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一種覆銅陶瓷基板的制備方法與流程

文檔序號(hào):40610746發(fā)布日期:2025-01-07 20:53閱讀:7來(lái)源:國(guó)知局
一種覆銅陶瓷基板的制備方法與流程

本發(fā)明屬于基板覆銅,涉及一種覆銅陶瓷基板的制備方法。


背景技術(shù):

1、隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,大功率led的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,同時(shí)隨著led功率的增大,其散熱問(wèn)題也變得越發(fā)突出。通常情況下,隨著led芯片內(nèi)部的溫度(結(jié)溫)的升高,led器件的光效和使用壽命均會(huì)下降,而當(dāng)結(jié)溫超過(guò)125℃時(shí),led甚至?xí)霈F(xiàn)失效。

2、由于技術(shù)條件的限制,現(xiàn)階段led的發(fā)光轉(zhuǎn)換效率僅為20%-30%左右,余下的能量大部分都轉(zhuǎn)換為熱能而被耗散掉。對(duì)大功率led來(lái)說(shuō),這些熱量如果聚集在芯片內(nèi)部而不及時(shí)導(dǎo)出,則會(huì)使led發(fā)光效率降低,更嚴(yán)重的還會(huì)影響led的壽命,因此,提供一種低熱阻、高導(dǎo)熱、高可靠性的散熱基板是解決目前l(fā)ed封裝系統(tǒng)中的關(guān)鍵。

3、直接鍍銅技術(shù)(dpc)是目前大功率led散熱基板的主流技術(shù)。其工藝方法是預(yù)先在陶瓷基板表面濺射種子層,然后通過(guò)曝光、顯影、蝕刻工藝實(shí)現(xiàn)線(xiàn)路圖案,最后再通過(guò)電鍍或化學(xué)鍍方式增加銅層厚度完成最終dpc基板制備。然而,dpc工藝是利用金屬銅層、種子層與陶瓷層之間的機(jī)械咬合實(shí)現(xiàn)相互結(jié)合,屬于物理結(jié)合,存在結(jié)合強(qiáng)度低的問(wèn)題;另外,金屬層與陶瓷層在冷熱循環(huán)時(shí)易產(chǎn)生應(yīng)力集中,導(dǎo)致金屬與陶瓷間出現(xiàn)剝離失效的問(wèn)題。

4、綜上所述,提供一種高可靠性及高結(jié)合強(qiáng)度的覆銅陶瓷基板的制備方法,是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的問(wèn)題。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種覆銅陶瓷基板的制備方法,所述制備方法提高了銅層與陶瓷基板的結(jié)合強(qiáng)度,同時(shí)有效減緩金屬薄銅層與陶瓷基板間在冷熱循環(huán)時(shí)的應(yīng)力集中,提高覆銅陶瓷基板可靠性。

2、為達(dá)到此發(fā)明目的,本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:

3、本發(fā)明提供了一種覆銅陶瓷基板的制備方法,其特征在于,所述制備方法包括以下步驟:

4、(1)在陶瓷基板的兩側(cè)表面涂布金屬改性層,而后進(jìn)行燒結(jié)處理;

5、所述燒結(jié)處理的溫度為800-900℃,例如可以是810℃、820℃、830℃、840℃、850℃、860℃、870℃、880℃或890℃等,但不限于所列舉的數(shù)值,數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用;

6、(2)在步驟(1)燒結(jié)處理后的金屬改性層的表面鍍銅層,而后進(jìn)行釬焊處理,制得所述覆銅陶瓷基板。

7、本發(fā)明提供覆銅陶瓷基板的制備方法,通過(guò)在陶瓷基板的兩側(cè)表面涂布金屬改性層,而后進(jìn)行燒結(jié)處理,最后通過(guò)釬焊處理接合銅層,使得銅層與陶瓷基板的結(jié)合更容易實(shí)現(xiàn),提高了銅層與陶瓷基板的結(jié)合強(qiáng)度;同時(shí)通過(guò)設(shè)置金屬改性層,有效減緩金屬薄銅層與陶瓷基板間在冷熱循環(huán)時(shí)的應(yīng)力集中,提高覆銅陶瓷基板可靠性。

8、值得說(shuō)明的是,通過(guò)控制涂布金屬改性層后燒結(jié)溫度范圍,不僅有助于形成有效的活性金屬改性層,還有助于增加金屬改性層與陶瓷基板的結(jié)合強(qiáng)度。

9、作為本發(fā)明優(yōu)選的技術(shù)方案,步驟(1)所述陶瓷基板的材質(zhì)包括氧化鋁、氮化鋁或氮化硅中的任意一種。

10、優(yōu)選地,步驟(1)所述陶瓷基板的厚度為0.25-1mm,例如可以是0.3mm、0.4mm、0.5mm、0.6mm、0.7mm、0.8mm或0.9mm等,但不限于所列舉的數(shù)值,數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。

11、作為本發(fā)明優(yōu)選的技術(shù)方案,步驟(1)所述涂布的方式包括絲網(wǎng)印刷、噴涂或滾涂中的任意一種或至少兩種的組合。

12、作為本發(fā)明優(yōu)選的技術(shù)方案,步驟(1)所述金屬改性層的厚度為5-15μm,例如可以是6μm、7μm、8μm、9μm、10μm、11μm、12μm、13μm或14μm等,但不限于所列舉的數(shù)值,數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。

13、作為本發(fā)明優(yōu)選的技術(shù)方案,步驟(1)所述金屬改性層中包括以下元素:ag、cu和活性金屬元素。

14、本發(fā)明中,所述金屬改性層中各元素的質(zhì)量總和不為100%,金屬改性層中的原料還包括有機(jī)載體(有機(jī)溶劑),有機(jī)載體與金屬改性層中各元素的質(zhì)量總和為100%。通過(guò)添加有機(jī)載體,便于溶解焊料中的各種固體成分,還可以提高焊料的潤(rùn)濕性和涂覆性能。

15、優(yōu)選地,步驟(1)所述金屬改性層中ag元素的質(zhì)量百分含量為40wt%-90wt%,例如可以是45wt%、50wt%、55wt%、60wt%、65wt%、70wt%、75wt%、80wt%或85wt%等,但不限于所列舉的數(shù)值,數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。

16、優(yōu)選地,步驟(1)所述金屬改性層中cu元素的質(zhì)量百分含量為10wt%-50wt%,例如可以是15wt%、20wt%、25wt%、30wt%、35wt%、40wt%、45wt%或48wt%等,但不限于所列舉的數(shù)值,數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。

17、優(yōu)選地,步驟(1)所述金屬改性層中含有ag和cu的質(zhì)量百分含量總和≥82wt%,例如可以是85wt%、86wt%、87wt%、88wt%、89wt%、90wt%、91wt%、92wt%或95wt%等,但不限于所列舉的數(shù)值,數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。

18、優(yōu)選地,所述活性金屬元素包括ti、zr、hf、cr、v、si或al中的任意一種或至少兩種的組合,其中,所述組合典型但非限制性的有:ti和zr的組合,hf和cr的組合,ti和cr的組合或ti和al的組合等。

19、作為本發(fā)明優(yōu)選的技術(shù)方案,步驟(1)所述燒結(jié)處理在真空或惰性氣體保護(hù)下進(jìn)行。

20、本發(fā)明中,所述惰性氣體包括氮?dú)夂?或氬氣。

21、優(yōu)選地,步驟(1)所述燒結(jié)處理的時(shí)間為10-60min,例如可以是15min、20min、30min、35min、40min、45min、50min或55min等,但不限于所列舉的數(shù)值,數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。

22、作為本發(fā)明優(yōu)選的技術(shù)方案,步驟(2)所述鍍銅層的方式包括電鍍或絲網(wǎng)印刷。

23、作為本發(fā)明優(yōu)選的技術(shù)方案,步驟(2)所述銅層的厚度為5-75μm,例如可以是10μm、15μm、20μm、25μm、30μm、35μm、40μm、50μm、60μm或70μm等,但不限于所列舉的數(shù)值,數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。

24、作為本發(fā)明優(yōu)選的技術(shù)方案,步驟(2)所述釬焊處理在真空或惰性氣體保護(hù)下進(jìn)行。

25、優(yōu)選地,步驟(2)所述釬焊處理的溫度為800-1000℃,例如可以是820℃、840℃、850℃、860℃、880℃、900℃、920℃、940℃、950℃、960℃或980℃等,但不限于所列舉的數(shù)值,數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。

26、優(yōu)選地,步驟(2)所述釬焊處理的時(shí)間10-60min,例如可以是15min、20min、30min、35min、40min、45min、50min或55min等,但不限于所列舉的數(shù)值,數(shù)值范圍內(nèi)其它未列舉的數(shù)值同樣適用。

27、作為本發(fā)明優(yōu)選的技術(shù)方案,所述制備方法包括以下步驟:

28、(1)在厚度為0.25-1mm的陶瓷基板的兩側(cè)表面涂布厚度為5-15μm的金屬改性層,而后在真空或惰性氣體保護(hù)、溫度為800-900℃下進(jìn)行燒結(jié)處理10-60min;

29、所述金屬改性層中包括以下元素:ag、cu和活性金屬元素;所述活性金屬元素包括ti、zr、hf、cr、v、si或al中的任意一種或至少兩種的組合;

30、所述金屬改性層中含有ag的質(zhì)量百分含量為40wt%-90wt%;所述金屬改性層中含有cu的質(zhì)量百分含量為10wt%-50wt%;所述金屬改性層中含有ag和cu的質(zhì)量總和≥82wt%;

31、(2)在步驟(1)燒結(jié)處理后的金屬改性層的表面鍍厚度為5-75μm的銅層,而后在真空或惰性氣體保護(hù)、溫度為800-1000℃下進(jìn)行釬焊處理10-60min,制得所述覆銅陶瓷基板。

32、相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明具有以下有益效果:

33、(1)本發(fā)明提供的覆銅陶瓷基板的制備方法,通過(guò)在陶瓷基板的兩側(cè)表面涂布金屬改性層,而后進(jìn)行燒結(jié)處理,最后通過(guò)釬焊處理接合銅層,結(jié)合控制上述工藝中的成分含量、溫度等相關(guān)參數(shù)范圍,使得銅層與陶瓷基板的結(jié)合更容易實(shí)現(xiàn),提高了銅層與陶瓷基板的結(jié)合強(qiáng)度;同時(shí)有效減緩金屬薄銅層與陶瓷基板間在冷熱循環(huán)時(shí)的應(yīng)力集中,提高覆銅陶瓷基板可靠性;

34、(2)本發(fā)明提供的覆銅陶瓷基板的制備方法的工藝操作簡(jiǎn)便,無(wú)需復(fù)雜工藝條件,制備成本較低,適用性廣。

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