的硅納米線直徑為20-100nm,長度為1~5μm。
與現(xiàn)有技術相比,本發(fā)明的有益效果:
1,硅納米線材料的制備方法工藝簡單、過程清潔并且生產成本低廉,設備簡單,無需添加金屬催化劑、無需生長模板;
2,適用于大規(guī)模的生產,具有廣闊的應用前景。
附圖說明
圖1為本發(fā)明實施例1制備的硅納米線掃描電鏡圖片;
圖2為本發(fā)明實施例2酸處理后的石棉x射線衍射圖;
圖3為本發(fā)明實施例2制備的硅納米線x射線衍射圖。
具體實施方式
下面結合附圖和具體實施例,對本發(fā)明做進一步說明。
實施例1:
(1)稱取20g酸洗石棉,常溫下加入2l濃度為0.3m的鹽酸中低速攪拌2h,使酸洗石棉充分溶解于鹽酸中。
(2)將得到的絮狀物清洗過濾兩次,并將濾餅轉移至2l濃度為3m的鹽酸中,充分攪拌使其溶解。
(3)采用油浴方式加熱至100℃,不斷攪拌,冷凝回流2h。
(4)將溶液趁熱過濾,并用去離子水清洗3次后烘干待用。
(5)稱取15g制備的二氧化硅納米線與12g鎂粉,充分混合后在手套箱中密封于反應釜內。
(6)將反應釜在650℃下保溫4h,升溫速率為3℃每分鐘,氬氣為保護氣。
(7)等待冷卻至室溫后,打開反應釜將產物浸入3m鹽酸中,攪拌12h后,用去離子水多次洗滌直至中性。
(8)將產物充分烘干并保存,最終得到硅納米線。
將制備的硅納米線進行掃描電鏡觀測,結果如圖1所示。所制備的硅納米線直徑為40-100nm,長度為1-3μm。
實施例2:
(1)稱取30g酸洗石棉,常溫下加入4l濃度為0.25m的乙酸中低俗攪拌6h,使酸洗石棉充分溶解于乙酸中。
(2)將得到的絮狀物清洗過濾兩次,并將濾餅轉移至4l濃度為4m的乙酸中,充分攪拌使其溶解。
(3)采用油浴方式加熱至110℃,保持不斷攪拌,冷凝回流4h。
(4)待溶液冷卻至室溫后,用去離子水清洗過濾3次后烘干待用。
(5)稱取20g制備的二氧化硅納米線與15g鎂粉進行充分混合,在手套箱中密封于反應釜內。
(6)將反應釜640℃下保溫8h,升溫速率為2℃每分鐘,氬氣為保護氣。
(7)待冷卻至室溫后,打開反應釜將產物浸入3m鹽酸中,攪拌12h使其充分清洗,并用去離子水多次洗滌直至中性。
(8)將產物充分烘干并保存,得到硅納米線。
將酸洗石棉與制備的硅納米線分別進行x射線衍射檢測,結果如圖2與圖3所示。酸洗石棉為非晶態(tài),沒有明顯的衍射峰。而制備的硅納米線峰形結構完好,完全符合硅所對應的衍射晶面。
實施例3:
(1)稱取15g酸洗石棉,常溫下加入1.5l濃度為0.2m的硝酸中攪拌2h,使酸洗石棉充分溶解于硝酸中。
(2)將得到的絮狀物清洗過濾兩次,并將濾餅轉移2l濃度為2.5m的硝酸中,充分攪拌使其溶解。
(3)采用水浴方式加熱至95℃,保持攪拌,并冷凝回流4h。
(4)趁熱過濾,并用去離子水清洗3次后烘干待用。
(5)稱取10g制備的二氧化硅納米線與10g鎂粉混合,在手套箱中密封于反應釜內。
(6)將反應釜在670℃下保溫5h,升溫速率為1.5℃每分鐘,氬氣為保護氣。
(7)待冷卻至室溫后打開反應釜將產物浸入3m鹽酸中不斷攪拌清洗10h,并用去離子水多次洗滌直至中性。
(8)將產物充分烘干并保存,得到硅納米線。
實施例4:
(1)稱取10g酸洗石棉,常溫下加入1l濃度為0.2m的鹽酸與硫酸混合液中攪拌2h,使酸洗石棉充分溶解于混合酸液中。
(2)將得到的絮狀物清洗過濾兩次,并將濾餅轉移1.5l濃度為2m的鹽酸與硫酸混合液中,充分攪拌使其溶解。
(3)采用水浴方式加熱至90℃,保持攪拌,并冷凝回流5h。
(4)待冷卻后過濾,并用去離子水清洗2次,烘干待用。
(5)稱取8g制備的二氧化硅納米線與6g鎂粉充分混合,在手套箱中密封于反應釜內。
(6)將反應釜在680℃下保溫4h,升溫速率為3℃每分鐘,氬氣為保護氣。
(7)待冷卻至室溫后打開反應釜將產物浸入2m鹽酸中不斷攪拌清洗10h,并用去離子水多次洗滌直至中性。
(8)將產物充分烘干并保存,得到硅納米線。
實施例5:
(1)稱取25g酸洗石棉,常溫下加入3l濃度為0.3m的硝酸與乙酸混合液中攪拌3h,使酸洗石棉充分溶解于混合液中。
(2)將得到的絮狀物清洗過濾三次,并將濾餅轉移3l濃度為4m的硝酸與乙酸混合液中,充分攪拌使其溶解。
(3)采用油浴將溶液加熱至110℃,保持攪拌,并冷凝回流3h。
(4)待冷卻后過濾,并用去離子水清洗2次,烘干待用。
(5)稱取20g制備的二氧化硅納米線與18g鎂粉充分混合,在手套箱中密封于反應釜內。
(6)將反應釜在620℃下保溫6h,升溫速率為1℃每分鐘,氬氣為保護氣。
(7)待冷卻至室溫后打開反應釜將產物浸入3m鹽酸中不斷攪拌清洗12h,并用去離子水多次洗滌直至中性。
(8)將產物充分烘干并保存,得到硅納米線。
實施例6:
(1)稱取8g酸洗石棉,常溫下加入1l濃度為0.25m的鹽酸中攪拌2h,使酸洗石棉充分溶解于鹽酸中。
(2)將得到的絮狀物清洗過濾三次,并將濾餅轉移1.5l濃度為2m的鹽酸中,充分攪拌使其溶解。
(3)采用水浴將溶液加熱至95℃,并且保持攪拌,冷凝回流2h。
(4)待冷卻后過濾,并用去離子水清洗2次,烘干待用。
(5)稱取5g制備的二氧化硅納米線與4.5g鎂粉充分混合,在手套箱中密封于反應釜內。
(6)將反應釜在650℃下保溫4h,升溫速率為2.5℃每分鐘,氬氣為保護氣。
(7)待冷卻至室溫后打開反應釜將產物浸入2m鹽酸中不斷攪拌清洗8h,并用去離子水多次洗滌直至中性。
(8)將產物充分烘干并保存,得到硅納米線。
實施例7:
(1)稱取18g酸洗石棉,常溫下加入3l濃度為0.3m的鹽酸、硝酸和乙酸的混合酸液中攪拌8h,使酸洗石棉充分溶解于混合酸液中。
(2)將得到的絮狀物清洗過濾三次,并將濾餅轉移4l濃度為3m的鹽酸、硝酸和乙酸的混合酸液中,充分攪拌使其溶解。
(3)采用水浴將溶液加熱至100℃,并且保持攪拌,冷凝回流3h。
(4)待冷卻后過濾,并用去離子水清洗2次,烘干待用。
(5)稱取15g制備的二氧化硅納米線與13g鎂粉充分混合,在手套箱中密封于反應釜內。
(6)將反應釜在650℃下保溫4h,升溫速率為5℃每分鐘,氬氣為保護氣。
(7)待冷卻至室溫后打開反應釜將產物浸入2m鹽酸中不斷攪拌清洗12h,并用去離子水多次洗滌直至中性。
(8)將產物充分烘干并保存,得到硅納米線。
以上僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例,僅用以說明技術方案而非限制。任何熟悉本領域的技術人員在本發(fā)明披露的技術范圍內簡單變化或等效替代的技術方案均落入本發(fā)明的保護范圍內。