1.一種連續(xù)直拉單晶爐,其特征在于,包括單晶爐(1)和加料設(shè)備(2);
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)直拉單晶爐,其特征在于,所述熱場(4)由外側(cè)保溫筒和置于所述熱場(4)中心位置的石英坩堝(6)組成,所述石英坩堝(6)底部由托桿(7)支撐,所述石英坩堝(6)上方設(shè)有水冷裝置(8),所述水冷裝置(8)外側(cè)設(shè)有導(dǎo)流筒(9);
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述連續(xù)直拉單晶爐,其特征在于,所述石英坩堝(6)高度不超過500mm,直徑不低于36吋;
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的連續(xù)直拉單晶爐,其特征在于,所述固氈支撐塊(21)呈梯形兩瓣結(jié)構(gòu),后端有定位塊,與所述定位孔(102)配合,內(nèi)部設(shè)有與所述加料管(19)匹配的凹槽,將所述加料管(19)包覆,裝入所述加料管(19)后用螺桿固定。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的連續(xù)直拉單晶爐,其特征在于,所述加料漏斗(22)下端呈直筒狀,與所述加料管(19)上端配合,所述加料漏斗(22)上端呈喇叭狀,與所述輸料管(205)對接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)直拉單晶爐,其特征在于,所述底座(201)呈長方形,置于所述單晶爐(1)一側(cè),所述底座(201)上方設(shè)有滑軌和驅(qū)動裝置,所述支架(202)可在滑軌上移動,所述料倉(203)設(shè)于所述支架(202)上方,所述控料機(jī)構(gòu)(204)設(shè)于所述料倉(203)下方的出料口位置,所述控料機(jī)構(gòu)(204)上方與所述料倉(203)出料口連接,側(cè)向與所述輸料管(205)連接,所述輸料管(205)外側(cè)為波紋管,連接所述單晶爐(1)與所述加料設(shè)備(2);
7.一種連續(xù)直拉單晶硅生產(chǎn)工藝,包括權(quán)利要求1-6任意一項所述的連續(xù)直拉單晶爐,其特征在于,單晶硅在生產(chǎn)時包括以下步驟:
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種連續(xù)直拉單晶硅生產(chǎn)工藝,其特征在于,所述加料設(shè)備(2)在使用時包括以下步驟: