本發(fā)明涉及碲化鎘晶體制備，具體為一種碲化鎘晶體制備用冷卻裝置及其使用方法。

背景技術(shù)：

1、碲化鎘作為一種重要的ⅱ—ⅵ族化合物半導(dǎo)體材料，晶體結(jié)構(gòu)為閃鋅礦型，具有直接躍遷型能帶結(jié)構(gòu)，晶格常數(shù)0.6481nm，禁帶寬度1.5ev(25℃)，室溫電子遷移率，室溫空穴遷移率，電子有效質(zhì)量0.096，碲化鎘晶體在制備的過(guò)程中需要用到冷卻裝置對(duì)制備好的晶體進(jìn)行冷卻。

2、現(xiàn)有的冷卻裝置冷卻溫度大都是指定的，變化幅度較小，對(duì)工件的冷卻方式大都是快速對(duì)工件進(jìn)行冷卻，碲化鎘晶體在快速冷卻時(shí)，低溫會(huì)影響碲化鎘液體擴(kuò)散的速率，使得成型的碲化鎘晶體表面產(chǎn)生大量結(jié)構(gòu)缺陷，影響碲化鎘晶體生產(chǎn)后的效果，且傳統(tǒng)的冷卻裝置在送料時(shí)大都無(wú)法進(jìn)行持續(xù)循環(huán)垂直送料，送料的過(guò)程中送料板容易產(chǎn)生翻轉(zhuǎn)，碲化鎘晶體在沒(méi)有冷卻時(shí)如果發(fā)生翻轉(zhuǎn)可能會(huì)影響碲化鎘晶體冷卻成型的效果，為此公開了一種碲化鎘晶體制備用冷卻裝置及其使用方法。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種碲化鎘晶體制備用冷卻裝置及其使用方法，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種碲化鎘晶體制備用冷卻裝置及其使用方法，包括安裝支撐板，所述安裝支撐板的前表面設(shè)有送料機(jī)構(gòu)，所述安裝支撐板前側(cè)的一端設(shè)有冷卻機(jī)構(gòu)，所述送料機(jī)構(gòu)包括移動(dòng)軌道，所述移動(dòng)軌道開設(shè)與安裝支撐板的前表面上，所述移動(dòng)軌道內(nèi)側(cè)的中部開設(shè)有限位腔，所述移動(dòng)軌道的內(nèi)側(cè)滾動(dòng)有移動(dòng)齒輪，所述移動(dòng)齒輪的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有移動(dòng)板，所述移動(dòng)齒輪另一側(cè)的中部設(shè)有固定盤，所述固定盤一側(cè)的外表面上均勻固定有四個(gè)導(dǎo)向柱塊，所述固定盤的外側(cè)設(shè)有導(dǎo)向腔，所述導(dǎo)向腔位于限位腔的后側(cè)，所述導(dǎo)向腔的一端開設(shè)有滑動(dòng)腔，所述滑動(dòng)腔的內(nèi)側(cè)滑動(dòng)連接有滑板，所述滑板前表面的一端開設(shè)有導(dǎo)向條槽，所述導(dǎo)向條槽內(nèi)側(cè)的一端設(shè)有限位托箍塊，所述導(dǎo)向腔開設(shè)與固定板的前表面上。

3、優(yōu)選的，所述冷卻機(jī)構(gòu)包括第一l形防護(hù)板，所述第一l形防護(hù)板位于安裝支撐板前側(cè)的一端且與安裝支撐板固定連接，所述安裝支撐板前側(cè)的另一端固定連接有第二l形防護(hù)板，所述第一l形防護(hù)板頂部的一端固定連接有高溫進(jìn)氣盒，所述高溫進(jìn)氣盒內(nèi)側(cè)的中部固定有高溫調(diào)溫板，所述高溫進(jìn)氣盒頂端的中部固定連接有主送氣管，所述主送氣管底部的一端固定連接有低溫進(jìn)氣盒，所述低溫進(jìn)氣盒內(nèi)側(cè)的中部固定連接有低溫調(diào)溫板，所述主送氣管內(nèi)側(cè)的下方設(shè)有氣流導(dǎo)向柱桿，所述主送氣管一端下發(fā)的中部固定連接有進(jìn)氣口，所述低溫進(jìn)氣盒的頂部設(shè)有中溫進(jìn)氣盒，所述中溫進(jìn)氣盒內(nèi)側(cè)的中部固定連接有中溫調(diào)溫板，所述中溫進(jìn)氣盒頂端的中部固定連接有副送氣管，所述副送氣管的頂部與主送氣管固定連接。

4、優(yōu)選的，所述移動(dòng)齒輪一側(cè)的中部固定連接有管套柱桿，所述管套柱桿與移動(dòng)板一側(cè)的中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述管套柱桿內(nèi)側(cè)的中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定連接桿，所述固定連接桿的中部與移動(dòng)板內(nèi)側(cè)的中部固定連接，所述管套柱桿底部的一端嚙合有蝸桿，所述蝸桿的一端嚙合連接有雙頭錐形齒輪桿，所述雙頭錐形齒輪桿的一側(cè)固定連接有電機(jī)。

5、優(yōu)選的，所述滑板后側(cè)的左右兩端皆滑動(dòng)連接有滑桿，所述滑桿的外側(cè)設(shè)有輔助彈簧，所述滑桿的上下兩端與滑動(dòng)腔內(nèi)側(cè)的上下兩端固定連接。

6、優(yōu)選的，所述移動(dòng)板的上表面上均勻固定有三個(gè)吸盤，所述移動(dòng)板的一側(cè)通過(guò)設(shè)有的移動(dòng)齒輪與移動(dòng)軌道滑動(dòng)連接。

7、優(yōu)選的，所述第二l形防護(hù)板一端的上方固定連接有第一分層隔板，所述第一l形防護(hù)板一端的下方固定連接有第二分層隔板，所述第一分層隔板的一端、第二分層隔板的一端、第二l形防護(hù)板一端的底部和第二l形防護(hù)板內(nèi)側(cè)的頂部皆設(shè)有一個(gè)電動(dòng)推拉桿，所述電動(dòng)推拉桿的一端固定連接有密封門，所述密封門一端的外側(cè)設(shè)有收縮腔，所述密封門與收縮腔滑動(dòng)連接。

8、優(yōu)選的，所述固定盤一側(cè)的中部與固定連接桿的一側(cè)固定連接，所述固定盤與導(dǎo)向腔滑動(dòng)連接，所述導(dǎo)向腔的內(nèi)側(cè)開設(shè)與與導(dǎo)向柱塊滑動(dòng)連接的導(dǎo)向凹槽。

9、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：便于循環(huán)向冷卻艙里垂直推送碲化鎘晶體，有利于提高送料的效果，便于階梯式對(duì)碲化鎘晶體進(jìn)行降溫冷卻，有利于防止碲化鎘晶體快速冷卻表面出現(xiàn)較大的結(jié)構(gòu)缺陷，提高碲化鎘晶體冷卻的效果。

10、1、通過(guò)設(shè)置送料機(jī)構(gòu)，送料時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)的移動(dòng)齒輪會(huì)沿著移動(dòng)軌道緩慢向一端移動(dòng)，從而帶動(dòng)固定盤沿著導(dǎo)向腔向一端滑動(dòng)，固定盤在沿著導(dǎo)向腔向一端滑動(dòng)的過(guò)程中其表面上下兩端固定連接的導(dǎo)向柱塊會(huì)沿著導(dǎo)向腔內(nèi)側(cè)開設(shè)的導(dǎo)向凹槽向一端滑動(dòng)，當(dāng)移動(dòng)齒輪移動(dòng)到移動(dòng)軌道的弧形拐角處時(shí)，會(huì)帶動(dòng)固定盤滑動(dòng)卡到滑板的前側(cè)，使得固定盤一側(cè)固定的導(dǎo)向柱塊滑動(dòng)卡到滑板前表面開設(shè)的導(dǎo)向條槽里，當(dāng)移動(dòng)齒輪向弧形拐角的下方一移動(dòng)時(shí)，固定盤會(huì)通過(guò)一側(cè)固定的導(dǎo)向柱塊和與導(dǎo)向柱塊卡接的導(dǎo)向條槽帶動(dòng)導(dǎo)向條槽外側(cè)固定的滑板沿著后側(cè)設(shè)有的滑桿向滑板外側(cè)設(shè)有的滑動(dòng)腔內(nèi)側(cè)的底端滑動(dòng)，當(dāng)移動(dòng)齒輪移動(dòng)到弧形拐角的下方時(shí)，會(huì)通過(guò)一側(cè)設(shè)有的固定盤帶動(dòng)固定盤一側(cè)卡接的滑板滑動(dòng)到滑動(dòng)腔內(nèi)側(cè)的底端，這時(shí)固定盤后側(cè)固定連接的導(dǎo)向柱塊滑動(dòng)卡到導(dǎo)向條槽內(nèi)側(cè)一端設(shè)有的限位托箍塊上，移動(dòng)齒輪繼續(xù)沿著移動(dòng)軌道向下移動(dòng)時(shí)，會(huì)帶動(dòng)一側(cè)設(shè)有的固定盤向下滑動(dòng)，滑入滑動(dòng)腔底端中部開設(shè)的導(dǎo)向凹槽里，使得移動(dòng)齒輪沿著移動(dòng)軌道從上至下緩慢移動(dòng)，從而帶動(dòng)移動(dòng)齒輪一側(cè)設(shè)有的移動(dòng)板從上至下緩慢移動(dòng)，使得移動(dòng)板在從上至下移動(dòng)的過(guò)程中始終與安裝支撐板內(nèi)側(cè)的底端保持平行，起到了便于循環(huán)向冷卻艙里垂直推送碲化鎘晶體，有利于提高送料的效果。

11、2、通過(guò)設(shè)置冷卻機(jī)構(gòu)，冷卻時(shí)，當(dāng)移動(dòng)板在移動(dòng)齒輪的帶動(dòng)下沿著移動(dòng)軌道滑動(dòng)到第一l形防護(hù)板內(nèi)表面頂部與第一分層隔板上表面和第二l形防護(hù)板一端內(nèi)表面頂部拼組成的高溫冷卻艙的艙口處，由電動(dòng)推拉桿帶動(dòng)固定連接的密封門向第二l形防護(hù)板頂部?jī)?nèi)側(cè)設(shè)有的收縮腔里，將艙門打開，然后由移動(dòng)齒輪帶動(dòng)移動(dòng)板通過(guò)打開的艙門移動(dòng)到高溫冷卻艙里，由高溫冷卻艙里低于碲化鎘晶體的溫度對(duì)移動(dòng)板上放置的碲化鎘晶體進(jìn)行高溫初步冷卻，當(dāng)移動(dòng)齒輪帶動(dòng)移動(dòng)板從高溫冷卻艙里向下移動(dòng)，移動(dòng)到中溫冷卻艙頂部一端設(shè)有的密封門的頂部時(shí)，由第一分層隔板內(nèi)側(cè)固定的第一分層隔板里固定的電動(dòng)推拉桿帶動(dòng)一端固定的密封門向第一分層隔板內(nèi)側(cè)開設(shè)的收縮腔里，移動(dòng)板在移動(dòng)齒輪的帶動(dòng)下進(jìn)入到中溫冷卻艙里進(jìn)行二次降溫，當(dāng)移動(dòng)板在移動(dòng)齒輪的帶動(dòng)下沿著移動(dòng)軌道從中溫冷卻艙里移動(dòng)到低溫冷卻艙里時(shí)，由低溫冷卻艙里的低溫對(duì)移動(dòng)板上放置的碲化鎘晶體進(jìn)行三次冷卻，起到了便于階梯式對(duì)碲化鎘晶體進(jìn)行降溫冷卻，有利于防止碲化鎘晶體快速冷卻表面出現(xiàn)較大的結(jié)構(gòu)缺陷，提高碲化鎘晶體冷卻的效果。

技術(shù)特征：

1.一種碲化鎘晶體制備用冷卻裝置及其使用方法，包括安裝支撐板(1)，其特征在于：所述安裝支撐板(1)的前表面設(shè)有送料機(jī)構(gòu)(2)，所述安裝支撐板(1)前側(cè)的一端設(shè)有冷卻機(jī)構(gòu)(3)，所述送料機(jī)構(gòu)(2)包括移動(dòng)軌道(21)，所述移動(dòng)軌道(21)開設(shè)與安裝支撐板(1)的前表面上，所述移動(dòng)軌道(21)內(nèi)側(cè)的中部開設(shè)有限位腔(22)，所述移動(dòng)軌道(21)的內(nèi)側(cè)滾動(dòng)有移動(dòng)齒輪(24)，所述移動(dòng)齒輪(24)的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有移動(dòng)板(23)，所述移動(dòng)齒輪(24)另一側(cè)的中部設(shè)有固定盤(212)，所述固定盤(212)一側(cè)的外表面上均勻固定有四個(gè)導(dǎo)向柱塊(213)，所述固定盤(212)的外側(cè)設(shè)有導(dǎo)向腔(214)，所述導(dǎo)向腔(214)位于限位腔(22)的后側(cè)，所述導(dǎo)向腔(214)的一端開設(shè)有滑動(dòng)腔(217)，所述滑動(dòng)腔(217)的內(nèi)側(cè)滑動(dòng)連接有滑板(215)，所述滑板(215)前表面的一端開設(shè)有導(dǎo)向條槽(219)，所述導(dǎo)向條槽(219)內(nèi)側(cè)的一端設(shè)有限位托箍塊(220)，所述導(dǎo)向腔(214)開設(shè)與固定板(25)的前表面上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碲化鎘晶體制備用冷卻裝置及其使用方法，其特征在于：所述冷卻機(jī)構(gòu)(3)包括第一l形防護(hù)板(31)，所述第一l形防護(hù)板(31)位于安裝支撐板(1)前側(cè)的一端且與安裝支撐板(1)固定連接，所述安裝支撐板(1)前側(cè)的另一端固定連接有第二l形防護(hù)板(32)，所述第一l形防護(hù)板(31)頂部的一端固定連接有高溫進(jìn)氣盒(315)，所述高溫進(jìn)氣盒(315)內(nèi)側(cè)的中部固定有高溫調(diào)溫板(316)，所述高溫進(jìn)氣盒(315)頂端的中部固定連接有主送氣管(311)，所述主送氣管(311)底部的一端固定連接有低溫進(jìn)氣盒(37)，所述低溫進(jìn)氣盒(37)內(nèi)側(cè)的中部固定連接有低溫調(diào)溫板(38)，所述主送氣管(311)內(nèi)側(cè)的下方設(shè)有氣流導(dǎo)向柱桿(313)，所述主送氣管(311)一端下發(fā)的中部固定連接有進(jìn)氣口(312)，所述低溫進(jìn)氣盒(37)的頂部設(shè)有中溫進(jìn)氣盒(39)，所述中溫進(jìn)氣盒(39)內(nèi)側(cè)的中部固定連接有中溫調(diào)溫板(310)，所述中溫進(jìn)氣盒(39)頂端的中部固定連接有副送氣管(314)，所述副送氣管(314)的頂部與主送氣管(311)固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碲化鎘晶體制備用冷卻裝置及其使用方法，其特征在于：所述移動(dòng)齒輪(24)一側(cè)的中部固定連接有管套柱桿(211)，所述管套柱桿(211)與移動(dòng)板(23)一側(cè)的中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述管套柱桿(211)內(nèi)側(cè)的中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定連接桿(26)，所述固定連接桿(26)的中部與移動(dòng)板(23)內(nèi)側(cè)的中部固定連接，所述管套柱桿(211)底部的一端嚙合有蝸桿(210)，所述蝸桿(210)的一端嚙合連接有雙頭錐形齒輪桿(28)，所述雙頭錐形齒輪桿(28)的一側(cè)固定連接有電機(jī)(29)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碲化鎘晶體制備用冷卻裝置及其使用方法，其特征在于：所述滑板(215)后側(cè)的左右兩端皆滑動(dòng)連接有滑桿(216)，所述滑桿(216)的外側(cè)設(shè)有輔助彈簧(218)，所述滑桿(216)的上下兩端與滑動(dòng)腔(217)內(nèi)側(cè)的上下兩端固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碲化鎘晶體制備用冷卻裝置及其使用方法，其特征在于：所述移動(dòng)板(23)的上表面上均勻固定有三個(gè)吸盤(27)，所述移動(dòng)板(23)的一側(cè)通過(guò)設(shè)有的移動(dòng)齒輪(24)與移動(dòng)軌道(21)滑動(dòng)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種碲化鎘晶體制備用冷卻裝置及其使用方法，其特征在于：所述第二l形防護(hù)板(32)一端的上方固定連接有第一分層隔板(33)，所述第一l形防護(hù)板(31)一端的下方固定連接有第二分層隔板(35)，所述第一分層隔板(33)的一端、第二分層隔板(35)的一端、第二l形防護(hù)板(32)一端的底部和第二l形防護(hù)板(32)內(nèi)側(cè)的頂部皆設(shè)有一個(gè)電動(dòng)推拉桿(34)，所述電動(dòng)推拉桿(34)的一端固定連接有密封門(36)，所述密封門(36)一端的外側(cè)設(shè)有收縮腔(317)，所述密封門(36)與收縮腔(317)滑動(dòng)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碲化鎘晶體制備用冷卻裝置的使用方法，其特征在于：所述固定盤(212)一側(cè)的中部與固定連接桿(26)的一側(cè)固定連接，所述固定盤(212)與導(dǎo)向腔(214)滑動(dòng)連接，所述導(dǎo)向腔(214)的內(nèi)側(cè)開設(shè)與與導(dǎo)向柱塊(213)滑動(dòng)連接的導(dǎo)向凹槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碲化鎘晶體制備用冷卻裝置及其使用方法，其特征在于：所述碲化鎘晶體制備用冷卻裝置的使用方法：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種碲化鎘晶體制備用冷卻裝置及其使用方法，包括安裝支撐板，所述安裝支撐板的前表面設(shè)有送料機(jī)構(gòu)，所述安裝支撐板前側(cè)的一端設(shè)有冷卻機(jī)構(gòu)，所述送料機(jī)構(gòu)包括移動(dòng)軌道，所述移動(dòng)軌道開設(shè)與安裝支撐板的前表面上，所述移動(dòng)軌道內(nèi)側(cè)的中部開設(shè)有限位腔，所述移動(dòng)軌道的內(nèi)側(cè)滾動(dòng)有移動(dòng)齒輪，所述移動(dòng)齒輪的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有移動(dòng)板，所述移動(dòng)齒輪另一側(cè)的中部設(shè)有固定盤，所述固定盤一側(cè)的外表面上均勻固定有四個(gè)導(dǎo)向柱塊。本發(fā)明的有益效果是：便于循環(huán)向冷卻艙里垂直推送碲化鎘晶體，有利于提高送料的效果，便于階梯式對(duì)碲化鎘晶體進(jìn)行降溫冷卻，有利于防止碲化鎘晶體快速冷卻表面出現(xiàn)較大的結(jié)構(gòu)缺陷，提高碲化鎘晶體冷卻的效果。

技術(shù)研發(fā)人員：盧鵬薦,曾小龍,張林,李鵬武,袁珊珊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢拓材科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9