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一種砷化鎵超薄襯底的制作方法

文檔序號:11329898閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種砷化鎵超薄襯底,所述砷化鎵超薄襯底的形狀為正六邊形,所述砷化鎵超薄襯底的內(nèi)部包括至少兩個邊長依次減小的多孔正六邊形,呈窩蜂狀。其加工方法為材料提純、多晶料制備、晶體生長、切片、磨邊、研磨、腐蝕、粗拋和精拋、清洗、光刻腐蝕,該超薄砷化鎵襯底應(yīng)用于熱核電池,可有效增強(qiáng)熱核電池對放射源輻射能量的吸收效果,提高轉(zhuǎn)換效率,電池輸出的電壓和電流可達(dá)到0?4V、0.8?2A。

技術(shù)研發(fā)人員:易德福;守建川
受保護(hù)的技術(shù)使用者:江西德義半導(dǎo)體科技有限公司
文檔號碼:201720170298
技術(shù)研發(fā)日:2017.02.24
技術(shù)公布日:2017.09.08

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