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一種藍(lán)寶石長晶爐籽晶冷卻與更換系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:11496405閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種藍(lán)寶石長晶爐籽晶冷卻與更換系統(tǒng),包括爐體(1)、籽晶桿(3)和冷卻室(4),所述爐體(1)上部設(shè)有副爐(2),爐體(1)與副爐(2)通過電動閥門(5)隔開,爐體(1)的頂部下方設(shè)有冷卻室(4),所述冷卻室(4)為環(huán)形套管結(jié)構(gòu),且冷卻室(4)的套管內(nèi)徑大于籽晶桿(3)的直徑,冷卻室(4)內(nèi)填充有高相變潛熱的液體,冷卻室(4)的上端連接有通往爐體(1)外部的回流管(6),所述籽晶桿(3)的下端穿過副爐(2)并伸入爐體(1)內(nèi)部,且籽晶桿(3)的下端端頭連接有籽晶(7),冷卻室(4)套設(shè)在籽晶桿(3)外部,籽晶桿(3)的上部與提拉裝置連接,所述副爐(2)下部側(cè)壁設(shè)有輸入冷氣的進(jìn)氣閥(8),上部設(shè)置有可密閉配合的爐蓋,中間部位連接有抽真空系統(tǒng)(9)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種藍(lán)寶石長晶爐籽晶冷卻與更換系統(tǒng),其特征在于:所述回流管(6)伸出爐體(1)的管體上繞設(shè)有用于將汽化的高相變潛熱液體液化的冷卻水管。

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