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一種改善的用于Nd:YAG晶體提拉的設(shè)備的制作方法

文檔序號:11400340閱讀:886來源:國知局
一種改善的用于Nd:YAG晶體提拉的設(shè)備的制造方法與工藝

本實用新型涉及提拉式晶體生長技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種改善的用于Nd:YAG晶體提拉的設(shè)備。



背景技術(shù):

晶體提拉法又稱丘克拉斯基法,此法是由熔體生長單晶的一項最主要的方法,適用于大尺寸完美晶體的批量生產(chǎn)。被加熱的提拉爐中盛著熔融的料,籽晶桿帶著籽晶由上而下插入熔體,由于固液界面附近的熔體維持一定的過冷度、熔體沿籽晶結(jié)晶,并隨籽晶的逐漸上升而生長成棒狀單晶。

目前國內(nèi)提拉法生長Nd:YAG單晶使用的坩堝底部邊緣為直角,在提拉生長過程中,底部邊緣熔液容易產(chǎn)生亂流,影響坩堝內(nèi)熔液的自然對流,導致熔液中摻雜離子Nd分布不均勻,提拉出的晶體摻雜離子Nd濃度分布不均,該改善的用于Nd:YAG晶體提拉的設(shè)備坩堝底部由直角改為圓弧面,很好地解決了坩堝內(nèi)熔液不同位置的流動干擾問題,使得提拉晶體時坩堝內(nèi)熔液的濃度分布更均勻,有效減少提拉出來的晶棒在不同位置的摻雜離子NdL離子濃度差。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點,而提出的一種改善的用于Nd:YAG晶體提拉的設(shè)備。

為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用了如下技術(shù)方案:一種改善的用于Nd:YAG晶體提拉的設(shè)備,包括爐體、電加熱裝置、控制箱和顯示屏,所述爐體的一側(cè)連接有電源線,所述爐體內(nèi)部安裝有電加熱裝置,所述電加熱裝置下方安裝有穩(wěn)壓器,所述電加熱裝置上方設(shè)置有坩堝,所述爐體內(nèi)部填充有保溫層,所述爐體上方覆蓋有與其配套使用的氧化鋁擋板和不銹鋼擋板,且不銹鋼擋板上方安裝有提拉裝置,所述爐體內(nèi)部一側(cè)表面嵌入安裝有溫度傳感器,所述爐體表面一側(cè)安裝有控制箱,所述控制箱表面上方安裝有顯示屏,所述顯示屏下方沿水平方向從左至右一次設(shè)有電源開關(guān)、指示燈和調(diào)節(jié)旋鈕。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述:

所述電源線的輸出端與控制箱的輸入端電性連接。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述:

所述穩(wěn)壓器的輸出端與電加熱裝置的輸入端電性連接。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述:

所述坩堝的內(nèi)部圓弧面結(jié)構(gòu)。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述:

所述溫度傳感器的輸出端與控制箱的輸入端電性連接。

作為上述技術(shù)方案的進一步描述:

所述控制箱輸出端分別與穩(wěn)壓器和提拉裝置的輸入端電性連接。

本實用新型中,首先,通過設(shè)置有穩(wěn)壓器,可以穩(wěn)定輸入電壓,使得電加熱裝置加熱時更加的穩(wěn)定,同時有效的保護電加熱裝置,延長其使用壽命,減少其出現(xiàn)故障的概率,其次通過將坩堝底部由直角改為圓弧面,很好地解決了坩堝內(nèi)熔液不同位置的流動干擾問題,使得提拉晶體時坩堝內(nèi)熔液的濃度分布更均勻,有效減少提拉出來的晶棒在不同位置的摻雜離子NdL離子濃度差,提高了該改善的用于Nd:YAG晶體提拉的設(shè)備的品質(zhì),增加了市場的競爭力。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種改善的用于Nd:YAG晶體提拉的設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為本實用新型提出的一種改善的用于Nd:YAG晶體提拉的設(shè)備的控制箱結(jié)構(gòu)示意圖。

圖例說明:

1-電源線、2-穩(wěn)壓器、3-爐體、4-電加熱裝置、5-保溫層、6-坩堝、7-提拉裝置、8-溫度傳感器、9-不銹鋼擋板、10-氧化鋁擋板、11-控制箱、12-顯示屏、13-電源開關(guān)、14-指示燈、15-調(diào)節(jié)旋鈕。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。

參照圖1-2,一種改善的用于Nd:YAG晶體提拉的設(shè)備,包括爐體3、電加熱裝置4、控制箱11和顯示屏12,爐體3的一側(cè)連接有電源線1,爐體3內(nèi)部安裝有電加熱裝置4,電加熱裝置4下方安裝有穩(wěn)壓器2,電加熱裝置4上方設(shè)置有坩堝6,爐體3內(nèi)部填充有保溫層5,爐體3上方覆蓋有與其配套使用的氧化鋁擋板10和不銹鋼擋板9,且不銹鋼擋板9上方安裝有提拉裝置7,爐體3內(nèi)部一側(cè)表面嵌入安裝有溫度傳感器8,爐體3表面一側(cè)安裝有控制箱11,控制箱11表面上方安裝有顯示屏12,顯示屏12下方沿水平方向從左至右一次設(shè)有電源開關(guān)13、指示燈14和調(diào)節(jié)旋鈕15。

電源線1的輸出端與控制箱11的輸入端電性連接,為該設(shè)備運行時提供電能,穩(wěn)壓器2的輸出端與電加熱裝置4的輸入端電性連接,坩堝6的內(nèi)部圓弧面結(jié)構(gòu),可以防止出現(xiàn)坩堝6內(nèi)熔液不同位置的流動干擾問題,使得提拉晶體時坩堝6內(nèi)熔液的濃度分布更均勻,有效減少提拉出來的晶棒在不同位置的摻雜離子NdL離子濃度差,溫度傳感器8的輸出端與控制箱11的輸入端電性連接,控制箱11輸出端分別與穩(wěn)壓器2和提拉裝置7的輸入端電性連接。

工作原理:該改善的用于Nd:YAG晶體提拉的設(shè)備使用時,首先將晶體放置在坩堝6的內(nèi)部,將電源線1接入到外接電源中,穩(wěn)壓器2可以穩(wěn)定輸入電壓,使得電加熱裝置4加熱時更加的穩(wěn)定,在進行提拉時打開電源開關(guān)13,指示燈14為綠色閃光時表示該設(shè)備正常運行,在轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)旋鈕15控制電加熱裝置4開始對坩堝6內(nèi)部的晶體進行加熱,同時提拉裝置7開始對晶體進行提拉,同時溫度傳感器8會采集爐體3內(nèi)部的溫度信息,并在顯示屏12中顯示,方便工作人員了解爐體內(nèi)部的溫度情況,提高了對晶體進行提拉的品質(zhì),保溫層5可以很好的保護爐體3內(nèi)部的溫度,防止熱量散失,提高了熱量的利用率。

以上所述,僅為本實用新型較佳的具體實施方式,但本實用新型的保護范圍并不局限于此,任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi),根據(jù)本實用新型的技術(shù)方案及其實用新型構(gòu)思加以等同替換或改變,都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。

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