本發(fā)明涉及石英產(chǎn)品加工，且更為具體地，涉及一種石英產(chǎn)品的彎折設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體芯片制造的精密流程中，石英材料及其制品扮演著至關(guān)重要的角色，它們不僅是執(zhí)行蝕刻、擴(kuò)散、氧化等關(guān)鍵工藝時不可或缺的支撐結(jié)構(gòu)與反應(yīng)腔室耗材，還確保了生產(chǎn)環(huán)境的純凈與高效。

2、目前石英腔體采用切割后的石英板材組立焊接，用高溫火焰(3000度以上的氫氧火焰)加熱使石英玻璃焊棒和需要焊接的石英板兩端同時熔融，通過高溫火焰加熱石英焊棒將兩塊石英板材組立焊接在一起，而后通過石英焊棒將兩塊板料之間的焊縫完全填充，保證兩塊板之間的密封。這種方式不僅效率低，而且對于操作人員的熟練度要求非常高。

3、公開號為cn115745383a的中國發(fā)明專利申請，其公開了一種石英板折彎工藝及其裝置，由原本的切割后組立焊接改為整板折彎，實(shí)現(xiàn)了石英板折彎一體化成型，提升強(qiáng)度和合格率，產(chǎn)品外觀也會更加光滑。然而對于該裝置而言，還存在一些有待優(yōu)化的地方，例如由于采用電機(jī)對石英板進(jìn)行彎折，因此需要精切的控制電機(jī)啟動的時機(jī)，若電機(jī)啟動過早，則容易使石英板碎裂；若啟動過晚，則又導(dǎo)致石英板軟化過度下垂。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的主要目的是提出一種石英產(chǎn)品的彎折設(shè)備及彎折方法，以解決背景技術(shù)中所提到的技術(shù)問題。

2、為了解決上述技術(shù)問題，一方面，提出了一種石英產(chǎn)品的彎折設(shè)備，包括：

3、工作臺；以及設(shè)置于工作臺上的

4、承載臺，用于放置石英板，并對石英板進(jìn)行固定；

5、支撐板；

6、角度調(diào)節(jié)組件，用于調(diào)整支撐板與承載臺之間的夾角；

7、以及焊槍組件，用于對承載臺上的石英板的待彎折處進(jìn)行加熱，使石英板的待彎折處軟化；

8、其中，在承載臺上的石英板軟化后，石英板的一端在自身重力作用下進(jìn)行彎折并下落至支撐板上。

9、在上述技術(shù)方案中，進(jìn)一步的，承載臺與石英板的底部相接觸的端面與支撐板的旋轉(zhuǎn)軸線在同一平面上，且支撐板與石英板的底部相接觸的端面與支撐板的旋轉(zhuǎn)軸線在同一平面上。

10、在上述任一技術(shù)方案中，進(jìn)一步的，角度調(diào)節(jié)組件包括：

11、立柱，設(shè)置于工作臺其中一側(cè)；

12、旋轉(zhuǎn)臂，其一端轉(zhuǎn)動的設(shè)置于立柱上；

13、第一電機(jī)，設(shè)置于立柱上，并用于驅(qū)動旋轉(zhuǎn)臂擺動；

14、其中，支撐板的一端設(shè)置于旋轉(zhuǎn)臂的另一端上，在旋轉(zhuǎn)臂轉(zhuǎn)動時，支撐板同時轉(zhuǎn)動。

15、在上述任一技術(shù)方案中，進(jìn)一步的，角度調(diào)節(jié)組件還包括：

16、輔助支架，設(shè)置于工作臺另一側(cè)；

17、輔助旋轉(zhuǎn)臺，設(shè)置于輔助支架上；

18、以及輔助臂，其一端設(shè)置于輔助旋轉(zhuǎn)臺上，另一端與支撐板的另一端相連；

19、其中，在旋轉(zhuǎn)臂轉(zhuǎn)動時，支撐板帶動輔助臂以及輔助旋轉(zhuǎn)臺同時轉(zhuǎn)動。

20、在上述任一技術(shù)方案中，進(jìn)一步的，角度調(diào)節(jié)組件還包括：

21、角度刻度線，用于查看支撐板與石英板的底部相接觸的端面和承載臺與石英板的底部相接觸的端面之間的夾角。

22、在上述任一技術(shù)方案中，進(jìn)一步的，承載臺包括：

23、支撐座，設(shè)置于工作臺上；

24、石墨底座，設(shè)置與支撐座上，其上形成有由于支撐石英板的支撐面以及用于對石英板的兩側(cè)進(jìn)行限位的限位面；

25、夾具，設(shè)置于石墨底座上，用于將位于支撐面上的石英板夾緊；

26、其中，兩個限位面之間的間距可調(diào)節(jié)的設(shè)置。

27、在上述任一技術(shù)方案中，進(jìn)一步的，焊槍組件包括：

28、焊槍，用于對位于承載臺上的石英板的待彎折處由下往上進(jìn)行噴火加熱；

29、以及第一驅(qū)動部，用于驅(qū)動焊槍在水平方向做線性運(yùn)動，以使焊槍對石英板上的待彎折處均勻加熱；

30、其中，支撐板的旋轉(zhuǎn)軸線與承載臺上的石英板的待彎折處共線。

31、在上述任一技術(shù)方案中，進(jìn)一步的，第一驅(qū)動部包括：

32、曲柄滑塊機(jī)構(gòu)，設(shè)置于工作臺上，曲柄滑塊機(jī)構(gòu)上的滑塊與焊槍相連；

33、以及第二電機(jī)，其輸出端與曲柄滑塊機(jī)構(gòu)上的曲柄項(xiàng)鏈，用于帶動曲柄轉(zhuǎn)動，以使其上的滑塊做線性運(yùn)動。

34、在上述任一技術(shù)方案中，進(jìn)一步的，還包括：

35、擋板，設(shè)置于工作臺上，用于對位于承載臺上的石英板的端部進(jìn)行限位，以控制石英板的待彎折的位置；

36、其中，擋板沿靠近或遠(yuǎn)離承載臺方向滑動的設(shè)置，工作臺上還設(shè)置有用于驅(qū)動擋板做線性運(yùn)動的第二驅(qū)動部。

37、另一方面，還提出了一種石英產(chǎn)品的彎折方法，采用上述的彎折設(shè)備對石英板進(jìn)行彎折，彎折方法步驟具體如下：

38、s1、將石英板放置于承載臺上，在調(diào)整好石英板的待彎折處的位置后，將其固定于承載臺上；

39、s2、利用角度調(diào)節(jié)組件，調(diào)整好支撐板的角度；

40、s3、啟動焊槍組件，對石英板的待彎折處進(jìn)行加熱；

41、s4、當(dāng)石英板的待彎折處軟化后，由于重力作用石英板自動向下彎曲，直至石英板彎曲的一端接觸到支撐板上后，將焊槍組件關(guān)閉；

42、s5、一段時間后，待石英板冷卻后，將其從承載臺上取下，流程結(jié)束。

43、有益效果：與現(xiàn)有技術(shù)相比，本申請利用石英板的自身重力，來對其進(jìn)行彎折，該方式，一方面，降低了工作人員的經(jīng)驗(yàn)需求，降低操作難度，只需對工作人員簡單培訓(xùn)即可上崗，操作方便；另一方面，石英板是由自身重力進(jìn)行彎折的，在彎折過程中不易斷裂。

技術(shù)特征：

1.一種石英產(chǎn)品的彎折設(shè)備，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的石英產(chǎn)品的彎折設(shè)備，其特征在于，所述承載臺(2)與石英板的底部相接觸的端面與所述支撐板(3)的旋轉(zhuǎn)軸線在同一平面上，且所述支撐板(3)與石英板的底部相接觸的端面與所述支撐板(3)的旋轉(zhuǎn)軸線在同一平面上。

3.如權(quán)利要求2所述的石英產(chǎn)品的彎折設(shè)備，其特征在于，所述角度調(diào)節(jié)組件(4)包括：

4.如權(quán)利要求3所述的石英產(chǎn)品的彎折設(shè)備，其特征在于，所述角度調(diào)節(jié)組件(4)還包括：

5.如權(quán)利要求3所述的石英產(chǎn)品的彎折設(shè)備，其特征在于，所述角度調(diào)節(jié)組件(4)還包括：

6.如權(quán)利要求1所述的石英產(chǎn)品的彎折設(shè)備，其特征在于，所述承載臺(2)包括：

7.如權(quán)利要求2所述的石英產(chǎn)品的彎折設(shè)備，其特征在于，所述焊槍(51)組件(5)包括：

8.如權(quán)利要求7所述的石英產(chǎn)品的彎折設(shè)備，其特征在于，所述第一驅(qū)動部(52)包括：

9.如權(quán)利要求1所述的石英產(chǎn)品的彎折設(shè)備，其特征在于，還包括：

10.一種石英產(chǎn)品的彎折方法，其特征在于，采用如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的彎折設(shè)備對石英板進(jìn)行彎折，所述彎折方法步驟具體如下：

技術(shù)總結(jié)
本申請涉及石英產(chǎn)品加工技術(shù)領(lǐng)域，且更為具體地，涉及一種石英產(chǎn)品的彎折設(shè)備及彎折方法，其中，彎折設(shè)備包括：工作臺；以及設(shè)置于工作臺上的承載臺，用于放置石英板，并對石英板進(jìn)行固定；支撐板；角度調(diào)節(jié)組件，用于調(diào)整所述支撐板與所述承載臺之間的夾角；以及焊槍組件，用于對所述承載臺上的石英板的待彎折處進(jìn)行加熱，使石英板的待彎折處軟化；其中，在所述承載臺上的石英板軟化后，石英板的一端在自身重力作用下進(jìn)行彎折并下落至所述支撐板上。本申請不僅操作方便，降低了工作人員的經(jīng)驗(yàn)需求，而且在彎折過程中石英板不易斷裂。

技術(shù)研發(fā)人員：陳江震,祝精明,王晶,鄭明山,楊軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江富樂德石英科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/30