本發(fā)明涉及玻璃板以及其制造方法。

背景技術：

1、例如，作為拼接顯示器（微led等）、無邊框顯示器、玻璃中介層等的基板，利用具有配線（貫通電極等）用的細微的貫通孔的玻璃板。

2、這種貫通孔的加工工序例如包括：改質(zhì)工序，通過激光的照射將玻璃板中的貫通孔的加工預定部改質(zhì)而形成改質(zhì)部；以及蝕刻工序，蝕刻改質(zhì)部而形成貫通孔（例如，參照專利文獻1、2）。

3、現(xiàn)有技術文獻

4、專利文獻

5、專利文獻1：日本特開2018―199605號公報

6、專利文獻2：日本特開2020―66551號公報

技術實現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的課題

2、在上述那樣的加工工序中，在改質(zhì)工序中形成的改質(zhì)部與未改質(zhì)的部分相比蝕刻速率較高，因此在蝕刻工序中被選擇性地去除。因而，若在貫通孔的加工預定部形成改質(zhì)部，則能夠通過蝕刻在加工預定部形成貫通孔。

3、然而，在上述那樣的加工工序中，在玻璃板較薄的情況下，有時玻璃板的處理困難或者在加工中玻璃板翹曲，存在加工困難這樣的問題。并且，這種問題在加工工序中并不限定于在玻璃板形成貫通孔的情況，例如，在從玻璃板切出規(guī)定形狀的玻璃板的情況下等也有可能同樣產(chǎn)生。

4、本發(fā)明的課題在于即使在玻璃板較薄的情況下也簡單并且可靠地加工玻璃板。

5、用于解決課題的方案

6、（1）本發(fā)明為一種玻璃板的制造方法，包括加工玻璃板的加工工序，所述玻璃板的制造方法的特征在于，加工工序包括：貼附工序，在玻璃板的一方的主面貼附粘著膜而形成層疊體；改質(zhì)工序，在貼附工序后，以層疊體的狀態(tài)向玻璃板的加工預定部照射激光，在加工預定部形成改質(zhì)部；蝕刻工序，在改質(zhì)工序后，以層疊體的狀態(tài)蝕刻玻璃板的改質(zhì)部；以及剝離工序，在蝕刻工序后，從玻璃板剝離粘著膜。

7、如此一來，通過粘著膜而玻璃板的剛性提高。因此，在改質(zhì)工序、蝕刻工序中，玻璃板的處理性提高，并且能夠抑制玻璃板的翹曲。因而，即使在玻璃板較薄的情況下，也能夠簡單并且可靠地加工玻璃板。

8、（2）在上述（1）的結構中，優(yōu)選的是，貼附工序中的玻璃板的厚度為1μm以上且100μm以下。

9、在如此玻璃板較薄的情況下，本發(fā)明的效果變得顯著。

10、（3）在上述（1）或（2）的結構中，優(yōu)選的是，激光為超短脈沖激光。

11、如此一來，激光的能量充分高，容易在玻璃板形成改質(zhì)部。

12、（4）在上述（1）～（3）中任一個結構中，優(yōu)選的是，在蝕刻工序中，將層疊體浸漬于蝕刻液。

13、如此一來，能夠高效地蝕刻玻璃板的改質(zhì)部。并且，在將層疊體浸漬于蝕刻液的情況下，玻璃板的表背兩主面中的貼附有粘著膜的玻璃板的一方的主面也未被蝕刻而成為非蝕刻面（例如鍛造面）。

14、（5）在上述（1）～（4）中任一個結構中，優(yōu)選的是，粘著膜具備聚烯烴系的基材以及形成于基材的單面的丙烯酸系或者聚乙烯系的粘著層。

15、如此一來，容易對包括玻璃板與粘著膜的層疊體賦予適度的剛性。因此，在改質(zhì)工序、蝕刻工序中，玻璃板的處理性更加提高，并且能夠更可靠地抑制玻璃板的翹曲。另外，粘著膜的耐化學藥品性變得良好，因此能夠抑制在蝕刻工序中粘著膜發(fā)生反應。而且，粘著膜的剝離性變得良好，因此能夠在剝離工序中容易從玻璃板剝離粘著膜。

16、（6）在上述（1）～（5）中任一個結構中，優(yōu)選的是，粘著膜的厚度為50μm以上且200μm以下。

17、如此一來，能夠將粘著膜適度地彎曲，因此在剝離工序中容易從玻璃板剝離粘著膜。

18、（7）在上述（1）～（6）中任一個結構中，優(yōu)選的是，所述玻璃板的制造方法包括在蝕刻工序之后且剝離工序之前減弱粘著膜的粘著力的粘著力弱化工序。這里，作為粘著力弱化工序，例如可以舉出在粘著膜包含紫外線固化樹脂的情況下照射紫外線以及在粘著膜包含熱固化樹脂的情況下進行加熱等。

19、如此一來，在改質(zhì)工序、蝕刻工序中，能夠將粘著膜的粘著力維持在較強的狀態(tài)，因此能夠利用粘著膜可靠地加強玻璃板。另一方面，在剝離工序中，能夠將粘著膜的粘著力設為較弱的狀態(tài)，因此能夠容易從玻璃板剝離粘著膜。

20、（8）在上述（7）的結構中，優(yōu)選的是，粘著膜在粘著力弱化工序前的粘著力為0.5n/20mm以上，且在粘著力弱化工序后的粘著力為0.05n/20mm以下。

21、如此一來，在改質(zhì)工序、蝕刻工序中，能夠將粘著膜的粘著力設為不產(chǎn)生剝離的適度強的狀態(tài)。另一方面，在剝離工序中，能夠將粘著膜的粘著力設為容易產(chǎn)生剝離的適度弱的狀態(tài)。

22、（9）在上述（1）～（8）中任一個結構中，優(yōu)選的是，粘著膜比玻璃板大。

23、如此一來，在貼附工序中，容易在玻璃板貼附粘著膜。另外，在改質(zhì)工序、蝕刻工序中，能夠支承從玻璃板伸出的粘著膜的伸出部，因此玻璃板的處理性變得更加良好。

24、（10）本發(fā)明為一種玻璃板，具備第一主面、第二主面以及夾設于第一主面與第二主面之間的端面，所述玻璃板的特征在于，第一主面以及端面為蝕刻面，第二主面為鍛造面，第一主面與第二主面之間的厚度為1μm以上且100μm以下。

25、如此一來，第一主面、第二主面以及端面成為由平滑的面構成的良好的表面性狀。另外，在第一主面、第二主面以及端面中，成為裂紋等缺陷較少的狀態(tài)。其結果是，即使是較薄的玻璃板，也能夠實現(xiàn)高的強度。特別是，第二主面為鍛造面，因此在盡量減少缺陷的同時能夠實現(xiàn)高的平滑性。

26、（11）在上述（10）的結構中，優(yōu)選的是，第二主面的表面粗糙度ra為0.2nm以下。

27、如此一來，第二主面成為非常平滑的面。

28、（12）在上述（10）或（11）的結構中，也可以是，玻璃板為傳感器用罩玻璃或者中空光纖用罩玻璃。

29、由于表面性狀良好，因此能夠抑制光的散射。因而，能夠適合用作傳感器用罩玻璃或者中空光纖用罩玻璃。

30、發(fā)明效果

31、根據(jù)本發(fā)明，即使在玻璃板較薄的情況下，也能夠簡單并且可靠地加工玻璃板。

技術特征：

1.一種玻璃板的制造方法，包括加工玻璃板的加工工序，

2.根據(jù)權利要求1所述的玻璃板的制造方法，其中，

3.根據(jù)權利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其中，

4.根據(jù)權利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其中，

5.根據(jù)權利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其中，

6.根據(jù)權利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其中，

7.根據(jù)權利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其中，

8.根據(jù)權利要求7所述的玻璃板的制造方法，其中，

9.根據(jù)權利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其中，

10.一種玻璃板，具備第一主面、第二主面以及夾設于所述第一主面與所述第二主面之間的端面，

11.根據(jù)權利要求10所述的玻璃板，其中，

12.根據(jù)權利要求10或11所述的玻璃板，其中，

技術總結
一種玻璃板的制造方法，包括加工玻璃板的加工工序（S）。加工工序（S）包括：貼附工序（S1），在玻璃板的一方的主面貼附粘著膜而形成層疊體；改質(zhì)工序（S2），以層疊體的狀態(tài)向玻璃板的加工預定部照射激光，在加工預定部形成改質(zhì)部；蝕刻工序（S3），以層疊體的狀態(tài)蝕刻玻璃板的改質(zhì)部；以及剝離工序（S5），從玻璃板剝離粘著膜。

技術研發(fā)人員：中島一嘉,奧野剛志
受保護的技術使用者：日本電氣硝子株式會社
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/1/2