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一種石墨平臺(tái)可滾動(dòng)式的SiC生長坩堝平臺(tái)的制作方法

文檔序號(hào):11372016閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種石墨平臺(tái)可滾動(dòng)式SiC生長坩堝平臺(tái),其特征在于,包括長方體形石墨平臺(tái)(2),所述的長方體形石墨平臺(tái)(2)上開設(shè)有坩堝槽(1),且坩堝槽(1)凹陷在長方體形石墨平臺(tái)(2)內(nèi)部,開口與長方體形石墨平臺(tái)(2)的上表面平齊;所述的坩堝槽(1)內(nèi)鋪設(shè)石墨氈(6),且石墨氈(6)內(nèi)部均勻分布有電阻絲(5),電阻絲(5)的端部裸露在石墨氈(6)的外部,SiC生長坩堝(7)放置在坩堝槽(1)內(nèi)部,其外表面與裸露的電阻絲端部相接;所述的長方體形石墨平臺(tái)(2)底部設(shè)置有滾動(dòng)輪(4)。

2.如權(quán)利要求1所述的石墨平臺(tái)可滾動(dòng)式SiC生長坩堝平臺(tái),其特征在于,所述的石墨氈(6)外部設(shè)置有通電按鈕(8)。

3.如權(quán)利要求1所述的石墨平臺(tái)可滾動(dòng)式SiC生長坩堝平臺(tái),其特征在于,所述的長方體形石墨平臺(tái)(2)放置在不銹鋼底座(3)上。

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